一种多工作波长的UV-LED光刻光源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多工作波长的UV

【技术实现步骤摘要】
一种多工作波长的UV
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LED光刻光源


[0001]本技术属于光刻机相关
，特别是涉及一种多工作波长的UV
‑
LED光刻光源。

技术介绍

[0002]UV
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LED即紫外发光二极管，是LED的一种，波长范围为:260
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400nm，是单波长的不可见光，一般在400nm以下，固化用主要有365nm和395nm。UV胶固化一般使用365nm波长，光刻机工作时，光源发出的光经过掩模，再引导到涂覆胶体的基板上，将光刻胶固化，因此需要使用UV
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LED光刻光源，但它在实际使用中仍存在以下弊端：
[0003]1、UV
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LED光刻光源在工作的时候，切换工作波长的时候，直接控制光源变换工作波长，需要改变光源的发光功率，直接改变光源的发光功率需要较多的程序进行DLC进行精确地控制，在光源出问题后，维护需要工作人员花费较多的时间排查问题出处，使用不便；
[0004]2、UV
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LED光刻光源工作时，工作波长在350n本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多工作波长的UV
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LED光刻光源，包括凸轮分割器（100）、连接架（200）和连接框（300），其特征在于：所述凸轮分割器（100）上方的一侧设置有连接架（200），所述连接架（200）外侧的四个端部皆设置有连接框（300），所述连接框（300）内远离连接架（200）的一侧固定有玻璃板（304），所述凸轮分割器（100）的顶部一侧固定有反射镜（101）。2.根据权利要求1所述的一种多工作波长的UV
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LED光刻光源，其特征在于：所述凸轮分割器（100）输出端固定有输出轴（102），所述输出轴（102）的顶端与连接架（200）底部固定，所述反射镜（101）固定在凸轮分割器（100）顶部远离输出轴（102）的一侧。3.根据权利要求1所述的一种多工作波长的UV
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LED光刻光源，其特征在于：所述凸轮分割器（100）底部的四个拐角处皆固定有连接杆（103），所述凸轮分割器（100）下方与反射镜（101）位置对应地设置有驱动电机（104），所述驱动电机（104）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张博，刘琴，武小可，陈龙飞，
申请(专利权)人：河南百合特种光学研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：