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描绘装置以及描绘装置的控制方法制造方法及图纸
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下载描绘装置以及描绘装置的控制方法的技术资料
文档序号:37246901
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提供一种能够抑制消隐期间中的泄漏束给描绘处理带来的影响的描绘装置以及描绘装置的控制方法。本实施方式的描绘装置是将多带电粒子束向照射对象的规定位置照射而在照射对象上描绘规定图案的描绘装置,具备:生成多带电粒子束的束生成机构;对所生成的多带电粒...
该专利属于纽富来科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过纽富来科技股份有限公司授权不得商用。
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