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本申请涉及一种缺陷检测装置及贴膜装置，缺陷检测装置用于检测贴膜晶圆的背部是否存在目标缺陷，装置包括位置检测模块、摄像模块及控制器，位置检测模块用于在贴膜晶圆被传送至预设检测位置后生成目标位置信息；摄像模块用于根据目标位置信息拍摄贴膜晶圆的背...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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