一种声表面波谐振器及其制备方法、声表面波滤波器技术

本发明专利技术公开了一种声表面波谐振器及其制备方法、声表面波滤波器，声表面波谐振器包括：叉指换能器，叉指换能器包括存在第一长指电极和第一假指电极的第一汇流条和存在第一长指电极分部和第二长指电极分部的第二汇流条；第一长指电极分部至少包括第一子长指电极分部，第一子长指电极分部设置有多个第一调整结构，第一调整结构的延伸宽度大于第二长指电极分部的延伸宽度；第二长指电极包括第三长指电极分部和第四长指电极分部，第三长指电极分部至少包括第二子长指电极分部，第二子长指电极分部设置有多个第二调整结构，第二调整结构的延伸宽度大于第四长指电极分部的延伸宽度。以实现抑制横向模，保证声表面波谐振器的使用性能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
一种声表面波谐振器及其制备方法、声表面波滤波器


[0001]本专利技术涉及声表面波
，尤其涉及一种声表面波谐振器及其制备方法、声表面波滤波器。

技术介绍

[0002]近年来，随着移动通信技术的高速发展，声表面波滤波器(SAWF)凭借其稳定性好、体积小、Q值高、带宽宽等特点脱颖而出，逐渐成为通信行业滤波器主流，特别是随着第五代移动通信技术(5th
‑
Generation，5G)以及全新的全球导航卫星定位系统(GNSS)的到来，滤波器行业面临重大挑战和机遇。
[0003]声表面波在实际传播过程中其波矢与纵向成一定夹角，因为波矢不仅有纵向分量还存在横向分量。当声表面波在横向传播满足一定谐振条件时，横向模式就会被激发，它会引入谐振器谐振峰旁边的杂散谐振，这会降低谐振器的Q值，也会引入带内波纹，影响滤波器的插损及带外抑制。因此抑制横向模对于声波面滤波器的性能提升有着重要的意义。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了一种声表面波谐振器及其制备方法、声表面波滤波器，以抑制横向模，保证声表面波谐振器的使用效果。
[0005]第一方面，本专利技术提供了一种声表面波谐振器，包括：
[0006]叉指换能器，叉指换能器包括相对平行设置的第一汇流条和第二汇流条；
[0007]所述第一汇流条包括多个交替排布的第一长指电极和第一假指电极，所述第一长指电极的第一端和所述第一假指电极的第一端均与所述第一汇流条连接；
[0008]所述第二汇流条包括多个交替排布的第二长指电极和第二假指电极，所述第二长指电极的第一端和所述第二假指电极的第一端均与所述第二汇流条连接；
[0009]沿第一方向，所述第一长指电极和所述第二假指电极相对设置，所述第一长指电极的第二端和所述第二假指电极的第二端之间存在第一间隔；所述第一假指电极和所述第二长指电极相对设置，所述第一假指电极的第二端和所述第二长指电极的第二端之间存在第二间隔；
[0010]所述第一长指电极包括连接设置的第一长指电极分部和第二长指电极分部，所述第一长指电极分部至少包括第一子长指电极分部，所述第一子长指电极分部位于靠近所述第一间隔一侧，所述第一子长指电极分部设置有至少两个间隔排布的第一调整结构，沿第二方向，所述第一调整结构的延伸宽度大于第二长指电极分部的延伸宽度；
[0011]所述第二长指电极包括连接设置的第三长指电极分部和第四长指电极分部，所述第三长指电极分部至少包括第二子长指电极分部，所述第二子长指电极分部位于靠近所述第二间隔一侧，所述第二子长指电极分部设置有至少两个间隔排布的第二调整结构，沿所述第二方向，所述第二调整结构的延伸宽度大于所述第四长指电极分部的延伸宽度；
[0012]所述第一方向垂直于所述第一汇流条的延伸方向，所述第二方向与所述第一方向
相交。
[0013]可选的，沿所述第一方向，所述第一调整结构沿第二方向上的延伸宽度逐渐减小，所述第二调整结构沿第二方向上的延伸宽度逐渐减小；或，沿所述第一方向，所述第一调整结构沿第二方向上的延伸宽度逐渐增加，所述第二调整结构沿第二方向上的延伸宽度逐渐增加。
[0014]可选的，沿所述第二方向，所述第一调整结构的延伸宽度为所述第二长指电极分部的延伸宽度的1.05～1.3倍；所述第二调整结构的延伸宽度为所述第四长指电极分部的延伸宽度的1.05～1.3倍。
[0015]可选的，沿所述第二方向上，所述第一假指电极的延伸宽度、所述第二假指电极的延伸宽度、所述第二长指电极分部的延伸宽度和所述第四长指电极分部的延伸宽度相同。
[0016]可选的，所述第一长指电极分部还包括第三子长指电极分部，沿所述第一方向，所述第三子长指电极分部位于所述第二长指电极分部远离所述第一子长指电极分部一侧，所述第三子长指电极分部设置有至少两个间隔排布的第三调整结构，沿所述第二方向，所述第三调整结构的延伸宽度大于第二长指电极分部的延伸宽度；
[0017]所述第三长指电极分部还包括第四子长指电极分部，沿所述第一方向，所述第四子长指电极分部位于所述第四长指电极分部远离所述第二子长指电极分部一侧，所述第四子长指电极分部设置有至少两个间隔排布的第四调整结构，沿所述第二方向，所述第四调整结构的延伸宽度大于第四长指电极分部的延伸宽度。
[0018]可选的，沿所述第一方向，所述第三调整结构沿第二方向上的延伸宽度逐渐减小，所述第四调整结构沿第二方向上的延伸宽度逐渐减小；或，沿所述第一方向，所述第三调整结构沿第二方向上的延伸宽度逐渐增加，所述第四调整结构沿第二方向上的延伸宽度逐渐增加。
[0019]可选的，所述声表面波谐振器还包括：反射栅，所述反射栅至少包括第一反射栅和第二反射栅，沿所述第一方向，所述第一反射栅和所述第二反射栅分别位于所述叉指换能器的两侧。
[0020]第二方面，本专利技术提供了一种声表面波谐振器的制备方法，制备第一方面中任一项所述的声表面波谐振器，所述制备方法包括：
[0021]提供衬底；
[0022]在所述衬底一侧形成压电层；
[0023]在所述压电层远离衬底一侧形成叉指换能器，以形成声表面波谐振器。
[0024]可选的，在所述压电层远离衬底一侧形成叉指换能器，以形成声表面波谐振器包括：
[0025]在所述压电层远离所述衬底一侧制备第一金属层；
[0026]对所述第一金属层进行图案化处理，形成第一汇流条、第二汇流条、第二长指电极分部和第四长指电极分部；
[0027]在所述第一金属层远离所述衬底一侧制备第二金属层；
[0028]对所述第二金属层进行图案化处理，形成第一假指电极、第二假指电极、第一长指电极分部、第一调整结构、第三长指电极分部和第二调整结构，形成叉指换能器，以形成声表面波谐振器。
[0029]第三方面，本专利技术提供了一种声表面波滤波器，包括第一方面中任一项所述的声表面波谐振器。
[0030]本专利技术实施例的技术方案，通过提供一种声表面波谐振器及其制备方法、声表面波滤波器，声表面波谐振器包括：叉指换能器，叉指换能器包括相对平行设置的第一汇流条和第二汇流条；第一汇流条包括多个交替排布的多个第一长指电极和第一假指电极，第一长指电极的第一端和第一假指电极的第一端均与第一汇流条连接；第二汇流条包括多个交替排布的多个第二长指电极和第二假指电极，第二长指电极的第一端和第二假指电极的第一端均与第二汇流条连接；沿第一方向，第一长指电极和第二假指电极相对设置，第一长指电极的第二端和第二假指电极的第二端之间存在第一间隔；第一假指电极和第二长指电极相对设置，第一假指电极的第二端和第二长指电极的第二端之间存在第二间隔；第一长指电极包括连接设置的第一长指电极分部和第二长指电极分部，第一长指电极分部至少包括第一子长指电极分部，第一子长指电极分部位于靠近第一间隔一侧，第一子长指电极分部设置有至少两个间隔排布的第一调整结构，沿第二方向，第一调整结构的延伸宽度大于第二长指电极分部的延伸宽度；第二长指电极包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：叉指换能器，叉指换能器包括相对平行设置的第一汇流条和第二汇流条；所述第一汇流条包括多个交替排布的第一长指电极和第一假指电极，所述第一长指电极的第一端和所述第一假指电极的第一端均与所述第一汇流条连接；所述第二汇流条包括多个交替排布的第二长指电极和第二假指电极，所述第二长指电极的第一端和所述第二假指电极的第一端均与所述第二汇流条连接；沿第一方向，所述第一长指电极和所述第二假指电极相对设置，所述第一长指电极的第二端和所述第二假指电极的第二端之间存在第一间隔；所述第一假指电极和所述第二长指电极相对设置，所述第一假指电极的第二端和所述第二长指电极的第二端之间存在第二间隔；所述第一长指电极包括连接设置的第一长指电极分部和第二长指电极分部，所述第一长指电极分部至少包括第一子长指电极分部，所述第一子长指电极分部位于靠近所述第一间隔一侧，所述第一子长指电极分部设置有至少两个间隔排布的第一调整结构，沿第二方向，所述第一调整结构的延伸宽度大于第二长指电极分部的延伸宽度；所述第二长指电极包括连接设置的第三长指电极分部和第四长指电极分部，所述第三长指电极分部至少包括第二子长指电极分部，所述第二子长指电极分部位于靠近所述第二间隔一侧，所述第二子长指电极分部设置有至少两个间隔排布的第二调整结构，沿所述第二方向，所述第二调整结构的延伸宽度大于所述第四长指电极分部的延伸宽度；所述第一方向垂直于所述第一汇流条的延伸方向，所述第二方向与所述第一方向相交。2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，沿所述第一方向，所述第一调整结构沿所述第二方向上的延伸宽度逐渐减小，所述第二调整结构沿所述第二方向上的延伸宽度逐渐减小；或，沿所述第一方向，所述第一调整结构沿第二方向上的延伸宽度逐渐增加，所述第二调整结构沿第二方向上的延伸宽度逐渐增加。3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，沿所述第二方向，所述第一调整结构的延伸宽度为所述第二长指电极分部的延伸宽度的1.05～1.3倍；所述第二调整结构的延伸宽度为所述第四长指电极分部的延伸宽度的1.05～1.3倍。4.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，沿所述第二方向上，所述第一假指电极的延伸宽度、所述第二假指电极的延伸宽度、所述第二长指电极分部的延伸宽度和所述第四长指电极分...

【专利技术属性】
技术研发人员：华嘉源，庄肇堂，马阳阳，刘晓军，石林豪，
申请(专利权)人：天通瑞宏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：