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本发明提供一种基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装置及方法,包括:光源、波分复用器件、合束器、子孔径装置和探测器装置;光源发出的光束经过波分复用器件后再经过第一分束器后分为第一光束和第二光束;第一光束经过光束延迟线装置产生光程差后经过光...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明提供一种基于光纤互联的高精度大行程光学间隔测量装置及方法,包括:光源、波分复用器件、合束器、子孔径装置和探测器装置;光源发出的光束经过波分复用器件后再经过第一分束器后分为第一光束和第二光束;第一光束经过光束延迟线装置产生光程差后经过光...