一种晶圆运输盒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆运输盒，包括防护壳体，所述防护壳体的上部开设有锁定腔，所述锁定腔的内部中间转动安装有螺杆所述螺杆上螺纹连接有移动板，所述移动板的两端下部分别设有卡块；所述防护壳体的内部设有晶圆花篮，所述晶圆花篮包括有晶圆花篮架，所述晶圆花篮架的两端分别安装有第一端板和第二端板，所述晶圆花篮架包括有两侧的竖直侧板、两个倾斜侧板和底板，所述竖直侧板和所述倾斜侧板的内侧安装有两个橡胶板，所述底板的上部中间安装有一个橡胶板，所述橡胶板上开设有若干晶圆放置槽。本实用新型专利技术具有防护壳体进行安全防护，便于进行抽拉安装，以及能够实现锁定，防止在转运的时候发生掉落。在转运的时候发生掉落。在转运的时候发生掉落。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆运输盒


[0001]本技术涉及晶圆
，具体为一种晶圆运输盒。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]晶圆在生产结束后，需要进行存放和转运，在晶圆进行转运的时候，需要使用到运输装置，但是，现有的输运装置仅仅采用的是晶圆花篮，晶圆花篮在使用的时候是敞开的，容易造成晶圆受到损坏，并且在转运的时候，容易发生掉落晶圆，不便于进行使用等问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆运输盒，具有防护壳体进行安全防护，便于进行抽拉安装，以及能够有效的实现锁定，防止在转运的时候发生掉落等优点，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种晶圆运输盒，包括防护壳体，所述防护壳体的上部开设有锁定腔，所述锁定腔的内部中间转动安装有螺杆所述螺杆上螺纹连接有移动板，所述移动板的两端下部分别固定设有卡块，所述防护壳体的两侧边分别固定设有侧滑块，所述防护壳体的底部固定设有底滑块，所述防护壳体的上部两端开设有连接槽，所述防护壳体的前端下部两侧分别焊接有第一限位板；
[0007]所述防护壳体的内部设有晶圆花篮，所述晶圆花篮包括有晶圆花篮架，所述晶圆花篮架的两端分别固定安装有第一端板和第二端板，所述晶圆花篮架包括有两侧的竖直侧板，两侧所述竖直侧板的下部设有倾斜侧板，两侧所述倾斜侧板之间设有底板，所述竖直侧板和所述倾斜侧板的内侧固定安装有两个橡胶板，所述底板的上部中间固定安装有一个橡胶板，所述橡胶板上开设有若干晶圆放置槽，两侧所述竖直侧板的一端上部开设有卡合槽。
[0008]较佳的，所述第一端板的下部设有两个第二限位板，所述第二限位板与所述第一限位板滑动接触。
[0009]较佳的，两侧所述竖直侧板的外侧开设有第一滑动槽，所述底板的底部开设有第二滑动槽，所述侧滑块滑动处于所述第一滑动槽的内部，所述底滑块滑动处于所述第二滑动槽的内部。
[0010]较佳的，两侧所述竖直侧板上开设有第一减重孔，两侧所述倾斜侧板上开设有第二减重孔，所述第一端板和所述第二端板上开设有第三减重孔。
[0011]较佳的，所述锁定腔的端部固定设有封板，所述封板螺纹连接在所述螺杆上，所述螺杆的顶端焊接有转盘。
[0012]较佳的，所述防护壳体的一端焊接有尾板，所述防护壳体的上部设有第一把手，所
述第二端板上设有第二把手。
[0013]较佳的，两侧所述竖直侧板的端部活动处于所述连接槽的内部，所述卡块卡合连接在所述卡合槽的内部。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]本技术在使用的时候，将晶圆花篮滑动安装在防护壳体的内部，可以在使用的时候或者是转运的时候，不会使得晶圆受到任何损坏，保持晶圆的安全性，并且在晶圆花篮的内部设有橡胶板，可以对晶圆进行分离，防止晶圆接触，在转运的时候发生碰撞，并且晶圆花篮实现在防护壳体的内部实现侧向抽拉，通过侧滑块和底滑块实现对晶圆花篮进行限位和支撑，保持滑动的稳定性，并且便于晶圆放置在晶圆花篮内，以及在防护壳体上部设有螺杆连接的移动板和卡块，可以在晶圆花篮放置好的时候，通过螺杆调动移动板和卡块将晶圆花篮进行锁定，放置在转运的时候，发生掉落。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图；
[0017]图2为本技术的部分结构示意图；
[0018]图3为本技术的防护壳体内部示意图；
[0019]图4为本技术的晶圆花篮和锁件结构示意图；
[0020]图5为本技术的晶圆花篮的结构示意图。
[0021]图中：1、防护壳体；2、锁定腔；3、螺杆；4、转盘；5、移动板；6、封板；7、卡块；8、侧滑块；9、底滑块；10、连接槽；11、第一限位板；12、尾板；13、晶圆花篮；1301、晶圆花篮架；13011、竖直侧板；13012、倾斜侧板；13013、底板；1302、第一端板；1303、第二端板；1304、橡胶板；1305、晶圆放置槽；1306、卡合槽；1307、第二限位板；1308、第一滑动槽；1309、第二滑动槽；1310、第一减重孔；1311、第三减重孔；1312、第二减重孔；1313、第二把手；14、第一把手。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：
[0024]一种晶圆运输盒，包括防护壳体1，述防护壳体1的上部开设有锁定腔2，所述锁定腔2的内部中间转动安装有螺杆3所述螺杆3上螺纹连接有移动板5，所述移动板5的两端下部分别固定设有卡块7，所述防护壳体1的两侧边分别固定设有侧滑块8，所述防护壳体1的底部固定设有底滑块9，所述防护壳体1的上部两端开设有连接槽10，所述防护壳体1的前端下部两侧分别焊接有第一限位板11；
[0025]所述防护壳体1的内部设有晶圆花篮13，所述晶圆花篮13包括有晶圆花篮架1301，所述晶圆花篮架1301的两端分别固定安装有第一端板1302和第二端板1303，所述晶圆花篮架1301包括有两侧的竖直侧板13011，两侧所述竖直侧板13011的下部设有倾斜侧板13012，
两侧所述倾斜侧板13012之间设有底板13013，所述竖直侧板13011和所述倾斜侧板13012的内侧固定安装有两个橡胶板1304，所述底板13013的上部中间固定安装有一个橡胶板1304，所述橡胶板1304上开设有若干晶圆放置槽1305，两侧所述竖直侧板13011的一端上部开设有卡合槽1306。
[0026]具体的，在使用的时候，先将晶圆花篮13通过第二把手1313进行拉出防护壳体1，并且在第一端板1302的下部设有两个第二限位板1307，在防护壳体1的端部设有第一限位板11，第二限位板1307与第一限位板11滑动接触，可以防止晶圆花篮13拉动过度，造成脱落，以及在竖直侧板13011的外侧开设有第一滑动槽1308，底板13013的底部开设有第二滑动槽1309，且防护壳体1上的侧滑块8滑动处于第一滑动槽1308的内部，底滑块9滑动处于第二滑动槽1309的内部，可以对晶圆花篮13进行支撑和限位，保持移动的稳定性，并且两侧竖直侧板13011上开设有第一减重孔1310，两侧倾斜侧板13012上开设有第二减重孔1312，第一端板1302和第二端板1303上开设有第三减重孔1311，通过第一减重孔1310、第二减重孔1312和第三减重本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆运输盒，包括防护壳体(1)，其特征在于：所述防护壳体(1)的上部开设有锁定腔(2)，所述锁定腔(2)的内部中间转动安装有螺杆(3)所述螺杆(3)上螺纹连接有移动板(5)，所述移动板(5)的两端下部分别固定设有卡块(7)，所述防护壳体(1)的两侧边分别固定设有侧滑块(8)，所述防护壳体(1)的底部固定设有底滑块(9)，所述防护壳体(1)的上部两端开设有连接槽(10)，所述防护壳体(1)的前端下部两侧分别焊接有第一限位板(11)；所述防护壳体(1)的内部设有晶圆花篮(13)，所述晶圆花篮(13)包括有晶圆花篮架(1301)，所述晶圆花篮架(1301)的两端分别固定安装有第一端板(1302)和第二端板(1303)，所述晶圆花篮架(1301)包括有两侧的竖直侧板(13011)，两侧所述竖直侧板(13011)的下部设有倾斜侧板(13012)，两侧所述倾斜侧板(13012)之间设有底板(13013)，所述竖直侧板(13011)和所述倾斜侧板(13012)的内侧固定安装有两个橡胶板(1304)，所述底板(13013)的上部中间固定安装有一个橡胶板(1304)，所述橡胶板(1304)上开设有若干晶圆放置槽(1305)，两侧所述竖直侧板(13011)的一端上部开设有卡合槽(1306)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆运输盒，其特征在于：所述第一端板(1302)的下部设有两个第...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴继勇，
申请(专利权)人：江苏宿芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：