一种基于步进电机控制的翻转执行机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于步进电机控制的翻转执行机构，涉及晶圆生产技术领域，包括底板和安装在底板上的翻转手臂，所述底板的正面固定安装有中空旋转机构，所述中空旋转机构的外侧分布有信号触发单元，所述中空旋转机构的转动端固定安装有气缸安装板，所述气缸安装板的一侧固定安装有气缸支架，所述气缸支架的一侧活动安装有翻转手臂，所述翻转手臂的内壁通过peek手指夹持有晶圆，本实用新型专利技术通过采用双向抓手夹紧气缸，采用同一气缸保证的两侧同时夹持，保证晶圆放入后保持卡死状态，不会因机构翻面而造成晶圆片掉落，而设置有高精密中空旋转机构带动夹持臂旋转，实现翻面功能，在夹持部位设置peek材质手指的应用。夹持部位设置peek材质手指的应用。夹持部位设置peek材质手指的应用。

【技术实现步骤摘要】
一种基于步进电机控制的翻转执行机构


[0001]本技术涉及翻转执行机构，特别涉及一种基于步进电机控制的翻转执行机构，属于晶圆生产


技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，随着芯片短缺问题的日益凸显，各大晶圆厂新设备投入积极性日益加大，部分工艺段对于晶圆有EQ内翻转需求，现有晶圆搬送机械手多为4轴控制，不具备晶圆翻面能力，而现有翻转机构洁净度无法满足半导体行业百级使用环境需求，现有翻转机构多为独立设备，体积大，无法融入现有设备，同时采用伺服或变频控制，硬件成本较高，而且需要外部独立控制器进行控制，控制成本，开发成本高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在提供一种基于步进电机控制的翻转执行机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于步进电机控制的翻转执行机构，包括底板和安装在底板上的翻转手臂，所述底板的正面固定安装有中空旋转机构，所述中空旋转机构的外侧分布有信号触发单元，所述中空旋转机构的转动端固定安装有气缸安装板，所述气缸安装板的一侧固定安装有气缸支架，所述气缸支架的一侧活动安装有翻转手臂，所述翻转手臂的内壁通过peek手指夹持有晶圆，所述底板的外侧安装有位置反馈型步进马达，所述位置反馈型步进马达的输出轴与中空旋转机构转动端连接。
[0005]优选的，所述位置反馈型步进马达的底部固定安装有驱动电缆，所述底板的底部安装有数据电缆。
[0006]优选的，所述数据电缆与位置反馈型步进马达、双向手指夹紧气缸部件连接。
[0007]优选的，所述气缸支架的内侧安装有双向手指夹紧气缸，所述双向手指夹紧气缸的输出端与翻转手臂连接。
[0008]优选的，所述底板正面的一侧设置有检测传感器，所述检测传感器与信号触发单元配合使用。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0010]本技术一种基于步进电机控制的翻转执行机构，通过采用双向抓手夹紧气缸，采用同一气缸保证的两侧同时夹持，保证晶圆放入后保持卡死状态，不会因机构翻面而造成晶圆片掉落，而设置有高精密中空旋转机构带动夹持臂旋转，实现翻面功能，同时使用中空旋转平台，方便走线，解决了绕线的问题，在夹持部位设置peek材质手指的应用，保证与晶圆接触部分不对晶圆造成磨损，采用带反馈功能步进马达的应用，确保了运行的精度，
同时本设备体积较小，可安装在现有的设备当中，降低翻转晶圆所需要的成本。
附图说明
[0011]图1为本技术俯视结构示意图；
[0012]图2为本技术整体结构示意图。
[0013]图中：1、peek手指；2、晶圆；3、双向手指夹紧气缸；4、中空旋转机构；5、位置反馈型步进马达；6、翻转手臂；7、检测传感器；8、信号触发单元；9、数据电缆；10、驱动电缆；11、气缸支架；12、气缸安装板；13、底板。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]请参阅图1
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2，本技术提供一种基于步进电机控制的翻转执行机构，包括底板13和安装在底板13上的翻转手臂6，底板13的正面固定安装有中空旋转机构4，采用高精度中空旋转机构4带动夹持臂旋转，实现翻面功能，同时检测传感器7与信号触发单元配合使用，能精准控制翻面角度，中空旋转机构4的外侧分布有信号触发单元8，信号触发单元8与检测传感器7配合使用，中空旋转机构4的转动端固定安装有气缸安装板12，气缸安装板12能对气缸进行固定，气缸安装板12的一侧固定安装有气缸支架11，气缸支架11能安装固定翻转手臂6，避免位置出现改变，气缸支架11的一侧活动安装有翻转手臂6，翻转手臂6用于夹持晶圆，翻转手臂6的内壁通过peek手指1夹持有晶圆2，peek手指1是聚醚醚酮这种材料具有刚性和柔性在航空航天领域、医疗器械领域和工业领域有大量的应用，底板13的外侧安装有位置反馈型步进马达5，步进马达5带反馈功，确保了运行的精度，位置反馈型步进马达5的输出轴与中空旋转机构4转动端连接，可通过步进马达5带动中空旋转机构4转动部件转动，完成翻面。
[0016]进一步地：位置反馈型步进马达5的底部固定安装有驱动电缆10，驱动电缆10为装置进行整体供电，底板13的底部安装有数据电缆9，数据电缆9可通过外部IO控制装置运行状态。
[0017]进一步地：数据电缆9与位置反馈型步进马达5、双向手指夹紧气缸3部件连接，可通过数据电缆9对装置整体进行数据控制，与数据反馈。
[0018]进一步地：气缸支架11的内侧安装有双向手指夹紧气缸3，双向手指夹紧气缸3采用同一气缸保证的两侧同时夹持，保证晶圆6放入后保持卡死状态，不会因机构翻面而造成晶圆片掉落，双向手指夹紧气缸3的输出端与翻转手臂6连接。
[0019]进一步地：底板13正面的一侧设置有检测传感器7，检测传感器7与信号触发单元8配合使用。
[0020]在本技术的描述中，需要理解的是，指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新
型的限制。
[0021]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于步进电机控制的翻转执行机构，包括底板(13)和安装在底板(13)上的翻转手臂(6)，其特征在于，所述底板(13)的正面固定安装有中空旋转机构(4)，所述中空旋转机构(4)的外侧分布有信号触发单元(8)，所述中空旋转机构(4)的转动端固定安装有气缸安装板(12)，所述气缸安装板(12)的一侧固定安装有气缸支架(11)，所述气缸支架(11)的一侧活动安装有翻转手臂(6)，所述翻转手臂(6)的内壁通过peek手指(1)夹持有晶圆(2)，所述底板(13)的外侧安装有位置反馈型步进马达(5)，所述位置反馈型步进马达(5)的输出轴与中空旋转机构(4)转动端连接。2.根据权利要求1所述的一种基于步进电机控制的翻转执行机构，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：江秦波，单发晨，
申请(专利权)人：上海交震半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：