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用于在大气压下产生低温等离子体的装置制造方法及图纸
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下载用于在大气压下产生低温等离子体的装置的技术资料
文档序号:3718324
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本发明公开了一种用于在大气压下产生低温等离子体的装置,该装置包括:彼此相对的一对电极,该对电极间开一定距离,它们中的一个与电源相连,另一个接地;一对厚度为25um-10mm的电介质,该对电介质布置在电极的相对表面上,从而彼此相对,它们中的一...
该专利属于SE等离子体公司所有,仅供学习研究参考,未经过SE等离子体公司授权不得商用。
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