【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。
技术介绍
众所周知，薄膜晶体管(以下称为TFT)具有在形成有漏极和源极的层和形成有栅极的层之间夹持配置有绝缘膜的构成。在制造这样的薄膜晶体管时，从提高生产性的角度来看，最好将绝缘膜薄膜化。然而，由于这种绝缘膜要发挥防止漏极及源极与栅极之间的短路的作用，因此如果对绝缘膜薄膜化，则可能成为引起漏极及源极与栅极之间的绝缘不良的原因。在特开2002-190598号公报中公开了用于解决该问题的技术。具体地说，通过采用所谓灰色调(gray tone)曝光技术调整曝光灰度，使栅极的厚度变薄，而使栅极上的绝缘膜相对变厚，从而确保漏极及源极与栅极之间的绝缘膜厚度。但是近年来，已提出了采用从液体喷头以液滴状喷出液体材料的液滴喷出法即喷墨法，在基板上形成图案的方法。在该方法中，将图案用的液体材料(功能液)在基板上直接进行图案配置，并在之后通过进行热处理或者激光照射，将其变换成图案。该方法有以下优点，即，不需要采用光刻法，从而能大幅简化工序的同时，还能减少原材料的使用量。即使在应用这样的液滴喷出法，通过形成其一部分兼带栅极的栅极布线等而制造TFT的情况下，也为了提高...
【技术保护点】
一种布线形成方法，是薄膜晶体管的至少兼带栅极的栅极布线的形成方法，或者，以与该栅极布线相同的工序形成的布线的形成方法，其特征是：通过采用将包含所述栅极布线或者所述布线的构成材料的液体材料作为液滴喷出的液滴喷出法，将所述栅极布线的一部 分或者所述布线的一部分形成为与其他的所述栅极布线的部分或者其他的所述布线的部分相比更薄。
【技术特征摘要】
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