【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于气体放电与等离子体
,具体的说是差分馈电介质阻挡放电低温等离子体装置。
技术介绍
介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge,以下统一简称DBD)是获得工业用大面积均匀低温等离子体的主要方式。DBD一般为两个电极间的气体放电,其中至少一个电极上覆盖有介质层,或在电极间的任何位置设置介质。因DBD具有电子密度高和可在常压下运行的特点,已在工业中大规模应用。目前的DBD装置一般采用交流高压电源单端馈电方式激励,即将交流高压电源的高压输出端和DBD装置的高压电极连接,交流高压电源的地和DBD装置的地电极连接。采用这种单端馈电方式的DBD装置目前只能在放电气隙比较小的情况下运行。例如在空气中,DBD的放电气隙一般为几个毫米,因为电场分布均匀时空气的击穿场强约为30kV/cm,假设放电气隙为10mm,则高压电极与地电极之间的电压需达到约30kV才能使气隙产生放电。随着放电气隙的距离增大,高压电极上的电压也要增加,高压电极和周围空气的电晕放电也会增强,从而导致高压电源的激励能量损耗在高压电极和周围空气的电晕放电中,使DBD气 ...
【技术保护点】
差分馈电介质阻挡放电低温等离子体装置,包括差分输出高压电源、两个高压电极,差分输出高压电源输出端分别与两个高压电极相连接,在两个高压电极的相向面,其中至少一个高压电极上面覆盖有一层介质,或在两个高压电极中间的任何位置设置介质,电极间的气体为负载,其特征在于:所述差分输出高压电源两输出端对地电压大小相等或误差小于等于±50%、相位相差135度~225度。
【技术特征摘要】
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