本实用新型专利技术一种芯片生产用晶圆限位装置，包括底座，底座的顶部两侧相对开凿设有两个滑槽，滑槽的内部滑动连接有滑块，滑块的顶部均相对固定连接有支撑台，两个支撑台相互靠近的一侧顶部开设有放置槽，放置槽的底部侧壁开凿设有卡槽，卡槽的内部设有气囊与触碰开关，本实用新型专利技术具有以下优点：本限位装置通过两个支撑台相互靠近取代了传统的真空吸盘的限位，避免真空吸盘由于吸力过大导致晶圆中部向下塌陷，提高晶圆加工的精密程度；卡槽的内部设有气囊，通过气囊将晶圆外部均匀的挤压在卡槽中，对晶圆的外部进行挤压限位，防止晶圆移位。防止晶圆移位。防止晶圆移位。
【技术实现步骤摘要】
一种芯片生产用晶圆限位装置
[0001]本技术涉及晶圆加工设备
，具体涉及一种芯片生产用晶圆限位装置。
技术介绍
[0002]设备的芯片就像人类的心脏与大脑，若是没有芯片，则无法进行繁琐复杂的计算。
[0003]在芯片生产过程中，由于其内部及其精密，需要使用到限位装置对其进行限位，防止在加工过程中出现偏差，现有技术中，传统的晶圆限位大多都是使用真空吸盘对晶圆进行限位的，若是吸盘的吸力过小，则无法实现稳定的限位效果，而若是吸力过大，则容易对晶圆的中部吸附塌陷，虽然肉眼观察难以发现，但在晶圆这种极其精密的部件上，则会容易影响后期的加工精度，因此，需要提供一种限位装置，减小晶圆因为限位而造成加工误差。
技术实现思路
[0004]本技术解决技术问题采用的技术方案是：一种芯片生产用晶圆限位装置，包括底座，所述底座的顶部两侧相对开凿设有两个滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的顶部均相对固定连接有支撑台，两个所述支撑台相互靠近的一侧顶部开设有放置槽，所述放置槽的底部侧壁开凿设有卡槽，所述卡槽的内部设有气囊与触碰开关。
[0005]作为本技术的一种优选技术方案，两个所述滑槽的内部转动连接有双向螺杆，所述双向螺杆的两端分别与两个滑块螺纹连接。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案，所述底座的一端固定连接有电机，所述电机的输出端穿过底座与双向螺杆固定连接。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述卡槽的顶端内壁开凿设有隐藏槽，所述气囊卡接在隐藏槽的内部。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述触碰开关固定连接在卡槽的内侧，所述卡槽的内部且相对触碰开关的位置设有推板。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述推板靠近触碰开关的一侧固定连接有若干限位杆，所述限位杆与卡槽的内部插接，所述触碰开关与卡槽之间固定连接有若干弹簧。
[0010]本技术具有以下优点：本限位装置通过两个支撑台相互靠近取代了传统的真空吸盘的限位，避免真空吸盘由于吸力过大导致晶圆中部向下塌陷，提高晶圆加工的精密程度；卡槽的内部设有气囊，通过气囊将晶圆外部均匀的挤压在卡槽中，对晶圆的外部进行挤压限位，防止晶圆移位。
附图说明
[0011]图1是本技术一优选实施例的正视剖切结构示意图；
[0012]图2是本技术一优选实施例的立体结构示意图；
[0013]图3是本技术一优选实施例的A处放大结构示意图。
[0014]附图标记说明：1、底座；2、滑槽；3、滑块；4、双向螺杆；5、电机；6、支撑台；7、放置槽；8、卡槽；9、隐藏槽；10、气囊；11、推板；12、限位杆；13、弹簧；14、触碰开关。
具体实施方式
[0015]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
[0016]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0017]下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0018]请结合参阅图1
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3，本技术一种芯片生产用晶圆限位装置，包括底座1，底座1的顶部两侧相对开凿设有两个滑槽2，滑槽2的内部滑动连接有滑块3，滑块3的顶部均相对固定连接有支撑台6，两个支撑台6相互靠近的一侧顶部开设有放置槽7，放置槽7的底部侧壁开凿设有卡槽8，卡槽8的内部设有气囊10与触碰开关14。
[0019]两个滑槽2的内部转动连接有双向螺杆4，双向螺杆4的两端分别与两个滑块3螺纹连接，底座1的一端固定连接有电机5，电机5的输出端穿过底座1与双向螺杆4固定连接，开启电机5，电机5的输出端带动双向螺杆4转动，两个滑块3在滑槽2中相互靠近，随着滑块3的移动，晶圆插入卡槽8中。
[0020]卡槽8的顶端内壁开凿设有隐藏槽9，气囊10卡接在隐藏槽9的内部，触碰开关14固定连接在卡槽8的内侧，卡槽8的内部且相对触碰开关14的位置设有推板11，随着滑块3的移动，晶圆插入卡槽8中，随着滑块3的不断移动，晶圆将推板11向触碰开关14处推动，当触碰开关14受到挤压后，关闭电机5的开关并开启气囊10的进气阀，推板11靠近触碰开关14的一侧固定连接有若干限位杆12，限位杆12与卡槽8的内部插接，触碰开关14与卡槽8之间固定连接有若干弹簧13，当使用完成后，两个滑块3在双向螺杆4的反向转动下相互远离，弹簧13推动推板11将晶圆从卡槽8中推出。
[0021]具体的，本技术使用时，将晶圆放置在支撑台6的放置槽7处，开启电机5，电机5的输出端带动双向螺杆4转动，两个滑块3在滑槽2中相互靠近，随着滑块3的移动，晶圆插入卡槽8中，随着滑块3的不断移动，晶圆将推板11向触碰开关14处推动，当触碰开关14受到挤压后，关闭电机5的开关并开启气囊10的进气阀，使支撑台6停止移动，并通过气囊10膨胀后对晶圆的侧边进行挤压，对气囊10进行固定限位。
[0022]以上仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也
应视为本技术的保护范围。
[0023]本技术中其他未详述部分均属于现有技术，故在此不再赘述。
[0024]最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种芯片生产用晶圆限位装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)的顶部两侧相对开凿设有两个滑槽(2)，所述滑槽(2)的内部滑动连接有滑块(3)，所述滑块(3)的顶部均相对固定连接有支撑台(6)，两个所述支撑台(6)相互靠近的一侧顶部开设有放置槽(7)，所述放置槽(7)的底部侧壁开凿设有卡槽(8)，所述卡槽(8)的内部设有气囊(10)与触碰开关(14)。2.如权利要求1所述的一种芯片生产用晶圆限位装置，其特征在于，两个所述滑槽(2)的内部转动连接有双向螺杆(4)，所述双向螺杆(4)的两端分别与两个滑块(3)螺纹连接。3.如权利要求2所述的一种芯片生产用晶圆限位装置，其特征在于，所述底座(1)的一端固定连接有电机(5)，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，张翔瑀，
申请(专利权)人：无锡市空穴电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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