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文档序号:3727630
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一种布线形成方法,是薄膜晶体管(30)的至少兼带栅极(41)的栅极布线(40)的形成方法,通过采用将包含所述栅极布线(40)的构成材料的液体材料作为液滴喷出的液滴喷出法,将所述栅极布线(40)的一部分(41)形成为与其他的所述栅极布线(40...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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