形成薄膜的方法以及制造器件的方法技术

液体材料以液滴形式被放置在衬底上以在衬底上形成薄膜。液体材料中固体的浓度和液滴的干燥速度中至少一个被用作控制液滴的干薄膜形状的参数。此外，第一液滴被放置在衬底上，第一液滴被干燥以形成其形状为边部厚度大于中心部分厚度的干薄膜，第二液滴被放置在被第一液滴的干薄膜边缘部分环绕的区域中，以形成第二液滴的干薄膜。此外，液体材料以液滴形式被放置在衬底上以在衬底上形成薄膜，液滴的干薄膜通过收缩液滴而形成。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及形成薄膜的方法和制造器件的方法。
技术介绍
用在显示器、显示光源及其类似物中的光电装置和诸如半导体器件等电子器件的制造方法含有在衬底上放置材料以在衬底上形成薄膜的步骤。质量和功能与放置材料的技术以及形成薄膜的技术密切相关。因此，技术对提高上述器件的性能是重要的。在衬底上放置材料的技术是一种通过设置在排出压头中的喷嘴以液滴方式排出液体材料的方法(例如，日本未审查专利申请，第一次公布No.11-274671)。这种液滴排出方法，与例如旋涂方法等技术相比，在液体材料的使用中产生较少的浪费，并更容易控制置于衬底上的液体材料的量和位置。利用液滴排出方法在衬底上形成薄膜的技术需要关于在衬底上放置液体材料方面的精度，而且也需要提高在液体薄膜变干后薄膜形状的精度和稳定性。另外，关于使液体材料变成液滴以将它置于衬底上的技术，有这样一种技术在衬底上形成了贮格围堰(bank)，并且液滴被置于贮格围堰围成的区域中(例如，日本未审查专利申请，第一次公布No.11-271753)。在此技术中，由于液滴被放置的区域由所述贮格围堰界定，因此作为隔离物，液滴(液体材料)在湿的时候被放置扩散。近年来，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种形成薄膜的方法，包括步骤：　　　　在衬底上放置第一液滴；　　　　干燥所述第一液滴以形成其形状为边部厚度大于中心厚度的干薄膜，以及　　　　在被所述第一液滴的干薄膜的边缘部分环绕的区域中放置第二液滴、以形成所述第二液滴的干薄膜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：增田贵史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]