一种热等静压靶材装粉工装制造技术

技术编号:37048335 阅读:15 留言:0更新日期:2023-03-29 19:26
本实用新型专利技术涉及热等静压靶材生产领域,具体涉及一种热等静压靶材装粉工装,包括底座和控制器,所述控制器固定设置于底座顶部一侧,还包括放料机构和装粉机构,所述放料机构包括升降组件和旋转组件,所述升降组件固定设置于底座上,所述旋转组件固定设置于升降组件的顶部一侧,所述装粉机构包括包套管和摆动组件,所述摆动组件固定设置于底座上并位于控制器旁侧,所述包套管固定设置于摆动组件上,且包套管与旋转组件插接设置,本实用新型专利技术通过进料管与靶材粉末同时上升,且通过对包套管进行往复式摇摆,即可实现靶材装粉,方便快捷,安全高效,极大提高了靶材装粉效率。极大提高了靶材装粉效率。极大提高了靶材装粉效率。

【技术实现步骤摘要】
一种热等静压靶材装粉工装


[0001]本技术涉及热等静压靶材生产领域,具体涉及一种热等静压靶材装粉工装。

技术介绍

[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源,简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。
[0003]热等静压工艺是将制品放置到密闭的容器中,向制品施加各向同等的压力,同时施以高温,在高温高压的作用下,制品得以烧结和致密化。
[0004]靶材一般是通过热等静压方式进行成型生产,先将靶材的原材料通过漏斗导入至包套管中进行装粉,然后再将包套管内部脱气形成真空,最后通过热等静压高温真空烧结成型,目前包套管在装粉时,进料管在装完抽离后,容易带出内部粉造成外露,大都进料管将粉输送至包套管内时,粉容易堆积,粉与粉之间空隙较大,不能达到紧密均匀贴合,因此有必要设计一种热等静压靶材装粉工装。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种热等静压靶材装粉工装。
[0006]为达此目的,本技术采用以下技术方案:
[0007]提供一种热等静压靶材装粉工装,包括底座和控制器,所述控制器固定设置于底座顶部一侧,还包括放料机构和装粉机构,所述放料机构包括升降组件和旋转组件,所述升降组件固定设置于底座上,所述旋转组件固定设置于升降组件的顶部一侧,所述装粉机构包括包套管和摆动组件,所述摆动组件固定设置于底座上并位于控制器旁侧,所述包套管固定设置于摆动组件上,且包套管与旋转组件插接设置。
[0008]优选的,所述升降组件包括载座、第一电机、螺杆、滑座、限位杆和两个支撑柱,所述载座固定设置于底座上并位于控制器旁侧,两个所述支撑柱对称并固定设置于载座顶部一侧,两个所述支撑柱的相对两侧均设有限位滑槽,且两个支撑柱顶部固定设有顶杆,所述限位杆呈水平状态固定设置于两个限位滑槽底部。
[0009]优选的,所述第一电机呈水平状态固定设置于载座上,且第一电机位于两个支撑柱之间,所述第一电机的输出轴通过联轴器与螺杆的一端固定连接,所述螺杆的另一端穿过限位杆并与顶杆转动连接,所述滑座的一端两侧限位滑动设置于两个限位滑槽内,且滑座与螺杆螺纹连接。
[0010]优选的,所述旋转组件包括安装座、第二电机、储料筒、漏斗和进料管,所述安装座固定设置于滑座的顶部,所述第二电机呈倒立状固定设置于安装座上,且第二电机的输出轴穿过滑座与储料筒固定连接,所述漏斗固定连通设置于储料筒的底部,所述储料筒的一侧设有进气孔,所述进料管呈弯曲状设置,且进料管的一端固定插设于漏斗底部。
[0011]优选的,所述摆动组件包括台座、机座、第三电机、轴座、抵柱、第一偏接板、第二偏接板、两个转盘和四个抵杆,两个所述转盘呈竖直状态对称设置并与底座限位转动设置,四个所述抵杆两两对称并固定设置于两个转盘之间。
[0012]优选的,所述机座固定设置于底座上并位于转盘旁侧,所述第三电机呈水平状态固定设置于机座上,且第三电机的输出轴与第一偏接板一端固定连接,所述第一偏接板的另一端与抵柱一端固定连接,所述抵柱的另一端穿过四个抵杆之间并与第二偏接板一端固定连接,所述第二偏接板的另一端与轴座限位转动连接,所述台座固定设置于底座上,且台座与轴座固定连接。
[0013]优选的,所述包套管固定设置于位于抵杆顶部的转盘上,且包管套顶部限位滑动设有密封盖,所述密封盖中心位置一侧设有通孔,所述通孔内固定设有刮粉环,所述进料管的另一端穿过通孔延伸至包套管内部底端,所述密封盖的内部固定设有载块,所述载块的一侧固定设有复位弹簧,所述复位弹簧的一端焊接有抵块,所述抵块与进料管抵触设置,所述载块的两侧对称设有两个限位板,所述复位弹簧位于两个限位板之间。
[0014]本技术的有益效果:
[0015]1、首先打开储料筒一侧的进气孔后,储料筒内的粉末顺着漏斗进入至进料管,通过进料管进入至包套管的底部,第一电机启动后,第一电机的输出轴带动螺杆转动,螺杆带动滑座向上移动,随着包套管内部的粉末渐渐上升,滑座也带动进料管上升,进料管与粉末量同时上升,使得在装粉时可均匀的释放,避免粉末在包套管内飞扬落点不一。
[0016]2、当进料管在下料的同时,第二电机启动,第二电机的输出轴带动储料筒转动,储料筒和漏斗带动进料管转动,从而进料管带动密封盖在包套管限位滑动,进而进料管内的粉末可均匀的呈环形释放至包套管内,使得粉末在包套管内均匀释放,避免由中心一点堆积,不利于粉末件的紧密贴合。
[0017]3、当包套管装粉完成后,进料管就会从密封盖的一侧的通孔抽出,在抽出时,通孔内的刮粉环将残留至进料管外壁的粉末颗粒刮下,避免将粉末带出储料筒外,
[0018]4、当进料管抽离时,密封盖底部的复位弹簧立即复位将通孔封住,避免粉末外扬和空气进入。
[0019]5、第三电机启动后,第三电机的输出轴带动第一偏接板转动,第一偏接板配合轴座和第二偏接板的转动配合带动抵柱两端呈锥形摆动,抵柱抵触四个抵杆并带动两个转盘往复摆动,从而转盘带动其顶部的包套管往复摆动,减少包套管内壁上的粉末,同时使得包套管内的粉末之间减小空隙更加紧密。
[0020]本技术通过进料管与靶材粉末同时上升,且通过对包套管进行往复式摇摆,即可实现靶材装粉,方便快捷,安全高效,极大提高了靶材装粉效率。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案,下面对本专利技术实施例中的附图作简单地介绍。
[0022]图1为本技术的立体结构示意图;
[0023]图2为本技术的放料机构立体结构示意图;
[0024]图3为本技术的升降组件立体结构示意图;
[0025]图4为本技术的旋转组件拆分示意图;
[0026]图5为本技术的装粉机构立体结构示意图;
[0027]图6为本技术的摆动组件立体结构示意图;
[0028]图7为本技术的的包套管拆分示意图;
[0029]图8为图7中A处的放大示意图;
[0030]图中:
[0031]底座1;
[0032]控制器2;
[0033]放料机构3;
[0034]升降组件30、载座300、第一电机301、螺杆302、滑座303、限位杆304、支撑柱305、限位滑槽3050、顶杆3051;
[0035]旋转组件31、安装座310、第二电机311、储料筒312、进气孔3120、漏斗313、进料管314;
[0036]装粉机构4;
[0037]包套管40、密封盖400、通孔401、刮粉环402、载块403、复位弹簧404、抵块405、限位板406;
[0038]摆动组件41、台座410、机座411、第三电机412、轴座413、抵柱414、第一偏接板415、第二偏接板416、转盘41本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热等静压靶材装粉工装,包括底座(1)和控制器(2),所述控制器(2)固定设置于底座(1)顶部一侧,其特征在于,还包括放料机构(3)和装粉机构(4),所述放料机构(3)包括升降组件(30)和旋转组件(31),所述升降组件(30)固定设置于底座(1)上,所述旋转组件(31)固定设置于升降组件(30)的顶部一侧,所述装粉机构(4)包括包套管(40)和摆动组件(41),所述摆动组件(41)固定设置于底座(1)上并位于控制器(2)旁侧,所述包套管(40)固定设置于摆动组件(41)上,且包套管(40)与旋转组件(31)插接设置。2.根据权利要求1所述的一种热等静压靶材装粉工装,其特征在于,所述升降组件(30)包括载座(300)、第一电机(301)、螺杆(302)、滑座(303)、限位杆(304)和两个支撑柱(305),所述载座(300)固定设置于底座(1)上并位于控制器(2)旁侧,两个所述支撑柱(305)对称并固定设置于载座(300)顶部一侧,两个所述支撑柱(305)的相对两侧均设有限位滑槽(3050),且两个支撑柱(305)顶部固定设有顶杆(3051),所述限位杆(304)呈水平状态固定设置于两个限位滑槽(3050)底部。3.根据权利要求2所述的一种热等静压靶材装粉工装,其特征在于,所述第一电机(301)呈水平状态固定设置于载座(300)上,且第一电机(301)位于两个支撑柱(305)之间,所述第一电机(301)的输出轴通过联轴器与螺杆(302)的一端固定连接,所述螺杆(302)的另一端穿过限位杆(304)并与顶杆(3051)转动连接,所述滑座(303)的一端两侧限位滑动设置于两个限位滑槽(3050)内,且滑座(303)与螺杆(302)螺纹连接。4.根据权利要求3所述的一种热等静压靶材装粉工装,其特征在于,所述旋转组件(31)包括安装座(310)、第二电机(311)、储料筒(312)、漏斗(313)和进料管(314),所述安装座(310)固定设置于滑座(303)的顶部,所述第二电机(311)呈倒立状固定设置于安装座(310)上,且第二电机(311)的输出轴穿过滑座(303)与储料筒(312)...

【专利技术属性】
技术研发人员:张岳香
申请(专利权)人:浙江恒鼎材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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