描绘装置以及描绘装置的控制方法制造方法及图纸

提供一种能够抑制消隐期间中的泄漏束给描绘处理带来的影响的描绘装置以及描绘装置的控制方法。本实施方式的描绘装置是将多带电粒子束向照射对象的规定位置照射而在照射对象上描绘规定图案的描绘装置，具备：生成多带电粒子束的束生成机构；对所生成的多带电粒子束进行消隐控制的消隐孔径机构；搭载照射对象并能够移动的工作台；以及控制描绘装置的控制部，控制部控制消隐孔径机构以及工作台，在消隐期间中使工作台在照射对象表面的面内方向上移动。上移动。上移动。

【技术实现步骤摘要】
描绘装置以及描绘装置的控制方法
[0001]相关申请
[0002]本申请享受以日本专利申请2021－168403号(申请日：2021年10月13日)为基础申请的优先权。本申请通过参照该基础申请而包含基础申请的全部内容。


[0003]本实施方式涉及描绘装置以及描绘装置的控制方法。

技术介绍

[0004]描绘装置将从电子枪释放的带电粒子束向掩模坯照射，使掩模坯上的感光材料感光为所期望的图案。在描绘装置中，通过使带电粒子束穿过具有由许多的孔径构成的孔径阵列的成形孔径阵列，从而生成所期望的多束。

技术实现思路

[0005]本实施方式提供一种能够抑制消隐期间中的泄漏束给描绘处理带来的影响的描绘装置以及描绘装置的控制方法。
[0006]本实施方式的描绘装置是将多带电粒子束向照射对象的规定位置照射而在照射对象上描绘规定图案的描绘装置，具备：生成多带电粒子束的束生成机构；对所生成的多带电粒子束进行消隐控制的消隐孔径机构；搭载照射对象并能够移动的工作台；以及控制描绘装置的控制部，控制部控制消隐孔径机构以及工作台，在消隐期间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种描绘装置，将多带电粒子束向照射对象的规定位置照射而在上述照射对象上描绘规定图案，其中，具备：束生成机构，生成多带电粒子束；消隐孔径机构，对所生成的上述多带电粒子束进行消隐控制，能够移动的工作台，搭载上述照射对象；以及控制部，控制上述描绘装置，上述控制部控制上述消隐孔径机构以及上述工作台，在描绘准备阶段的消隐期间中，使上述工作台在上述照射对象表面的面内方向上移动。2.如权利要求1所述的描绘装置，其中，还具备用于将上述多带电粒子束一并消隐的消隐器。3.如权利要求1所述的描绘装置，其中，上述控制部在上述消隐期间中以使上述工作台不经过同一位置的方式使该工作台移动。4.如权利要求1所述的描绘装置，其中，上述控制部在上述消隐期间中使上述工作台不停止地移动。5.如权利要求1所述的描绘装置，其中，上述控制部在上述消隐期间进行用于使上述照射对象的温度为恒定的的均热。6.如权利要求1所述的描绘装置，其中，上述控制部在上述消隐期间中使上述工作台在大致水平面内连续地移动。7.如权利要求1所述的描绘装置，其中，上述控制部在上述消隐期间中使上述工作台曲折状、螺旋状或随机地移动。8.如权利要求1所述的描绘装置，其中，上述控制部在上述消隐期间中以上述工作台不经过上述多带电粒子束的光轴的正下方的方式使上述工作台移动。9.如权利要求1所述的描绘装置，其中，上述消隐期间是将上述照射对象搭载在上述工作台上到该照射对象成为规定温度为止的期间。10.如权利要求1所述的描绘装置，其中，在将上述多带电粒子束向上述照射对象照射时，将该多带电粒子束沿着上述照射对象上的多个行照射，上述消隐期间是从上述多个行中的第1行的照射结束到接下来...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤崎英太，中山贵仁，
申请(专利权)人：纽富来科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：