基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装置及方法，包括：光源、波分复用器件、合束器、子孔径装置和探测器装置；光源发出的光束经过波分复用器件后再经过第一分束器后分为第一光束和第二光束；第一光束经过光束延迟线装置产生光程差后经过光纤传输至子孔径装置；通过旋转待测光学系统提升检测空间的采样率；第一光束产生的反射光束原路返回后传输至三端环形器；第一光束的反射光束与第二光束产生干涉光束后入射至探测器中得到光强；根据光强计算得到待测光学系统的倾角和装配误差，并根据装配误差指导待测光学系统进行装配。本发明专利技术实现了多层次误差分离与精度溯源，最终实现了大口径透镜透射波前的高鲁棒、高精度检测。高精度检测。高精度检测。

【技术实现步骤摘要】
基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装置及方法


[0001]本专利技术涉及光学测量
，特别涉及一种基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装置及方法。

技术介绍

[0002]快焦比大口径透镜及透镜组是大视场像差校正、激光能量精细调控的关键环节，在科技前沿探索(大口径天文望远镜、惯性约束聚变)以及国家重大需求(高分辨遥感相机、光刻机曝光系统)等方面均具有十分重要的作用，但是存在快焦比大口径透镜等口径标准检具成本高，基础像差大，以及光路紧凑所导致零位检测器件设计加工难度升高的难题。

技术实现思路

[0003]鉴于上述问题，本专利技术的目的是提出一种基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装置及方法；针对大口径透射波前质量(最接近使用状态)的检测难题，利用子孔径光瞳扫描架构，通过结合全息波前传感与孔径编码，实现多层次误差分离与精度溯源，最终实现大口径透镜透射波前的高鲁棒、高精度检测。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用以下具体技术方案：
[0005]本专利技术提供一种基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装置，其特征在于，包括：光源、波分复用器件、合束器、子孔径装置和探测器装置；所述光源发出的光束经过光纤传输至所述波分复用器件，利用所述波分复用器件形成不同带宽的检测光路，每个所述波分复用器件分别与探测器装置进行连接，所述探测器装置包括第一分束器、光束延迟线装置、三端环形器、探测器和第二分束器；所述光源发出的光束经过所述波分复用器件后再经过第一分束器后分为第一光束和第二光束；所述第一光束经过所述光束延迟线装置产生光程差后经过光纤传输至所述合束器进行合束后，再分别进入所述子孔径装置；所述子孔径装置分布在待测光学系统一侧的表面；通过旋转所述待测光学系统利用旋转分时复用的方法提升检测空间的采样率；所述第一光束经所述子孔径装置出射后对所述待测光学系统及其内部的大口径透镜进行照射，产生的反射光束原路返回后经所述第二分束器传输至所述三端环形器；所述第二光束经所述第一分束器出射后经过光纤传输至所述三端环形器；所述第一光束的反射光束与所述第二光束在所述三端环形器的内部产生干涉光束后入射至所述探测器中得到光强；根据所述干涉光束的光强计算得到待测光学系统的倾角和装配误差，并根据装配误差指导所述待测光学系统进行装配。2.根据权利要求1所述的基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装置，其特征在于，所述光源为扫频激光器。3.根据权利要求2所述的基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装置，其特征在于，所述光束延迟线装置由角反射器和大视场耦合器组成。4.根据权利要求3所述的基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装置，其特征在于，当所述子孔径装置的排布为十字形时，所述待测光学系统旋转的角度为90
°
。5.根据权利要求4所述的基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装置，其特征在于，当所述子孔径装置的排布为等边三角形时，所述待测光学系统旋转的角度为120
°
。6.利用如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：安其昌，刘欣悦，李洪文，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：