一种金属连线电性测试结构制造技术

本申请提供一种金属连线电性测试结构，包括：测试主体，包括：至少一个第一金属连线，沿第一方向依次排列，所述第一金属连线的两端表面形成有第一通孔；至少一个第二金属连线，沿第二方向依次排列，所述第二金属连线的两端表面形成有第二通孔，所述至少一个第二金属连线与所述至少一个第一金属连线对应设置；第一焊垫，位于所述测试主体的一侧，通过第一金属连接结构与所述第一通孔或第二通孔电连接；第二焊垫，位于所述测试主体的另一侧，通过第二金属连接结构与所述第一通孔或第二通孔电连接。本申请通过巧妙的金属连线分布，利用最有时效性的电性测试，可以有针对性的测试相同结构和不同结构的金属连线之间的漏电情况。不同结构的金属连线之间的漏电情况。不同结构的金属连线之间的漏电情况。

【技术实现步骤摘要】
一种金属连线电性测试结构


[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种金属连线电性测试结构。

技术介绍

[0002]FINFET技术中，连接源漏的金属连线和连接栅极的金属连线为连接前后段的关键制程，制程特点为开口尺寸小，深度深。具体地，该制程的线宽和间隙为前段尺寸中最小值，且纵深比大于50，极其容易出现同结构之间的连接短路缺陷。同时，两种金属连线之间的间隙也是极限最小值，两者之间非常容易出现短路缺陷。
[0003]由于纵深比太高，开槽侧壁形貌复杂，导致制程监控能力比较差，无法有效监控到制程稳定性。目前对连接源漏的金属连线制程有了更高的要求，引入扩大开口的工艺，增加了工艺复杂程度，同时使开槽侧壁形貌更为复杂，制程监控更为艰难。目前的量测手段均无法准确测量，也不能监控金属连线的侧壁形貌。
[0004]因此，有必要提供更有效、更可靠的技术方案。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种金属连线电性测试结构，可以有针对性的测试相同结构和不同结构的金属连线之间的漏电情况。
[0006]本申请提供一种金属连线电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属连线电性测试结构，其特征在于，包括：测试主体，包括：至少一个第一金属连线，沿第一方向依次排列，所述第一金属连线的两端表面形成有第一通孔；至少一个第二金属连线，沿第二方向依次排列，所述第二金属连线的两端表面形成有第二通孔，所述至少一个第二金属连线与所述至少一个第一金属连线对应设置；第一焊垫，位于所述测试主体的一侧，通过第一金属连接结构与所述第一通孔或第二通孔电连接；第二焊垫，位于所述测试主体的另一侧，通过第二金属连接结构与所述第一通孔或第二通孔电连接。2.如权利要求1所述的电性测试结构，其特征在于，测试相邻的所述第一金属连线的漏电情况时，所述第一焊垫通过所述第一通孔与第一金属连线电连接，所述第二焊垫通过所述第一通孔与第一金属连线电连接，与所述第一焊垫电连接的第一金属连线和与所述第二焊垫电连接的第一金属连线交替间隔分布。3.如权利要求1所述的电性测试结构，其特征在于，测试相邻的所述第二金属连线的漏电情况时，所述第一焊垫通过所述第二通孔与第二金属连线电连接，所述第二焊垫通过所述第二通孔与第二金属连线电连接，与所述第一焊垫电连接的第二金属连线和与所述第二焊垫电连接的第二金属连线交替间隔分布。4.如权利要求1所述的电性测试结构，其特征在于，测试所述第一金属连线和所述第二金属连线之间的漏电情况时，所述第一焊垫通过所述第一通孔与第一金属连线电连接，所述第二焊垫通过所述第二通孔与第二金属连线电连接。5.如权利要求1所述的电性测试结构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨勇，
申请(专利权)人：中芯南方集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：