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本实用新型公开了一种晶圆运输盒，包括防护壳体，所述防护壳体的上部开设有锁定腔，所述锁定腔的内部中间转动安装有螺杆所述螺杆上螺纹连接有移动板，所述移动板的两端下部分别设有卡块；所述防护壳体的内部设有晶圆花篮，所述晶圆花篮包括有晶圆花篮架，所述...
该专利属于江苏宿芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宿芯半导体有限公司授权不得商用。

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