一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片技术领域，具体为一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮，包括第一支架和第二支架，所述第一支架和第二支架的顶端两侧之间设置有第一支撑杆，所述第一支架和第二支架的底端两侧之间设置有第二支撑杆。本实用新型专利技术通过设置第一支架和第二支架，调节时，扭动锁止旋钮，将锁止旋钮的锁止端从滑杆上对应位置的定位槽中滑出，然后根据硅片的大小控制两个侧夹板向外侧拨动或者向内侧拨动，当拨动至合适的夹持位置时，再次扭动锁止旋钮，将锁止旋钮的锁止端螺纹连接在滑杆上当前位置的定位槽中固定即可，从而使得本装置可以适配不同大小的硅片使用，无需硅片每次更新换代后，都同步更新清洗花篮的规格。都同步更新清洗花篮的规格。都同步更新清洗花篮的规格。

【技术实现步骤摘要】
一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮


[0001]本技术涉及硅片
，具体为一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮。

技术介绍

[0002]硅片是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅片，硅片加工后需要清理，而对应的清洗用载具为清洗花篮。
[0003]由于清洗花篮需要具备耐腐蚀和抗变形等功能，在制作时工艺复杂，制作成本高，而硅片的更新换代过快，导致清洗花篮需要同步更新，这样就会造成资源浪费，因此需要设计一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮，所述一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮包括
[0007]第一支架和第二支架，所述第一支架和第二支架的顶端两侧之间设置有第一支撑杆，所述第一支架和第二支架的底端两侧之间设置有第二支撑杆，两个所述第二支撑杆之间设置有托板；
[0008]滑杆，所述滑杆设置于第一支架和第二支架的内侧顶端，所述滑杆的两端均活动安装有固定条，所述第一支架和第二支架两侧的固定条之间均设置有侧夹板；
[0009]定位槽，所述定位槽开设于滑杆的顶端，所述固定条的顶端设置有锁止旋钮。
[0010]优选的，所述侧夹板的内侧表面开设有若干第一夹槽，所述托板的顶端上表面均开设有第二夹槽；
[0011]优选的，所述第一支架和第二支架的内部底端固定连接有导向杆，所述导向杆与固定条活动连接；
[0012]优选的，所述第二支架靠近第一支架的一侧四角均固定安装有杆座，所述杆座与第一支撑杆和第二支撑杆之间螺纹套接；
[0013]优选的，所述第一支撑杆和第二支撑杆远离杆座的一端均通过轴承活动连接第一支架；
[0014]优选的，所述第一夹槽和第二夹槽的内径相等。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0016]1.该一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮，通过设置第一支架和第二支架，调节时，扭动锁止旋钮，将锁止旋钮的锁止端从滑杆上对应位置的定位槽中滑出，然后根据硅片的大小控制两个侧夹板向外侧拨动或者向内侧拨动，当拨动至合适的夹持位置时，再次扭动锁止旋钮，将锁止旋钮的锁止端螺纹连接在滑杆上当前位置的定位槽中固定即可，从
而使得本装置可以适配不同大小的硅片使用，无需硅片每次更新换代后，都同步更新清洗花篮的规格。
[0017]2.该一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮，通过设置杆座，当需要将本装置拆卸时，转动第一支架和第二支架顶端和底端之间的第一支撑杆和第二支撑杆，第一支撑杆和第二支撑杆一端通过轴承沿着第一支架旋转，第一支撑杆和第二支撑杆的另一端会在杆座内部旋转滑出，直至第一支撑杆和第二支撑杆与杆座之间脱离，这样即可将第一支架和第二支架拆卸，从而达到便于快速拆装的目的。
附图说明
[0018]图1为本技术的整体正视结构示意图；
[0019]图2为本技术的第二支撑杆结构示意图；
[0020]图3为本技术图1中A处的放大示意图；
[0021]图4为本技术图1中B处的放大示意图。
[0022]图中：1、第一支架；2、第二支架；3、第一支撑杆；4、第二支撑杆；5、托板；6、滑杆；7、固定条；8、侧夹板；9、定位槽；10、锁止旋钮；11、第一夹槽；12、第二夹槽；13、导向杆；14、杆座。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0025]在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
[0026]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0027]请参阅图1
‑
图4所示，本技术提供的一种技术方案：
[0028]一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮，一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮包括
[0029]第一支架1和第二支架2，第一支架1和第二支架2的顶端两侧之间设置有第一支撑杆3，第一支架1和第二支架2的底端两侧之间设置有第二支撑杆4，两个第二支撑杆4之间设
置有托板5；
[0030]滑杆6，滑杆6设置于第一支架1和第二支架2的内侧顶端，滑杆6的两端均活动安装有固定条7，第一支架1和第二支架2两侧的固定条7之间均设置有侧夹板8；
[0031]定位槽9，定位槽9开设于滑杆6的顶端，固定条7的顶端设置有锁止旋钮10；
[0032]通过上述方案，通过设置第一支架1和第二支架2，调节时，扭动锁止旋钮10，将锁止旋钮10的锁止端从滑杆6上对应位置的定位槽9中滑出，然后根据硅片的大小控制两个侧夹板8向外侧拨动或者向内侧拨动，当拨动至合适的夹持位置时，再次扭动锁止旋钮10，将锁止旋钮10的锁止端螺纹连接在滑杆6上当前位置的定位槽9中固定即可。
[0033]本实施例中，优选的，侧夹板8的内侧表面开设有若干第一夹槽11，托板5的顶端上表面均开设有第二夹槽12；
[0034]通过上述方案，通过设置第一夹槽11和第二夹槽12，使用第一夹槽11和第二夹槽12可以方便将硅片等距离排列，且每个硅片之间留有清洗用空间；
[0035]本实施例中，优选的，第一支架1和第二支架2的内部底端固定连接有导向杆13，导向杆13与固定条7活动连接；
[0036]通过上述方案，通过设置导向杆13，第一支架1和第二支架2的内侧底端设置有导向杆13，这样在拨动侧夹板8时，侧夹板8底端沿着导向杆13滑动，这样调节侧夹板8时，侧夹板8的竖向角度不变，且始终与托板5垂直；
[0037]本实施例中，优选的，第二支架2靠近第一支架1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮，其特征在于：所述一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮包括第一支架(1)和第二支架(2)，所述第一支架(1)和第二支架(2)的顶端两侧之间设置有第一支撑杆(3)，所述第一支架(1)和第二支架(2)的底端两侧之间设置有第二支撑杆(4)，两个所述第二支撑杆(4)之间设置有托板(5)；滑杆(6)，所述滑杆(6)设置于第一支架(1)和第二支架(2)的内侧顶端，所述滑杆(6)的两端均活动安装有固定条(7)，所述第一支架(1)和第二支架(2)两侧的固定条(7)之间均设置有侧夹板(8)；定位槽(9)，所述定位槽(9)开设于滑杆(6)的顶端，所述固定条(7)的顶端设置有锁止旋钮(10)。2.根据权利要求1所述的一种可调尺寸的可拆卸式硅片清洗花篮，其特征在于：所述侧夹板(8)的内侧表面开设有若干第一夹槽(11)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟岭，钱程，
申请(专利权)人：无锡市世通模塑有限公司，
类型：新型
国别省市：