【技术实现步骤摘要】
本技术属于气体放电与等离子体
，具体的说是差分 馈电介质阻挡放电低温等离子体装置。技术背景介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge,以下统一简称 DBD)是获得工业用大面积均匀低温等离子体的主要方式。DBD —般 为两个电极间的气体放电，其中至少一个电极上覆盖有介质层，或在 电极间的任何位置设置介质。因DBD具有电子密度高和可在常压下运 行的特点，已在工业中大规模应用。目前的DBD装置一般采用交流高压电源单端馈电方式激励，即将 交流高压电源的高压输出端和DBD装置的高压电极连接，交流高压电 源的地和DBD装置的地电极连接。采用这种单端馈电方式的DBD装置 目前只能在放电气隙比较小的情况下运行。例如在空气中，DBD的放 电气隙一般为几个毫米，因为电场分布均匀时空气的击穿场强约为 30kV/cm，假设放电气隙为lOmm，则高压电极与地电极之间的电压需 达到约30kV才能使气隙产生放电。随着放电气隙的距离增大，高压 电极上的电压也要增加，高压电极和周围空气的电晕放电也会增强， 从而导致高压电源的激励能量损耗在高压电极和周围空气的...
【技术保护点】
差分馈电介质阻挡放电低温等离子体装置，包括差分输出高压电源、两个高压电极，差分输出高压电源输出端分别与两个高压电极相连接，在两个高压电极的相向面，其中至少一个高压电极上面覆盖有一层介质，或在两个高压电极中间的任何位置设置介质，电极间的气体为负载，其特征在于：所述差分输出高压电源两输出端对地电压大小相等或误差小于等于±５０％、相位相差１３５度～２２５度。
【技术特征摘要】
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