地那米加速器芯管保护装置属于地那米加速器领域，包括至少一个温度传感器置于芯管的上端，所述传感器和一程控温控器连接，所述程控温控器和一主控计算机连接进行信号发送，且计算机和加速器控制器连接。本实用新型专利技术仅仅是在电子束出现异常时通过温度传感器传递的温度传递给程控温控器后借由计算机发出报警并停止加速器的运行，从而保证芯管不被烧穿，避免破坏性的后果发生，费用不高，但成效明显。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
地那米加速器芯管保护装置
本技术涉及一种地那米加速器芯管保护装置，特别是涉及一种在电子 束出现异常时发出报警并停止加速器的运行的地那米加速器芯管保护装置。
技术介绍
1现有技术的地那米加速器，其真空部分包括加速管、真空泵、扫描盒以及 由加速管到扫描盒之间的连接管道组成。加速器在运行时要求真空部分的真空 度必须达到2*10」Pa或更高，电子枪发出的电子束在垂直到达扫描》兹《失形成的 扫描磁场后，在扫描磁场的控制下不断的打在引出窗的钛箔上。为了安装扫描 磁铁，在扫描磁铁的安放处有设有一个装置，在上下法兰间有一个近似喇叭状 的长方行管道，叫作芯管。芯管的内部供电子束通过，外边安装扫描磁《失。其整体结构如附图l所示，其中的上法兰与一波紋管22相接，上法兰的结 构如图2种的园形结构是法兰与波紋管22相连的密封口。图中的长方形结构是 芯管12的入口，它明显的小于波紋管的内径，由附图2可知，电子束在进入扫 描盒前要先经过聚焦和导向磁场，在正常情况下，电子束会经过图2中的长方 形孔进入扫描盒，但当电子束出现偏移或散焦时，电子束就会打在图2中所示 长方形芯管12中的一个或几个边上，这种现象虽不是经常发生，但出现后造成 的后果却是破坏性的，它会将芯管12法兰上的焊缝打漏，从而使整个系统的真 空失效，加速器无法工作。
技术实现思路
针对上迷存在的问题，本技术提供一种解决在电子束发生偏移或散焦 时，及时发现并避免破坏性的后果发生。本技术所用的技术方案是，本技术地那米加速器芯管保护装置包 括若干个温度传感器至于芯管的上端，所述传感器和一程控温控器连接，所述 程控温控器和一主控计算机连接进行信号发送，且计算机和加速器控制连接。其中，所述传感器固定于法兰与芯管形成的夹缝处。当传感器的温度超出了预设温度，温控器会给出一个信号，该信号被转换 成报警信号后传给主控计算机，计算机立刻停止加速器的运行，这样也就避免 了芯管被烧漏的可能，对于偶然出现的报警， 一般在加速器再次开机后就不会 出现，对于连续出现的报警则要检查原因并排除之。本技术仅仅是在电子 束出现异常时发出报警并停止加速器的运行，从而保证芯管不被烧穿，避免破 坏性的后果发生，费用不高，但成效明显。附图说明图1为现有地那米加速器芯管的结构示意图；图2为本技术地那米加速器芯管保护装置的结构示意图；图3为本技术地那米加速器芯管保护装置的温度传感器放置示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的结构进行进一步的说明。 如图2所示地那米加速器芯管保护装置包括若干个温度传感器11至于 芯管12的上端，所述传感器11通过导线111和一程控温控器13连接，所述程 控温控器13和一主控计算机14连接进行信号发送，且计算机和加速器控制连 接。如图3所示所迷传感器11固定于法兰21与芯管12形成的夹缝处。 如图1所示芯管12的长方形入口有四个边，当电子束发生偏移或散焦时，会打在其中的一个或多个边上，芯管12在被烧漏的过程中温度会从常温逐 渐升高到一千多度，由于金属的热传递比较好，当芯管的焊缝在被电子束加热 时，法兰21的另一边的温度也在不断的升高，我们只要测得温度的变化也就发 现了电子束出现偏移或散焦的问题。为此，我们在芯管的上端四周放四个温度 传感器11。并用胶将传感器紧紧的固定在法兰21与芯管12形成的夹缝处，传 感器11的联线接到程控温控器13上，温控器13不断的循环测量传感器的温度， 当任一传感器的温度超出了预设温度(预设温度一般设为高出传感器测得温度 的十度左右即可)，温控器13会给出一个信号，该信号被转换成报警信号后传 给主控计算机14,计算机14立刻停止加速器的运行，这样也就避免了芯管被烧 漏的可能，对于偶然出现的报警， 一般在加速器再次开机后就不会出现，对于 连续出现的报警则要检查原因并排除之。本技术仅仅是在电子束出现异常 时发出报警并停止加速器的运行，从而保证芯管不被烧穿，避免破坏性的后果 发生，费用不高，但成效明显。以上所述者，仅为本技术最佳实施例而已，并非用于限制本技术 的范围，凡依本技术专利范围所作的等效变化或修饰，皆为本技术所 涵盖。权利要求1. 地那米加速器芯管保护装置，其特征在于包括至少一个温度传感器至于芯管的上端，所述传感器和一程控温控器连接，所述程控温控器和一主控计算机连接进行信号发送，且计算机和加速器控制器连接。2、 根据权利要求1所述地那米加速器芯管保护装置，其特征在于所 述传感器固定于法兰与芯管形成的夹缝处。专利摘要地那米加速器芯管保护装置属于地那米加速器领域，包括至少一个温度传感器置于芯管的上端，所述传感器和一程控温控器连接，所述程控温控器和一主控计算机连接进行信号发送，且计算机和加速器控制器连接。本技术仅仅是在电子束出现异常时通过温度传感器传递的温度传递给程控温控器后借由计算机发出报警并停止加速器的运行，从而保证芯管不被烧穿，避免破坏性的后果发生，费用不高，但成效明显。文档编号H05H7/00GK201114978SQ20072005190公开日2008年9月10日 申请日期2007年5月25日 优先权日2007年5月25日专利技术者万军华, 邢东剑, 邵文海 申请人:深圳长园电子材料有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
地那米加速器芯管保护装置，其特征在于：包括至少一个温度传感器至于芯管的上端，所述传感器和一程控温控器连接，所述程控温控器和一主控计算机连接进行信号发送，且计算机和加速器控制器连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邢东剑，万军华，邵文海，
申请(专利权)人：深圳长园电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]
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