一种硅片清洗花篮制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片技术领域，具体为一种硅片清洗花篮，包括花篮本体，所述花篮本体的中部开设有放置槽，所述放置槽的两侧内壁处均开设有第一夹持槽，所述第一夹持槽的内壁两侧均开设有卡槽，所述卡槽的内部卡接有弹性夹条；第二夹持槽，所述第二夹持槽开设于放置槽的底端，所述第二夹持槽的两端与第一夹持槽相连通，所述弹性夹条的底端位于第二夹持槽的内部。优选的，所述花篮本体的顶端设置有顶盖。本实用新型专利技术通过设置弹性夹条，将需要清洗的硅片放置在放置槽，然后卡接在两端的第一夹持槽中，夹持硅片时，由于弹性夹条具有弹性会根据硅片的厚度自行适配后将硅片两侧夹持住，硅片的底端会卡接在第二夹持槽中，从而达到便于夹持不同厚度的硅片。持不同厚度的硅片。持不同厚度的硅片。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗花篮


[0001]本技术涉及硅片
，具体为一种硅片清洗花篮。

技术介绍

[0002]硅片是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅片，硅片加工后需要清理，而对应的清洗用载具为清洗花篮。
[0003]市面上常见的清洗花篮夹持硅片时，通过花篮内部开设的槽口将硅片边缘夹持固定，而槽口结构为定制，在制作后无法更改，一套清洗花篮只能夹持对应厚度的硅片使用，这样就需要为每种厚度的硅片配置一套对应的清洗花篮，这样在使用时，需要耗费大量的时间去匹配，进而影响硅片的清洗效率，因此需要设计一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种硅片清洗花篮，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种硅片清洗花篮，所述一种硅片清洗花篮包括
[0007]花篮本体，所述花篮本体的中部开设有放置槽，所述放置槽的两侧内壁处均开设有第一夹持槽，所述第一夹持槽的内壁两侧均开设有卡槽，所述卡槽的内部卡接有弹性夹条；
[0008]第二夹持槽，所述第二夹持槽开设于放置槽的底端，所述第二夹持槽的两端与第一夹持槽相连通，所述弹性夹条的底端位于第二夹持槽的内部。
[0009]优选的，所述花篮本体的顶端设置有顶盖，所述顶盖的底端中部设置有凸板，所述凸板的底端下表面开设有若干弧形槽；
[0010]优选的，所述顶盖的四角均开设有杆槽，四角所述杆槽的顶端均固定安装有轴座，四角所述轴座的内部均螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的顶端固定安装有摇把，所述花篮本体的顶端四角均开设有插槽；
[0011]优选的，所述顶盖的顶端中部固定安装有提手；
[0012]优选的，所述弧形槽与第一夹持槽和第二夹持槽的数量相等，且内径相同；
[0013]优选的，所述弹性夹条的材质耐腐蚀。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]1.该一种硅片清洗花篮，通过设置弹性夹条，将需要清洗的硅片放置在放置槽中，然后卡接在两端的第一夹持槽中，夹持硅片时，由于弹性夹条具有弹性会根据硅片的厚度自行适配后将硅片两侧夹持住，硅片的底端会卡接在第二夹持槽中，从而达到便于夹持不同厚度的硅片。
[0016]2.该一种硅片清洗花篮，通过设置螺纹杆，当硅片夹持后，将顶盖从花篮本体的放
入，放入时保持顶盖四角的螺纹杆对准花篮本体顶端四角的插槽，然后将螺纹杆插入插槽中，接着扭动摇把，摇把扭动时带动螺纹杆螺纹连接在插槽中固定，当顶盖贴合在花篮本体顶端时，顶盖底端的凸板会抵住硅片的顶端，硅片顶端卡接在凸板表面开设的弧形槽中，这样固定硅片，可以避免在清洗时，硅片位移，或者与其他硅片之间贴合。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术的弧形槽结构示意图；
[0019]图3为本技术图1中A处的放大示意图；
[0020]图4为本技术图1中B处的放大示意图。
[0021]图中：1、花篮本体；2、放置槽；3、第一夹持槽；4、顶盖；5、弹性夹条；6、凸板；7、弧形槽；8、杆槽；9、轴座；10、螺纹杆；11、摇把；12、插槽；13、提手；14、第二夹持槽；15、卡槽。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
[0025]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0026]请参阅图1
‑
图4所示，本技术提供的一种技术方案：
[0027]一种硅片清洗花篮，一种硅片清洗花篮包括
[0028]花篮本体1，花篮本体1的中部开设有放置槽2，放置槽2的两侧内壁处均开设有第一夹持槽3，第一夹持槽3的内壁两侧均开设有卡槽15，卡槽15的内部卡接有弹性夹条5；
[0029]第二夹持槽14，第二夹持槽14开设于放置槽2的底端，第二夹持槽14的两端与第一夹持槽3相连通，弹性夹条5的底端位于第二夹持槽14的内部；
[0030]通过上述方案，通过设置弹性夹条5，将需要清洗的硅片放置在放置槽2中，然后卡接在两端的第一夹持槽3中，夹持硅片时，由于弹性夹条5具有弹性会根据硅片的厚度自行适配后将硅片两侧夹持住，硅片的底端会卡接在第二夹持槽14中，从而达到便于夹持不同
厚度的硅片。
[0031]本实施例中，优选的，花篮本体1的顶端设置有顶盖4，顶盖4的底端中部设置有凸板6，凸板6的底端下表面开设有若干弧形槽7；
[0032]本实施例中，优选的，顶盖4的四角均开设有杆槽8，四角杆槽8的顶端均固定安装有轴座9，四角轴座9的内部均螺纹连接有螺纹杆10，螺纹杆10的顶端固定安装有摇把11，花篮本体1的顶端四角均开设有插槽12；
[0033]通过上述方案，通过设置螺纹杆10，当硅片夹持后，将顶盖4从花篮本体1的放入，放入时保持顶盖4四角的螺纹杆10对准花篮本体1顶端四角的插槽12，然后将螺纹杆10插入插槽12中，接着扭动摇把11，摇把11扭动时带动螺纹杆10螺纹连接在插槽12中固定，当顶盖4贴合在花篮本体1顶端时，顶盖4底端的凸板6会抵住硅片的顶端，硅片顶端卡接在凸板6表面开设的弧形槽7中，这样固定硅片，可以避免在清洗时，硅片位移，或者与其他硅片之间贴合；
[0034]本实施例中，优选的，顶盖4的顶端中部固定安装有提手13；
[0035]通过上述方案，通过设置提手13，顶盖4顶端安装提手13，手持提手13方便携带；
[0036]本实施例中，优选的，弧形槽7与第一夹持槽3和第二夹持槽14的数量相等，且内径相同；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗花篮，其特征在于：所述一种硅片清洗花篮包括花篮本体(1)，所述花篮本体(1)的中部开设有放置槽(2)，所述放置槽(2)的两侧内壁处均开设有第一夹持槽(3)，所述第一夹持槽(3)的内壁两侧均开设有卡槽(15)，所述卡槽(15)的内部卡接有弹性夹条(5)；第二夹持槽(14)，所述第二夹持槽(14)开设于放置槽(2)的底端，所述第二夹持槽(14)的两端与第一夹持槽(3)相连通，所述弹性夹条(5)的底端位于第二夹持槽(14)的内部。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮，其特征在于：所述花篮本体(1)的顶端设置有顶盖(4)，所述顶盖(4)的底端中部设置有凸板(6)，所述凸板(6)的底端下表面开设有若干弧形槽(7...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱程，孟岭，
申请(专利权)人：无锡市世通模塑有限公司，
类型：新型
国别省市：