有机电致发光显示元件及其制造方法技术

一种有机电致发光显示元件。在像素单元中，基板包括控制区和感测区，开关元件和驱动元件位于控制区上。光感测器位于感测区上，有机电致发光单元位于感测区上，且可操作以照亮光感测器，电容器耦接到光感测器和驱动元件，其中通过光感测器感应到有机电致发光单元照射到光感测器的光线，产生对应于有机电致发光单元的亮度的光电流，如此，通过光电流调整电容器的电压，以控制通过驱动元件的电流，因此，改变有机电致发光单元的照度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种显示元件，特别涉及。
技术介绍
有机电致发光显示器(organic electroluminescent devices)(又称为有机发光二极管(organic light emitting diode，OLED)显示器)其发光原理是在有机分子材料(依分子量大小可分为小分子材料(small molecule material)及聚合物材料(polymer material))施加外加电场使其产生发光现象。有机电致发光显示器(organic electroluminescent devices)因其为自发光性(self emission)元件，点阵列式显示(dot matrix type display)，具有轻薄、高对比、低消耗功率、高解析度、反应时间短(fast response time)、不需背光源及广视角等特性，且其面板尺寸可由4mm微型显示器至100时的大型户外看板显示器，被视为下一世代的平面面板显示器(flat panel display，FPD)。除了显示器的应用外，由于有机电致发光元件更可在轻薄、可挠曲的材料上形成阵列式结构，使其在应用上更加的广泛，尤其是非常适合应用于照明。一般预估有机电致发光元件其发光效率若能提升至100Lm/W以上，有机电致发光显示器装置即有机会取代一般照明光源。 请参照图1，开关晶体管102控制有机电致发光单元106，且驱动晶体管104耦接到电源线VP。然而，有机电致发光显示器面板存在有像素间均匀性不佳的问题，特别是有机电致发光显示器在长时间操作的后会产生亮度的衰退的问题。
技术实现思路
因此，为解决上述问题，本专利技术的目的为解决有机电致发光显示器面板像素间均匀性不佳，或长时间操作的后产生衰退的相关问题，而使得有机电致发光显示器像素间的特性更为均匀。 本专利技术提供一种有机电致发光显示元件。在像素单元中，基板包括控制区和感测区，开关元件和驱动元件位于控制区上。光感测器位于感测区上，有机电致发光单元位于感测区上，且可操作以照亮光感测器，电容器耦接到光感测器和驱动元件，其中通过光感测器感应到有机电致发光单元照射到光感测器的光线，产生对应于有机电致发光单元的光电流，如此，通过光电流调整电容器的电压，以控制通过驱动元件的电流，因此，改变有机电致发光单元的照度。 本专利技术提供一种有机电致发光显示元件的制造方法。首先，提供包括控制区和感测区的基板。其后，在基板的控制区上形成有源层，在有源层和基板的感测区上形成栅极介电层。接下来，在栅极介电层上形成导电层，图形化导电层，以在控制区形成第一和第二栅极，且在感测区形成第三栅极。后续，形成至少覆盖第一、第二和第三栅极的介电层，在感测区上的部分介电层上形成感测元件有源层。接着，在感测元件有源层上形成感测元件掺杂层，形成分别电性连接感测元件掺杂层的两对边的感测元件源极和感测元件漏极。其后，在部分的控制区和感测区上形成有机电致发光单元。附图说明图1揭示有机电致发光显示器面板存在有像素间均匀性不佳的问题。 图2为本专利技术的实施例具有补偿元件的有机电致发光显示器的等效电路图。 图3A～图3N绘示本专利技术的实施例形成感测元件补偿有机发光元件的工艺的中间步骤的剖面图。 图4揭示本专利技术的实施例的电子元件的示意图。 附图标记说明VP～电源线； 20～像素单元；30～面板； 40～输入单元；50～电子元件； 102～开关晶体管；104～驱动晶体管； 106～有机电致发光单元；202～有机电致发光显示单元；204～驱动元件； 206～开关元件； 208～电容器； 210～光感测器；212～照度； 302～基板；304～控制区； 306～感测区；307～电容区； 308～缓冲层；309～下电极； 310～第一有源层；312～第二有源层； 314～光致抗蚀剂；316～沟道掺杂步骤； 318～光致抗蚀剂；320～沟道区； 322～N+离子；324～源极； 326～漏极；328～栅极介电层； 330～N型晶体管栅极；332～P型晶体管栅极； 334～感测元件栅极；335～上电极； 344～P型晶体管的源极；346～P型晶体管的漏极；348～介电层； 350～感测元件有源层；352～感测元件掺杂层；354～开口； 356～导电接触；358～感测元件源极； 360～感测元件漏极；362～保护层； 364～平坦化层；366～接触开口； 368～像素电极层；370～像素定义层； 372～有机电致发光层；374～阴极。具体实施方式以下将以实施例详细说明做为本专利技术的参考，且范例是伴随着图示说明的。在图示或描述中，相似或相同的部分使用相同的图号。在图示中，实施例的形状或是厚度可扩大，以简化或是方便标示。图示中元件的部分将以描述说明的。可了解的是，未绘示或描述的元件，可以具有各种本领域的技术人员所知的形式。此外，当叙述一层位于基板或是另一层上时，此层可直接位于基板或是另一层上，或是其间亦可以有中间层。 在说明书中，有关“在基板上”(overlying the substrate)、“在该层上”(abovethe layer)或“在膜上”(on the film)等的叙述表示与当层表面的相对位置关系，其忽略中间存在的各层，因此，上述叙述可表示为与当层直接接触或中间有一或更多层相隔的非接触状态。 图2为本专利技术一实施例具有补偿元件的有机电致发光显示器的等效电路图。请参照图2，有机电致发光显示元件包括像素单元20，且在像素单元20中，例如开关集成电路(switch IC)或是开关晶体管的开关元件206控制有机电致发光显示单元202。像素单元20还包括连接到电源线VP的驱动元件204(亦可称为驱动集成电路)，其中通过驱动元件204的电流可控制有机电致发光单元202的照度212。行数据线220对开关元件206进行控制，可供选择的，电容器208连接到驱动元件204的栅极，其中电容器208也耦接光感测器210，此外，可对电容器208的电压进行调整，以根据光感测器210所感测到的有机电致发光单元202的照度212而控制通过驱动元件204的电流，如此，可改变有机电致发光单元202的照度212做为补偿。 图3N绘示本专利技术的实施例的有机发光单元的剖面图，图3A～图3N绘示本专利技术的实施例有机发光单元的的工艺中间步骤的剖面图。请参照图3A，首先提供基板302，基板包括控制区304、感测区306和电容区307。在基板302上形成缓冲层308，缓冲层308可以是氧化硅、氮化硅或是氮氧化硅所组成，在本专利技术的优选实施例中，缓冲层308为氧化硅和氮化硅的堆叠层，而其厚度可以为例如氮化硅约为350～650埃，氧化硅约为1000～1600埃。 接下来，在缓冲层上形成导电层(未绘示)，导电层可以是多晶硅所组成，举例来说，导电层可首先以化学气相沉积方法沉积本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机电致发光显示元件，包括：像素单元，包括：基板，包括控制区和感测区；开关元件和驱动元件，位于该控制区上；光感测器，位于该感测区上；有机电致发光单元，位于该感测区上，且可照亮该光感测器；及 电容器，耦接到该光感测器和该驱动元件，其中通过该光感测器感应到该有机电致发光单元照射到该光感测器的光线，产生对应于该有机电致发光单元的光电流，如此，通过该光电流调整该电容器的电压，以控制通过该驱动元件的电流，因此，改变该有机电致发光 单元的照度。

【技术特征摘要】
US 2006-1-4 11/326,247所界定者为准。权利要求1.一种有机电致发光显示元件，包括像素单元，包括基板，包括控制区和感测区；开关元件和驱动元件，位于该控制区上；光感测器，位于该感测区上；有机电致发光单元，位于该感测区上，且可照亮该光感测器；及电容器，耦接到该光感测器和该驱动元件，其中通过该光感测器感应到该有机电致发光单元照射到该光感测器的光线，产生对应于该有机电致发光单元的光电流，如此，通过该光电流调整该电容器的电压，以控制通过该驱动元件的电流，因此，改变该有机电致发光单元的照度。2.如权利要求1所述的有机电致发光显示元件，其中该开关元件和该驱动元件为上栅极晶体管，且该光感测器为下栅极晶体管。3.如权利要求1所述的有机电致发光显示元件，其中该像素单元由多膜层所组成，且该开关元件、该驱动元件和该光感测器包括位于同一层的栅极。4.如权利要求1所述的有机电致发光显示元件，其中该开关元件包括第一有源层，该驱动元件包括第二有源层，且其中该第一有源层和该第二有源层为多晶硅层。5.如权利要求1所述的有机电致发光显示元件，其中该光感测器具有一第三有源层，且该第三有源层为非晶硅层。6.如权利要求1所述的有机电致发光显示元件，还包括第一有源层，位于该开关元件中；第二有源层，位于该驱动元件中；及栅极介电层，位于该第一有源层、该第二有源层和该感测区上。7.如权利要求6所述的有机电致发光显示元件，还包括第一栅极和第二栅极，位于该控制区的栅极介电层上，其中该第一栅极位于该开关元件中，且该第二栅极位于该驱动元件中；及第三栅极，位于该感测区的栅极介电层上，其中该第一栅极、该第二栅极和该第三栅极为同一层。8.如权利要求7所述的有机电致发光显示元件，还包括介电层，至少覆盖该第一栅极、该第二栅极和该第三栅极；及第三有源层，位于该感测区的部分介电层上。9.如权利要求8所述的有机电致发光显示元件，还包括感测元件掺杂层，位于该第三有源层上；及感测元件源极和感测元件漏极，分别电性连接该感测元件掺杂层的对边。10.如权利要求6所述的有机电致发光显示元件，其中该介电层还包括多个开...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾章和，彭杜仁，蔡耀铭，
申请(专利权)人：统宝光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]