一种定位精准的PERC电池片生产刻蚀机制造技术

本发明专利技术公开了PERC电池片生产技术领域的一种定位精准的PERC电池片生产刻蚀机，包括，本体，所述本体上设置有透明门；所述本体内设置有刻蚀槽；所述本体内的两侧均设置有电动导轨，两组所述电动导轨的输出端均与活动板连接；所述活动板的顶部设置有气缸，所述气缸的的活塞杆贯穿活动板连接有安装板；所述安装板的底部均匀设置有位于刻蚀槽上方的定位装置；在支撑板上方逐个放好硅片，然后通过微型电动伸缩杆从上方定位压紧硅片，每个硅片仅有底部两侧被单独的支撑板进行支撑，因此在刻蚀时，通过支撑板向着相反的方向移动，可以间歇地改变覆盖硅片底部的位置，从而使得硅片的下表面可以全面被溶液腐蚀到，减少硅片刻蚀后不良品出现的概率。出现的概率。出现的概率。

【技术实现步骤摘要】
一种定位精准的PERC电池片生产刻蚀机


[0001]本专利技术涉及PERC电池片生产
，具体为一种定位精准的PERC电池片生产刻蚀机。

技术介绍

[0002]硅片在扩散工序，采用背靠背的单面扩散方式，硅片的侧边和背面边缘不可避免地都会扩散上磷原子。当阳光照射，P
‑
N结的正面收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到P
‑
N结的背面，造成短路通路。短路通道等效于降低并联电阻。
[0003]PERC电池片生产刻蚀机通过刻蚀槽HNO3和HF的混合液体会对扩散后硅片的下表面及边缘进行腐蚀,以去除边缘的N型硅,打破硅片表面短路通路，因此刻蚀对于液位高度的控制需要特别精确，但是传统的PERC电池片生产刻蚀机在对硅片定位夹紧后，硅片的下表面以及边缘总会被夹具覆盖住，从而导致硅片的下表面以及边缘无法全面地被刻蚀槽内溶液腐蚀到，从而导致了通过该刻蚀机刻蚀后的PERC电池片，会出现较多的不良品，且刻蚀时产生的废气不能及时地进行处理，污染环境，为此，我们提出一种定位精准的PERC电池片生产刻蚀机。
专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种定位精准的PERC电池片生产刻蚀机，其特征在于：包括，本体(1)，所述本体(1)上设置有透明门(2)；所述本体(1)内设置有刻蚀槽(3)；所述本体(1)内的两侧均设置有电动导轨(4)，两组所述电动导轨(4)的输出端均与活动板(5)连接；所述活动板(5)的顶部设置有气缸(6)，所述气缸(6)的的活塞杆贯穿活动板(5)连接有安装板(7)；所述安装板(7)的底部均匀设置有位于刻蚀槽(3)上方的定位装置；所述本体(1)的底部设置有减震垫(29)。2.根据权利要求1所述的一种定位精准的PERC电池片生产刻蚀机，其特征在于：所述定位装置包括两组结构相同的连接杆(8)，两组所述连接杆(8)的底端均设置有固定箱(9)，所述固定箱(9)的前侧均设置有箱门(10)，所述箱门(10)上设置有把手(11)。3.根据权利要求2所述的一种定位精准的PERC电池片生产刻蚀机，其特征在于：所述固定箱(9)的内部均匀设置有转轴(12)，所述转轴(12)的底部均通过轴承转动连接在固定箱(9)上，所述转轴(12)上套接有齿轮(13)，所述齿轮(13)的前后两侧均啮合连接有支撑板(14)，两组所述支撑板(14)均横向贯穿固定箱(9)，两组所述支撑板(14)上均滑动连接有安装在固定箱(9)内的导杆(15)，所述支撑板(14)延伸至固定箱(9)外侧的一端顶部开设有缺口(16)，两组所述支撑板(14)中的一组支撑板(14)顶部与硅片(17)相贴合。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：何飞，何其金，张靖，
申请(专利权)人：江苏晶旺新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：