下载图案的形成装置及形成方法、器件的制造方法的技术资料

文档序号:3728616

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本发明提供一种使边缘部形状良好并且可以实现加宽的图案的形成方法以及图案形成装置。该图案形成装置,通过喷出装置喷出液滴状态的液体材料,在基板上将该液滴配置成线状。在基板上将多个液滴配置成线状,在基板上形成多个线状图案之后,在这些多个线状图案之...
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