一种开放式卡夹上料机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种开放式卡夹上料机构，涉及晶圆制造技术领域，包括侧板，所述侧板的底部设有两组对称设置的调平机构，两组调平机构分别连接在调平架的两侧，调平架固接在支撑架的底部，支撑架的顶部固接有载台，载台上开设有多个定位槽，定位槽内安装有载荷传感器，载台上通过定位槽放置有开放式卡夹，载台的顶部通过两个扭矩铰链活动铰接有保护盖，保护盖的正面安装有翻盖把手，此开放式卡夹上料机构，区别于现有技术，形成带缓冲功能的上翻盖设计，降低操作者作业强度，增加翻盖设计，降低外界环境对于设备内部的污染，可避免因漏放卡夹或者卡夹放置不到位带来的设备运行风险，设备水平调试更简单，精度更高。精度更高。精度更高。

【技术实现步骤摘要】
一种开放式卡夹上料机构


[0001]本技术涉及晶圆制造
，具体为一种开放式卡夹上料机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]目前，随着芯片短缺问题的日益凸显，各大晶圆厂新设备投入积极性日益加大，在晶圆制造过程中需要使用到上料机构，但现有的上料机构虽然满足使用需求，但是其保护效果较差，设备在运行过程中容易受到污染，整体结构复杂，制作成本居高不下，且设备水平调试复杂，操作不便，为此，我们提出一种开放式卡夹上料机构。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种开放式卡夹上料机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种开放式卡夹上料机构，包括侧板，所述侧板的底部设有两组对称设置的调平机构，两组调平机构分别连接在调平架的两侧，调平架固接在支撑架的底部，支撑架的顶部固接有载台，载台上开设有多个定位槽，定位槽内安装有载荷传感器，载台上通过定位槽放置有开放式卡夹，载台的顶部通过两个扭矩铰链活动铰接有保护盖，保护盖的正面安装有翻盖把手，保护盖的两侧壁均通过气弹簧与载台的顶部活动连接。
[0006]作为优选，所述调平机构包括固接在侧板底部的固定座，固定座上放置有调平轮，调平轮的横截面呈椭圆形，调平轮通过螺栓固接在连接块的侧壁上，连接块固接在调平架的侧壁上，连接块的侧壁还固设有两个限位块，限位块滑动连接在限位片上开设的两个腰孔内，限位片固接在侧板的底部；可调节设备水平且使得设备水平调试更简单，精度更高。
[0007]作为优选，所述侧板的正面安装有罩壳，罩壳罩设在调平机构、调平架和支撑架的外侧，罩壳的正面设有外设接口；提供保护作用。
[0008]作为优选，所述载台上开设有放置槽，放置槽内安装有RFID传感器，放置槽上安装有固定盖，支撑架的侧壁上安装有与RFID传感器电性连接的RFID控制器；为RFID控制器与开放式卡夹之间进行非接触式的数据通信，达到识别目标的目的，用于检测是否放置有开放式卡夹。
[0009]作为优选，所述支撑架的底部安装有电气端子预留接口；用于与端子连接。
[0010]作为优选，所述侧板的顶部安装有状态指示灯；可更加直观的显示设备各种运行状态。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、通过扭矩铰链和气弹簧的设置，形成带缓冲功能的上翻盖设计，降低操作者作
业强度；
[0013]2、通过保护盖的设置，使开放式卡夹增加翻盖设计，降低外界环境对于设备内部的污染；
[0014]3、通过载荷传感器的使用，避免因漏放卡夹或者卡夹放置不到位带来的设备运行风险；
[0015]4、通过状态指示灯的设置，可更加直观的显示设备各种运行状态；
[0016]5、通过调平机构的设置，使得设备水平调试更简单，精度更高；
[0017]6、通过外设接口的设置，可以兼容身份识别系统及自动化传送系统的接入。
附图说明
[0018]图1为本技术整体的结构示意图；
[0019]图2为本技术保护盖和罩壳取下后的结构示意图；
[0020]图3为本技术开放式卡夹取下后的结构示意图；
[0021]图4为本技术侧视的结构示意图；
[0022]图5为本技术载台俯视的结构示意图；
[0023]图6为本技术图2中A处放大的结构示意图。
[0024]图中：1、侧板；2、调平机构；201、固定座；202、调平轮；203、连接块；204、限位块；205、限位片；3、调平架；4、支撑架；5、载台；6、载荷传感器；7、RFID传感器；8、开放式卡夹；9、扭矩铰链；10、保护盖；11、翻盖把手；12、气弹簧；13、RFID控制器；14、电气端子预留接口；15、罩壳；16、状态指示灯。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
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6，本技术提供一种技术方案：一种开放式卡夹上料机构，包括侧板1，侧板1的底部设有两组对称设置的调平机构2，调平机构2包括固接在侧板1底部的固定座201，固定座201上放置有调平轮202，调平轮202的横截面呈椭圆形，调平轮202通过螺栓固接在连接块203的侧壁上，连接块203固接在调平架3的侧壁上，连接块203的侧壁还固设有两个限位块204，限位块204滑动连接在限位片205上开设的两个腰孔内，限位片205固接在侧板1的底部；可调节设备水平且使得设备水平调试更简单，精度更高。
[0027]两组调平机构2分别连接在调平架3的两侧，调平架3固接在支撑架4的底部，侧板1的正面安装有罩壳15，罩壳15罩设在调平机构2、调平架3和支撑架4的外侧，罩壳15的正面设有外设接口；提供保护作用。
[0028]支撑架4的底部安装有电气端子预留接口14；用于与端子连接。
[0029]支撑架4的顶部固接有载台5，载台5上开设有放置槽，放置槽内安装有RFID传感器7，放置槽上安装有固定盖，支撑架4的侧壁上安装有与RFID传感器7电性连接的RFID控制器13；为RFID控制器13与开放式卡夹8之间进行非接触式的数据通信，达到识别目标的目的，
用于检测是否放置有开放式卡夹8。
[0030]载台5上开设有多个定位槽，定位槽内安装有载荷传感器6，载台5上通过定位槽放置有开放式卡夹8，载台5的顶部通过两个扭矩铰链9活动铰接有保护盖10，保护盖10的正面安装有翻盖把手11，保护盖10的两侧壁均通过气弹簧12与载台5的顶部活动连接，侧板1的顶部安装有状态指示灯16；可更加直观的显示设备各种运行状态。
[0031]本方案，在使用时，人工通过翻盖把手11将保护盖10打开，然后把开放式卡夹8通过定位槽准确放到载台5上，最后关上保护盖10，利用载荷传感器6检测是否放置有开放式卡夹8或开放式卡夹8放置是否到位，然后通过上面的状态指示灯16指示运行、报警、开放式卡夹8错误、开放式卡夹8放置异常等各种状态，最后通过调平机构2的设置，松开螺栓后，可转动调平轮202，从而利用不同转动状态的调平轮202与固定座201抵触的高度，形成对整体结构的调平，确保在上料时保持水平状态即可。
[0032]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种开放式卡夹上料机构，包括侧板(1)，其特征在于：所述侧板(1)的底部设有两组对称设置的调平机构(2)，两组调平机构(2)分别连接在调平架(3)的两侧，调平架(3)固接在支撑架(4)的底部，支撑架(4)的顶部固接有载台(5)，载台(5)上开设有多个定位槽，定位槽内安装有载荷传感器(6)，载台(5)上通过定位槽放置有开放式卡夹(8)，载台(5)的顶部通过两个扭矩铰链(9)活动铰接有保护盖(10)，保护盖(10)的正面安装有翻盖把手(11)，保护盖(10)的两侧壁均通过气弹簧(12)与载台(5)的顶部活动连接。2.根据权利要求1所述的一种开放式卡夹上料机构，其特征在于：所述调平机构(2)包括固接在侧板(1)底部的固定座(201)，固定座(201)上放置有调平轮(202)，调平轮(202)的横截面呈椭圆形，调平轮(202)通过螺栓固接在连接块(203)的侧壁上，连接块(203)固接在调平架(3)的侧壁上，...

【专利技术属性】
技术研发人员：江秦波，喻志鹏，
申请(专利权)人：上海交震半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：