半导体设备的补液系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种半导体设备的补液系统，包括：主补液槽、辅补液槽、通液阀和供液装置；所述主补液槽和所述辅补液槽均用于容纳冷却液；所述主补液槽、所述辅补液槽和所述供液装置均与所述通液阀连接；所述主补液槽与所述供液装置相连通时，所述辅补液槽与所述供液装置相隔离；所述辅补液槽与所述供液装置相连通时，所述主补液槽与所述供液装置相隔离；所述通液阀用于控制所述主补液槽和所述辅补液槽内的冷却液通入所述供液装置；或所述通液阀用于控制所述供液装置内的冷却液通入所述主补液槽和所述辅补液槽；所述供液装置参与构成若干半导体设备的冷却液通路，用于向所述若干半导体设备供给冷却液。该系统用于向半导体设备供给冷却液。供给冷却液。供给冷却液。

【技术实现步骤摘要】
半导体设备的补液系统


[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种半导体设备的补液系统。

技术介绍

[0002]在半导体产品生产过程中，为了产品工艺稳定需要维持设备温度的稳定，半导体设备可以利用冷却设备(Chiller)里的冷却液不断循环，达到维持腔体(Chamber)温度稳定的作用。在冷却设备运行过程中，冷却设备里的冷却液会不断损耗，因此需要定期给冷却设备的水箱补液以维持正常的运行，目前补液主要是依靠工程师定期巡检，当发现液位偏低时，需及时对冷却设备进行补液。
[0003]目前，采用人员定期巡检冷却设备中冷却液的液位，不仅增加了工作量，而且如果人员疏忽未按时补液会导致冷却设备停止工作，冷却设备停止工作会触发腔体的室连锁(interlock)，腔体会降温而影响腔体的正常工作，当腔体是正常运行时，因为冷却设备的停止会导致腔体里的晶圆异常停止甚至造成产品报废。另一方面，冷却液在冷却设备内的压力过高会缩减所述冷却设备整体的使用寿命，不利于节约成本。
[0004]如图1所示，冷却设备101用于冷却半导体腔体；冷却设备101连接有手本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备的补液系统，其特征在于，包括：主补液槽、辅补液槽、通液阀和供液装置；所述主补液槽和所述辅补液槽均用于容纳冷却液；所述主补液槽、所述辅补液槽和所述供液装置均与所述通液阀连接；所述通液阀用于控制所述主补液槽和所述辅补液槽内的冷却液通入所述供液装置，或用于控制所述供液装置内的冷却液通入所述主补液槽和所述辅补液槽；所述通液阀配置为使得所述主补液槽与所述供液装置相连通时，所述辅补液槽与所述供液装置相隔离；所述辅补液槽与所述供液装置相连通时，所述主补液槽与所述供液装置相隔离；所述供液装置参与构成若干半导体设备的冷却液通路，用于向所述若干半导体设备供给冷却液。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述供液装置包括储液容器、阻值传感器、液位传感器、处理器、存储器和显示器；所述储液容器与所述通液阀连接，用于存储冷却液；所述阻值传感器用于检测所述储液容器内的冷却液的水阻值；所述液位传感器用于检测所述储液容器内的冷却液的液位高度值；所述处理器用于判断所述水阻值是否满足预设的水阻阈值，还用于判断所述液位高度值是否满足预设的液位高度阈值；所述处理器用于在冷却液不满足所述水阻阈值或液位高度阈值时向所述显示器输出报警信息；所述存储器用于存储预设的所述水阻阈值和所述液位高度阈值；所述显示器用于实时显示所述水阻值、所述液位高度值和所述报警信息。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述主补液槽内设有第一容器、第二容器、控制阀；所述第一容器用于容纳第一液体；所述第二容器与所述通液阀连接，用于容纳水阻值小于所述第一液体的第二液体；所述第一容器和所述第二容器均与所述控制阀连接；所述控制阀用于控制所述第一容器是否与所述第二容器连通；当所述第一容器与所述第二容器连通时，所述第一液体进入所述第二容器，所述第一液体与所述第二液...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷德发，袁晓飞，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：新型
国别省市：