一种具有体光伏效应的铁电薄膜器件制造技术

本发明专利技术公开了一种具有体光伏效应的铁电薄膜器件，包括衬底，所述衬底上沉积铁电薄膜，该铁电薄膜的极化方向垂直于其表面，消除铁电薄膜器件的光伏效应中退极化场的贡献；所述铁电薄膜上沉积有呈正多边形的中心电极，铁电薄膜上还沉积有多个正多边形的边缘电极，边缘电极的数量与所述中心电极的边数相等，边缘电极阵列在中心电极的周围，中心电极的每条边与相邻的边缘电极的边平行且间隔距离为L，所述边缘电极和中心电极的材料相同且同时制备，消除铁电薄膜器件的光伏效应中肖特基势垒的贡献。特别是铁电薄膜为T相时，还可消除铁电薄膜器件的光伏效应中畴壁的贡献，从而得到具有体光伏效应的铁电薄膜器件。

【技术实现步骤摘要】
201610039249

【技术保护点】
一种具有体光伏效应的铁电薄膜器件，其特征在于：包括衬底(1)，所述衬底(1)上沉积铁电薄膜(2)，该铁电薄膜(2)的极化方向垂直于其表面；所述铁电薄膜(2)上沉积有呈正多边形的中心电极(3)，铁电薄膜(2)上还沉积有多个正多边形的边缘电极(4)，边缘电极(4)的数量与所述中心电极(3)的边数相等，边缘电极(4)阵列在中心电极(3)的周围，中心电极(3)的每条边与相邻的边缘电极(4)的边平行且间隔距离为L，所述边缘电极(4)和中心电极(3)的材料相同且同时制备。

【技术特征摘要】
1.一种具有体光伏效应的铁电薄膜器件，其特征在于：包括衬底(1)，
所述衬底(1)上沉积铁电薄膜(2)，该铁电薄膜(2)的极化方向垂直于其
表面；所述铁电薄膜(2)上沉积有呈正多边形的中心电极(3)，铁电薄膜
(2)上还沉积有多个正多边形的边缘电极(4)，边缘电极(4)的数量与所
述中心电极(3)的边数相等，边缘电极(4)阵列在中心电极(3)的周围，
中心电极(3)的每条边与相邻的边缘电极(4)的边平行且间隔距离为L，所
述边缘电极(4)和中心电极(3)的材料相同且同时制备。
2.根据权利要求1所述的一种具有体光伏效应的铁电薄膜器件，其特征在
于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：高荣礼，符春林，蔡苇，陈刚，邓小玲，
申请(专利权)人：重庆科技学院，
类型：发明
国别省市：重庆;85