一种全自动接近式曝光机制造技术

本发明专利技术公开了一种全自动接近式曝光机，涉及曝光技术领域，包括：支撑单元，所述支撑单元后侧固定连接有固定架；取料机械手和放料机械手，分别设置在支撑单元上表面右侧和左侧；上料机械手和下料机械手，分别设置在支撑单元上表面右侧和左侧；光源系统，设置在固定架上表面；两个视觉系统，对称设置固定架上表面左右两侧；精对位系统，设置在支撑单元中部；中转单元，设置在支撑单元上表面左侧；料仓装置，设置在支撑单元上表面前端两侧；粗对位系统，设置在支撑单元上表面右侧。本发明专利技术通过设置上料机械手、粗对位系统、取料机械手、中转单元、放料机械手和下料机械手，使得晶圆片没有等待时间，有效提高生产效率。有效提高生产效率。有效提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动接近式曝光机


[0001]本专利技术涉及曝光
，具体是涉及一种全自动接近式曝光机。

技术介绍

[0002]随着半导体、LED行业的飞速发展，晶圆种类也越来越多，对测试要求也越来越高，对于晶圆的定位精度要求也越来越高。其中，在芯片的制造过程中，需要使用到曝光机。然而，现有曝光机机械结构复杂、传送链长、机械动作循环周期长，导致晶圆等待时间较长，影响了曝光的整体效率较低，并且，对在实现晶圆相应标记点对位的精度不够。为解决上述问题，有必要提供一种全自动接近式曝光机。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，提供一种全自动接近式曝光机，本技术方案解决了上述
技术介绍
中提出的现有曝光机机械结构复杂、传送链长、机械动作循环周期长，导致晶圆等待时间较长，影响了曝光的整体效率较低，并且，对在实现晶圆相应标记点对位的精度不够的问题。
[0004]为达到以上目的，本专利技术采用的技术方案为：
[0005]一种全自动接近式曝光机，包括：
[0006]支撑单元，所述支撑单元后侧固定连接有固定架；
[0007]取料机械手和放料机械手，分别设置在支撑单元上表面右侧和左侧，所述取料机械手和放料机械手用于执行吸取晶圆并沿直线运动传送晶圆；
[0008]上料机械手和下料机械手，分别设置在支撑单元上表面右侧和左侧，所述上料机械手和下料机械手用于执行吸取晶圆并沿直线运动传送晶圆；
[0009]光源系统，设置在固定架上表面，所述光源系统执行曝光动作；
[0010]两个视觉系统，对称设置固定架上表面左右两侧，所述视觉系统用于执行晶圆相应标记点精确对位，视觉系统可提供XYZ三轴方向运动；
[0011]精对位系统，设置在支撑单元中部，所述精对位系统用于执行晶圆相应标记点精确对位，精对位系统可提供XYZ三轴方向运动；
[0012]中转单元，设置在支撑单元上表面左侧，所述中转单元用于临时放置晶圆，可提供上下运动；
[0013]料仓装置，设置在支撑单元上表面前端两侧，所述料仓装置用于上下移动和储存晶圆；
[0014]粗对位系统，设置在支撑单元上表面右侧，所述粗对位系统用于执行晶圆粗对位动作，包括定心、旋转、上下移动晶圆。
[0015]优选的，所述上料机械手和下料机械手对称设置，上料机械手和下料机械手的结构一致，上料机械手包括上料电缸，上料电缸固定连接在支撑单元上表面，上料电缸右端安装有上料伺服电机，上料电缸后侧安装有上料拖链，上料电缸顶部安装有上料托臂，上料托
臂端部固定连接有上料手。
[0016]优选的，所述取料机械手和放料机械手对称设置，取料机械手和放料机械手结构一致，取料机械手包括两个立柱，立柱固定连接在支撑单元上表面，立柱顶部固定连接有取料电缸，取料电缸后侧安装有取料拖链，取料电缸左端安装有取料伺服电机，取料电缸正面滑动连接有滑块，滑块下方固定连接有凸板，凸板前端固定连接有取料手，取料手与上料手设置在不同高度。
[0017]优选的，所述料仓装置包括料仓板，料仓板固定连接在支撑单元上表面，料仓板底部固定连接有料仓气缸，料仓气缸的输出端固定连接有料仓架，料仓架底部固定连接有滑杆，滑杆与料仓板滑动连接，料仓架左方前后侧均开设有若干个晶圆槽。
[0018]优选的，所述粗对位系统包括撑板，撑板固定连接在支撑单元上表面，撑板底部固定连接有粗对位气缸，撑板顶部固定连接有固定板，粗对位气缸的输出端固定连接有旋转头，旋转头顶部开设有开槽，固定板后侧固定连接有对位架，对位架与固定板之间固定连接有柔性钢条，固定板上表面两侧均固定连接有校正气缸，校正气缸的输出端固定连接有粗对位件。
[0019]优选的，所述视觉系统包括X轴伺服电机和滑轨，X轴伺服电机和滑轨固定连接在固定架上表面，X轴伺服电机的输出端螺纹连接有移动板，移动板底部与滑轨滑动连接，移动板顶部固定连接有Y轴伺服电机，Y轴伺服电机的输出端螺纹连接有活动板，活动板底部与移动板滑动连接，活动板前端固定连接有竖板，竖板顶部固定连接有Z轴伺服电机，Z轴伺服电机的输出端螺纹连接有滑板，滑板背面与竖板滑动连接，滑板正面固定连接有支架，支架端部固定连接有视觉探头。
[0020]优选的，所述中转单元包括固定件，固定件固定连接在支撑单元上表面，固定件后侧固定连接有中转气缸，中转气缸的输出端固定连接有托板，托板顶部四角均固定连接有中转柱。
[0021]优选的，所述精对位系统包括托架和升降板，托架固定连接在支撑单元上表面，升降板抵接在支撑单元上表面，升降板前侧固定连接有X轴气缸，X轴气缸的输出端固定连接有平移板，平移板与升降板滑动连接，平移板上表面左侧固定连接有Y轴气缸，Y轴气缸的输出端固定连接有平板，平板与平移板滑动连接，平板顶部安装有旋转机构，旋转机构顶部固定连接有晶圆架，升降板底部安装有顶升气缸，顶升气缸的输出端与升降板固定连接，顶升气缸固定连接在支撑单元上，托架中部安装有透光板。
[0022]与现有技术相比，本专利技术提供了一种全自动接近式曝光机，具备以下有益效果：
[0023]1、通过设置上料机械手、粗对位系统、取料机械手、中转单元、放料机械手和下料机械手，简化了曝光机的机械结构，缩短了曝光机的传送链长，同时，还可以使得整个自动化曝光流程单向流动，晶圆片没有等待时间，可有效提高生产效率；
[0024]2、通过设置粗对位系统和精对位系统，通过两步对晶圆片粗对位和精对位，从而实现晶圆相应标记点精确对位，提升对位的精度，进而在曝光时，取得更好的效果。
附图说明
[0025]图1为本专利技术的正面立体结构示意图；
[0026]图2为本专利技术的隐去精对位系统的结构示意图；
[0027]图3为本专利技术的正视结构示意图；
[0028]图4为本专利技术的左视结构示意图；
[0029]图5为本专利技术的俯视结构示意图；
[0030]图6为本专利技术的上、下料机械手结构示意图；
[0031]图7为本专利技术的料仓装置结构示意图；
[0032]图8为本专利技术的粗对位系统结构示意图；
[0033]图9为本专利技术的视觉系统结构示意图；
[0034]图10为本专利技术的取、放料机械手结构示意图；
[0035]图11为本专利技术的中转单元结构示意图；
[0036]图12为本专利技术的精对位系统结构示意图；
[0037]图13为本专利技术的光源系统结构示意图；
[0038]图14为本专利技术的晶圆结构示意图。
[0039]图中标号为：
[0040]1、光源系统；
[0041]2、取料机械手；2a、取料伺服电机；2b、滑块；2c、凸板；2d、取料电缸；2e、取料手；2f、取料拖链；2g、立柱；
[0042]3、上料机械手；3a、上料拖链；3b、上料电缸；3c、上料伺服电机；3d、上料托臂；3e、上料手；
[0043]4、粗对位系统；4a、对位架；4b、柔性钢条；4c、撑板；4d、粗对位气缸；4e、开本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动接近式曝光机，其特征在于，包括：支撑单元(6)，所述支撑单元(6)后侧固定连接有固定架(12)；取料机械手(2)和放料机械手(11)，分别设置在支撑单元(6)上表面右侧和左侧，所述取料机械手(2)和放料机械手(11)用于执行吸取晶圆并沿直线运动传送晶圆；上料机械手(3)和下料机械手(10)，分别设置在支撑单元(6)上表面右侧和左侧，所述上料机械手(3)和下料机械手(10)用于执行吸取晶圆并沿直线运动传送晶圆；光源系统(1)，设置在固定架(12)上表面，所述光源系统(1)执行曝光动作；两个视觉系统(7)，对称设置固定架(12)上表面左右两侧，所述视觉系统(7)用于执行晶圆相应标记点精确对位，视觉系统(7)可提供XYZ三轴方向运动；精对位系统(8)，设置在支撑单元(6)中部，所述精对位系统(8)用于执行晶圆相应标记点精确对位，精对位系统(8)可提供XYZ三轴方向运动；中转单元(9)，设置在支撑单元(6)上表面左侧，所述中转单元(9)用于临时放置晶圆，可提供上下运动；料仓装置(5)，设置在支撑单元(6)上表面前端两侧，所述料仓装置(5)用于上下移动和储存晶圆；粗对位系统(4)，设置在支撑单元(6)上表面右侧，所述粗对位系统(4)用于执行晶圆粗对位动作，包括定心、旋转、上下移动晶圆。2.根据权利要求1所述的一种全自动接近式曝光机，其特征在于：所述上料机械手(3)和下料机械手(10)对称设置，上料机械手(3)和下料机械手(10)的结构一致，上料机械手(3)包括上料电缸(3b)，上料电缸(3b)固定连接在支撑单元(6)上表面，上料电缸(3b)右端安装有上料伺服电机(3c)，上料电缸(3b)后侧安装有上料拖链(3a)，上料电缸(3b)顶部安装有上料托臂(3d)，上料托臂(3d)端部固定连接有上料手(3e)。3.根据权利要求2所述的一种全自动接近式曝光机，其特征在于：所述取料机械手(2)和放料机械手(11)对称设置，取料机械手(2)和放料机械手(11)结构一致，取料机械手(2)包括两个立柱(2g)，立柱(2g)固定连接在支撑单元(6)上表面，立柱(2g)顶部固定连接有取料电缸(2d)，取料电缸(2d)后侧安装有取料拖链(2f)，取料电缸(2d)左端安装有取料伺服电机(2a)，取料电缸(2d)正面滑动连接有滑块(2b)，滑块(2b)下方固定连接有凸板(2c)，凸板(2c)前端固定连接有取料手(2e)，取料手(2e)与上料手(3e)设置在不同高度。4.根据权利要求1所述的一种全自动接近式曝光机，其特征在于：所述料仓装置(5)包括料仓板(5c)，料仓板(5c)固定连接在支撑单元(6)上表面，料仓板(5c)底部固定连接有料仓气缸(5e)，料仓气缸(5e)的输出端固定连接有料仓架(5a)，料仓架(5a)底部固定连接有滑杆(5d)，滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅舰艇，林世超，
申请(专利权)人：苏州中特微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：