缺陷检测装置及贴膜装置制造方法及图纸

本申请涉及一种缺陷检测装置及贴膜装置，缺陷检测装置用于检测贴膜晶圆的背部是否存在目标缺陷，装置包括位置检测模块、摄像模块及控制器，位置检测模块用于在贴膜晶圆被传送至预设检测位置后生成目标位置信息；摄像模块用于根据目标位置信息拍摄贴膜晶圆的背部并生成图像信号；控制器与摄像模块连接，用于获取图像信号的图像特征参数，比较图像特征参数与对应的合格参数，以及根据比较结果生成用于指示是否存在目标缺陷的目标检测信息；图像特征参数包括像素分布、亮度及颜色中至少一种。该缺陷检测装置对贴膜晶圆进行自动化的缺陷检测，避免了人为检测造成的晶圆污染，并且提高检测效率及检测精度。高检测效率及检测精度。高检测效率及检测精度。

【技术实现步骤摘要】
缺陷检测装置及贴膜装置


[0001]本申请涉及半导体制造领域，特别是涉及一种缺陷检测装置及贴膜装置。

技术介绍

[0002]晶圆在生产过程中会经历晶圆研磨、切割、测试等步骤，由于晶圆厚度较薄，为了固定晶圆以及方便后续切割晶圆，需要给晶圆的背面贴膜，但贴膜后的晶圆背面经常会出现一些缺陷，如果不及时发现并处理，将会对后续的晶圆研磨、测试、切割等造成裂片、测试不准、芯片脱落等问题。
[0003]传统工艺采用人工检查的方法检测贴膜晶圆是否出现缺陷，此方法不仅检测效率及检测精度低下，还会导致晶圆污染、擦伤或者破损。

技术实现思路

[0004]基于此，本申请提供一种缺陷检测装置及贴膜装置，至少能够解决贴膜晶圆检测效率及检测精度低下等问题。
[0005]为实现上述目的及其他目的，根据本申请的各种实施例，本申请的一方面提供一种缺陷检测装置，用于检测贴膜晶圆的背部是否存在目标缺陷，装置包括位置检测模块、摄像模块及控制器，位置检测模块用于在贴膜晶圆被传送至预设检测位置后生成目标位置信息；摄像模块用于根据目标位置信息拍摄贴膜晶圆的背部并生成图像信号；控制器与摄像模块连接，用于获取图像信号的图像特征参数，比较图像特征参数与对应的合格参数，以及根据比较结果生成用于指示是否存在目标缺陷的目标检测信息；图像特征参数包括像素分布、亮度及颜色中至少一种。
[0006]上述实施例中的缺陷检测装置，通过位置检测模块在贴膜晶圆被传送至预设检测位置后生成目标位置信息，摄像模块根据目标位置信息拍摄贴膜晶圆的背部并生成图像信号，与摄像模块连接的控制器再根据获取图像信号的图像特征参数，比较图像特征参数与对应的合格参数，来判断贴膜晶圆是否出现目标缺陷。传统的贴膜晶圆的缺陷检测采用人工手动检测，既会导致贴膜晶圆污染、擦伤或者破损，又不能保证检测效率及检测精度，本实施例的缺陷检测装置对贴膜晶圆进行自动化的缺陷检测，没有人工的参与，避免了人为检测造成的晶圆污染、擦伤或者破损，并且提高检测效率及检测精度，提高后续工程晶圆的生产效率和最终产品的质量。
[0007]在一些实施例中，目标缺陷包括气环、气泡及异物中至少一种。
[0008]在一些实施例中，位置检测模块包括位置检测传感器，位置检测传感器与控制器连接，用于在贴膜晶圆被传送至预设检测位置后生成目标位置信息；控制器还被配置为：获取目标位置信息；根据目标位置信息生成用于触发摄像模块拍摄图像信号的拍摄控制信号，使得缺陷监测装置在贴膜晶圆送至预设监测位置后，自动进行图像拍摄，形成自动化的缺陷检测流程。
[0009]在一些实施例中，摄像模块包括电荷耦合器件（Charge Coupled Device， CCD）相
机及/或互补金属氧化物半导体（Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS）相机。相机与控制器相连，并将采集的图像传输至控制器，既可以保存长期检测数据，又能分析检测潜在问题，优化检测能力。
[0010]在一些实施例中，缺陷检测装置还包括预警装置，预警装置与控制器连接；其中，控制器还被配置为：当图像特征参数中的至少一种与对应的合格参数的差值位于预警范围时，生成预警控制信号，以控制预警装置执行对应的预警动作，使得缺陷监测装置在检测出有缺陷的贴膜晶圆后，自动进行预警，形成自动化的缺陷检测流程。
[0011]在一些实施例中，预警装置包括锁止模块及警示模块，锁止模块用于根据预警控制信号锁止贴膜晶圆移动；及/或警示模块用于根据预警控制信号生成警示信息，便于工作人员及时处理有缺陷的贴膜晶圆。
[0012]申请的另一方面提供一种贴膜装置，包括：贴膜机及上述缺陷检测装置，贴膜机用于给贴膜对象贴膜；上述缺陷检测装置，用于检测贴膜后的贴膜对象是否存在目标缺陷。
[0013]上述实施例中的贴膜装置，先通过贴膜机给贴膜对象贴膜，再通过缺陷检测装置的位置检测模块在贴膜对象被传送至预设检测位置后生成目标位置信息，摄像模块根据目标位置信息拍摄贴膜对象的背部并生成图像信号，与摄像模块连接的控制器再根据获取图像信号的图像特征参数，比较图像特征参数与对应的合格参数，来判断贴膜对象是否出现目标缺陷。传统的贴膜装置采用人工手动检测贴膜对象的缺陷，既会导致贴膜对象污染、擦伤或者破损，又不能保证检测效率及检测精度，本实施例的贴膜装置对贴膜对象进行自动化的缺陷检测，没有人工的参与，避免了人为检测造成的贴膜对象污染、擦伤或者破损，并且提高检测效率及检测精度，提高后续工程贴膜对象的生产效率和最终产品的质量。
[0014]在一些实施例中，贴膜装置还包括移动模块，移动模块用于带动贴膜后的贴膜对象移动，使得贴膜装置可以自动将贴膜对象传送至预设检测位置，形成自动化的缺陷检测流程。
[0015]在一些实施例中，移动模块包括抓取装置及机械臂，抓取装置用于抓取贴膜后的贴膜对象；机械臂其一端与抓取装置连接，用于带动抓取装置移动。使用机械臂可以避免因为人为操作造成的贴膜对象污染、擦伤或者破损，并且机械臂有利于提高贴膜对象的传送的自动化程度，从而可以提高劳动生产率，降低生产成本。
[0016]在一些实施例中，贴膜机包括真空晶圆贴膜机，真空晶圆贴膜机用于在真空状态下给晶圆的背面贴膜。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请实施例的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本申请一实施例提供的一种缺陷检测装置的结构示意图；图2为本申请另一实施例提供的一种缺陷检测装置的结构示意图；图3为本申请一实施例提供的一种缺陷检测装置的过程示意图；图4为本申请再一实施例提供的一种缺陷检测装置的结构示意图；
图5为本申请又一实施例提供的一种缺陷检测装置的结构示意图；图6为本申请一实施例提供的一种贴膜装置的结构示意图；图7为本申请另一实施例提供的一种贴膜装置的结构示意图；图8为本申请一实施例提供的一种贴膜装置的流程示意图。
[0019]附图标记说明：100、缺陷检测装置；10、位置检测模块；11、位置检测传感器；20、摄像模块；30、控制器；40、预警装置；41、锁止模块；42、警示模块；200、贴膜装置；201、贴膜机；202、移动模块。
具体实施方式
[0020]为了便于理解本申请，下面将参阅相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的首选实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容更加透彻全面。
[0021]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。
[0022]应当明白，当本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种缺陷检测装置，其特征在于，用于检测贴膜晶圆的背部是否存在目标缺陷，所述装置包括：位置检测模块，用于在所述贴膜晶圆被传送至预设检测位置后生成目标位置信息；摄像模块，用于根据所述目标位置信息拍摄所述贴膜晶圆的背部并生成图像信号；控制器，与所述摄像模块连接，用于获取所述图像信号的图像特征参数，比较所述图像特征参数与对应的合格参数，以及根据比较结果生成用于指示是否存在目标缺陷的目标检测信息；所述图像特征参数包括像素分布、亮度及颜色中至少一种。2.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述目标缺陷包括气环、气泡及异物中至少一种。3.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述位置检测模块包括：位置检测传感器，与所述控制器连接，用于在所述贴膜晶圆被传送至预设检测位置后生成目标位置信息；所述控制器还被配置为：获取所述目标位置信息；根据所述目标位置信息生成用于触发所述摄像模块拍摄所述图像信号的拍摄控制信号。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述摄像模块包括电荷耦合器件相机及/或互补金属氧化物半导体相机。5.根据权利要求1
‑

【专利技术属性】
技术研发人员：穆晓波，闵源，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：