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形成薄膜的方法以及制造器件的方法技术
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文档序号:3724906
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液体材料以液滴形式被放置在衬底上以在衬底上形成薄膜。液体材料中固体的浓度和液滴的干燥速度中至少一个被用作控制液滴的干薄膜形状的参数。此外,第一液滴被放置在衬底上,第一液滴被干燥以形成其形状为边部厚度大于中心部分厚度的干薄膜,第二液滴被放置在...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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