【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于在大气压下通过较低的放电开始和保持电压来产生高密度低温等离子体的装置。
技术介绍
通常，等离子体定义为部分离子化的气体，它由几乎等量的正负自由电荷组成，因此它为电中性。根据进行离子化时的温度，等离子体分成高温等离子体和低温等离子体子组，等离子体在化学上和物理上有很高的反应性。低温等离子体用于合成各种材料，例如金属、半导体、聚合物、尼龙、塑料、纸张、纤维和臭氧，或者改变材料的表面特性，同时提高各种物理和化学特性，例如连接强度、染色特性、可印刷性等。因此，低温等离子体在半导体、金属、陶瓷薄膜的合成以及清洁领域中有多种用途。通常，低温等离子体可以在低压真空容器中产生。为了保持该真空，需要很昂贵的装置。此外，当要处理的材料尺寸较大时，将难以向它们施加等离子体。等离子体处理的另一问题是难以自动进行等离子体处理。而且，等离子体难以处理具有很高蒸气压力或进行脱气的材料，例如橡胶、生物材料等。为了避免这些问题，已经发展了各种技术，例如电晕放电、电介质屏蔽放电和辉光放电，因此，低温等离子体可以在大气压下产生。目前，除了前述领域，这些技术还广泛用于多个领域，...
【技术保护点】
一种用于在大气压下产生低温等离子体的装置，包括：彼此相对的一对电极，该对电极间开一定距离，它们中的一个与电源相连，另一个接地；一对电介质，该对电介质的厚度为２５μｍ－１０ｍｍ，布置在电极的相对表面上，以便彼此相对，在它们中的一个内有至少一个放电间隙；以及导体电极，该导体电极有至少一个尖端，该至少一个尖端布置在放电间隙内，其中，通过采用频带为５０Ｈｚ－１０ＧＨｚ的脉冲直流电或交流电，同时在电极之间供给反应气体，从而由电源在电极之间施加１－１００ＫＶ／ｃｍ的电场强度。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：南基锡，李相老，李九铉，罗钟周，金钟国，
申请(专利权)人：SE等离子体公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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