【技术实现步骤摘要】
地那米加速器芯管保护装置
本技术涉及一种地那米加速器芯管保护装置，特别是涉及一种在电子 束出现异常时发出报警并停止加速器的运行的地那米加速器芯管保护装置。
技术介绍
1现有技术的地那米加速器，其真空部分包括加速管、真空泵、扫描盒以及 由加速管到扫描盒之间的连接管道组成。加速器在运行时要求真空部分的真空 度必须达到2*10」Pa或更高，电子枪发出的电子束在垂直到达扫描》兹《失形成的 扫描磁场后，在扫描磁场的控制下不断的打在引出窗的钛箔上。为了安装扫描 磁铁，在扫描磁铁的安放处有设有一个装置，在上下法兰间有一个近似喇叭状 的长方行管道，叫作芯管。芯管的内部供电子束通过，外边安装扫描磁《失。其整体结构如附图l所示，其中的上法兰与一波紋管22相接，上法兰的结 构如图2种的园形结构是法兰与波紋管22相连的密封口。图中的长方形结构是 芯管12的入口，它明显的小于波紋管的内径，由附图2可知，电子束在进入扫 描盒前要先经过聚焦和导向磁场，在正常情况下，电子束会经过图2中的长方 形孔进入扫描盒，但当电子束出现偏移或散焦时，电子束就会打在图2中所示 长方形芯管12中的一个或几...
【技术保护点】
地那米加速器芯管保护装置，其特征在于：包括至少一个温度传感器至于芯管的上端，所述传感器和一程控温控器连接，所述程控温控器和一主控计算机连接进行信号发送，且计算机和加速器控制器连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邢东剑，万军华，邵文海，
申请(专利权)人：深圳长园电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]
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