一种双面套刻光刻机的对准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种双面套刻光刻机的对准装置，涉及光刻机对准装置技术领域，本实用新型专利技术包括底座以及移动夹持组件，底座内开设有安装槽，安装槽的顶部中心位置开设有滑槽，移动夹持组件设置在滑槽内；移动夹持组件包括电动伸缩杆、安装杆、转轴、安装块、丝杆、夹持片以及校准灯，电动伸缩杆固定设置在安装槽内的相对两侧，电动伸缩杆的输出端分别与安装杆的端部固定连接，安装杆的顶部中心位置固定设置有转轴。本实用新型专利技术为一种双面套刻光刻机的对准装置，通过设置电动伸缩杆、安装杆、转轴、安装块、丝杆、夹持片以及校准灯，对准操作方便快速，物镜移动方便，提高了装置的对准效率。提高了装置的对准效率。提高了装置的对准效率。

【技术实现步骤摘要】
一种双面套刻光刻机的对准装置


[0001]本技术涉及光刻机对准装置
，特别涉及一种双面套刻光刻机的对准装置。

技术介绍

[0002]光刻机(Mask Aligner)，又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。
[0003]其分为两种，一种是模板与图样大小一致的接触光刻机，曝光时模板紧贴晶圆；另一种是利用短波长激光和类似投影机原理的步进式光刻机或扫描式光刻机，获得比模板更小的曝光图样。
[0004]现有装置在对准时通常将物镜固定通过调整晶圆的位置从而实现双面光刻，但晶圆在使用过程中调整空间有限，而现有物镜调整移动较为困难造成对准过程复杂，对准效率低。
[0005]目前市场上，现有装置存在物镜与晶圆对准调整较为复杂的问题，为此，提出一种双面套刻光刻机的对准装置。

技术实现思路

[0006]本技术的主要目的在于提供一种双面套刻光刻机的对准装置，可以有效解决
技术介绍
中现有装置存在物镜与晶圆对准调整较为复杂的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种双面套刻光刻机的对准装置，包括底座以及移动夹持组件，所述底座内开设有安装槽，所述安装槽的顶部中心位置开设有滑槽，所述移动夹持组件设置在滑槽内；
[0008]所述移动夹持组件包括电动伸缩杆、安装杆、转轴、安装块、丝杆、夹持片以及校准灯，所述电动伸缩杆固定设置在安装槽内的相对两侧，所述电动伸缩杆的输出端分别与安装杆的端部固定连接，所述安装杆的顶部中心位置固定设置有转轴，所述转轴位于滑槽内，所述转轴顶部固定设置有安装块，所述丝杆活动设置在安装块内，所述夹持片套设在丝杆的两端，所述夹持片的一侧开设有夹持槽，每个所述夹持片的相对两侧分别固定设置有校准灯。通过设置电动伸缩杆、安装杆、转轴、安装块、丝杆、夹持片以及校准灯，将无限共轭显微物镜放置在两个夹持片之间，控制伺服电机转动，伺服电机转动带动丝杆转动，丝杆转动带动夹持片移动从而将无限共轭显微物镜夹持，再将掩膜板放置到放置槽内，利用校准灯使其对准，然后将掩膜板取出，将晶圆放置到放置槽内，同时控制电动伸缩杆伸缩将无限共轭显微物镜调整至最佳工作位置，对准操作方便快速，物镜移动方便，提高了装置的对准效率。
[0009]所述无限共轭显微物镜，其原理以及优点为：数值孔径是决定系统分辨率的最主要因素，在相同数值孔径下物镜的工作距离可以更短且物镜总体长度也远小于相同数值孔径下的普通镜头，同时为了满足实际使用时需要在对准后插入需要刻蚀的晶圆，这时镜头
的工作距离就需要重新调整到最佳工作距离处，而无限共轭显微物镜在沿着光轴前后移动不会影响像质。
[0010]优选地，所述滑槽的相对两侧分别开设有滑轨，所述滑轨与放置部滑动配合，便于调整装置。
[0011]优选地，所述放置部包括滑块、支撑杆以及放置台，所述滑块与滑轨滑动配合，所述滑块的顶部固定设置有支撑杆，所述支撑杆的顶部固定设置有放置台，所述放置台上开设有校准孔，所述放置台的一侧底部开设有放置槽，便于放置晶圆。
[0012]优选地，所述放置部共设置有两组，两组所述放置部分别位于滑槽的两端，保证装置的双面光刻效果。
[0013]优选地，所述校准孔开设有两个，两个校准孔等间距排列，且所述校准孔与校准灯相适配，便于晶圆与物镜对准。
[0014]优选地，所述安装块的一侧固定设置有伺服电机，所述伺服电机的型号为FL42STH33
‑
0956MA，所述伺服电机的输出端贯穿安装块的一侧与丝杆固定连接，便于调整夹持片。
[0015]优选地，所述夹持片的截面以及夹持槽的截面均为弧形设置，保证夹持效果。
[0016]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0017]本技术中，通过设置电动伸缩杆、安装杆、转轴、安装块、丝杆、夹持片以及校准灯，将无限共轭显微物镜放置在两个夹持片之间，控制伺服电机转动，伺服电机转动带动丝杆转动，丝杆转动带动夹持片移动从而将无限共轭显微物镜夹持，再将掩膜板放置到放置槽内，利用校准灯使其对准，然后将掩膜板取出，将晶圆放置到放置槽内，同时控制电动伸缩杆伸缩将无限共轭显微物镜调整至最佳工作位置，对准操作方便快速，物镜移动方便，提高了装置的对准效率。
附图说明
[0018]图1为本技术一种双面套刻光刻机的对准装置结构示意图；
[0019]图2为本技术一种双面套刻光刻机的对准装置主视平面图；
[0020]图3为本技术一种双面套刻光刻机的对准装置侧视平面图；
[0021]图4为本技术一种双面套刻光刻机的对准装置俯视平面图；
[0022]图5为图1中A处放大图。
[0023]图中：1、底座；2、安装槽；3、滑块；4、放置台；5、滑轨；6、校准孔；7、电动伸缩杆；8、安装杆；9、转轴；10、安装块；11、滑槽；12、支撑杆；13、放置槽；14、夹持片；15、校准灯；16、伺服电机；17、丝杆；18、夹持槽。
具体实施方式
[0024]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须
具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]请参照图1—5所示，本技术为一种双面套刻光刻机的对准装置，包括底座1以及移动夹持组件，底座1内开设有安装槽2，安装槽2的顶部中心位置开设有滑槽11，移动夹持组件设置在滑槽11内；
[0028]移动夹持组件包括电动伸缩杆7、安装杆8、转轴9、安装块10、丝杆17、夹持片14以及校准灯15，电动伸缩杆7固定设置在安装槽2内的相对两侧，电动伸缩杆7的输出端分别与安装杆8的端部固定连接，安装杆8的顶部中心位置固定设置有转轴9，转轴9位于滑槽11内，转轴9顶部固定设置有安装块10，丝杆17活动设置在安装块10内，夹持片14套设在丝杆17的两端，夹持片14的一侧开设有夹持槽18，每个夹持片14的相对两侧分别固定设置有校准灯15。
[0029]其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双面套刻光刻机的对准装置，其特征在于：包括底座(1)以及移动夹持组件，所述底座(1)内开设有安装槽(2)，所述安装槽(2)的顶部中心位置开设有滑槽(11)，所述移动夹持组件设置在滑槽(11)内；所述移动夹持组件包括电动伸缩杆(7)、安装杆(8)、转轴(9)、安装块(10)、丝杆(17)、夹持片(14)以及校准灯(15)，所述电动伸缩杆(7)固定设置在安装槽(2)内的相对两侧，所述电动伸缩杆(7)的输出端分别与安装杆(8)的端部固定连接，所述安装杆(8)的顶部中心位置固定设置有转轴(9)，所述转轴(9)位于滑槽(11)内，所述转轴(9)顶部固定设置有安装块(10)，所述丝杆(17)活动设置在安装块(10)内，所述夹持片(14)套设在丝杆(17)的两端，所述夹持片(14)的一侧开设有夹持槽(18)，每个所述夹持片(14)的相对两侧分别固定设置有校准灯(15)。2.根据权利要求1所述的一种双面套刻光刻机的对准装置，其特征在于：所述滑槽(11)的相对两侧分别开设有滑轨(5)，所述滑轨(5)与放置部滑动配合。3.根据权利要求2所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅舰艇，林世超，邓嘉乐，
申请(专利权)人：苏州中特微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：