本实用新型专利技术公开了一种便于控制温度的化学气相沉积装置，包括化学气相沉积装置主体、玻璃管道和钩杆，所述玻璃管道贯穿两个弧形电热板之间，所述玻璃管道一端的底部固定有抽气玻璃管道，所述玻璃管道的一端通过第二螺栓固定有进气塞，且玻璃管道的另一端通过管箍固定有出气塞。该便于控制温度的化学气相沉积装置，打开机盖之后可将玻璃管道放置在化学气相沉积装置主体上，关上机盖并拆下出气塞之后可将盛放铜箔的玻璃托盘放入玻璃管道内，随后可利用钩杆将玻璃托盘伸入到玻璃管道内，固定好出气塞之后可利用真空泵抽走玻璃管道内的气体，向玻璃管道内通入氩气之后可利用弧形电热板对玻璃管道进行加热处理，通过操作控制面板可控制好加热温度。可控制好加热温度。可控制好加热温度。
【技术实现步骤摘要】
一种便于控制温度的化学气相沉积装置
[0001]本技术涉及化学气相沉积装置相关
，具体为一种便于控制温度的化学气相沉积装置。
技术介绍
[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，为了在铜箔的表面生成石墨烯，则需要使用到化学气相沉积装置。
[0003]现有的化学气相沉积装置在使用之前不便调整好其稳定性，且不便精准的控制加热温度，内部组件的稳定性不够，针对上述问题，需要对现有的设备进行改进。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种便于控制温度的化学气相沉积装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的化学气相沉积装置在使用之前不便调整好其稳定性，且不便精准的控制加热温度，内部组件的稳定性不够的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于控制温度的化学气相沉积装置，包括化学气相沉积装置主体、玻璃管道和钩杆，
[0006]所述化学气相沉积装置主体的前端面固定有控制面板，且化学气相沉积装置主体的顶部转动连接有机盖，同时机盖通过第一螺栓固定在化学气相沉积装置主体上；
[0007]所述玻璃管道贯穿两个弧形电热板之间，且两个弧形电热板分别固定在化学气相沉积装置主体的顶部和机盖的底部，所述玻璃管道一端的底部固定有抽气玻璃管道，且抽气玻璃管道的底部通过螺母固定有真空泵，同时真空泵固定在化学气相沉积装置主体的一侧，所述玻璃管道的一端通过第二螺栓固定有进气塞，且玻璃管道的另一端通过管箍固定有出气塞。
[0008]通过采用上述技术方案，在使用该装置之前需要调整好该装置的稳定性，打开机盖并将玻璃管道放置在化学气相沉积装置主体上之后再关上并固定好机盖，拆下出气塞并将盛有铜箔的玻璃托盘放入玻璃管道内之后再固定好出气塞，利用真空泵抽走玻璃管道内的气体之后可向玻璃管道内通入氩气，随后可利用弧形电热板对玻璃管道进行加热处理，同时可控制好加热程度，接着先后向玻璃管道内通入氢气和甲烷，加热后一段时间，支起机盖进行散热，温度足够低之后可利用将钩杆将长好石墨烯的铜箔取出。
[0009]优选的，所述化学气相沉积装置主体的底部螺纹连接有垫块，且垫块设置有四个，同时四个垫块关于化学气相沉积装置主体的竖直中轴线对称设置。
[0010]通过采用上述技术方案，垫块对该装置起到垫撑的作用，在使用该装置之前可调整好四个垫块之间的高度差，直至该装置平稳。
[0011]优选的，所述机盖通过轴杆转动连接在化学气相沉积装置主体的顶部。
[0012]通过采用上述技术方案，拧松螺栓之后可在轴杆的作用下手动转动并打开机盖，
方便安放玻璃管道，安放好玻璃管道之后再关上机盖。
[0013]优选的，所述玻璃管道的外侧固定有卡环，且卡环卡合连接在化学气相沉积装置主体与机盖之间。
[0014]通过采用上述技术方案，卡环可起到加强连接的作用，使玻璃管道能更加平稳的放置在化学气相沉积装置主体与机盖之间。
[0015]优选的，所述钩杆卡放在机盖顶部的一侧，且机盖顶部的中间处固定有承载箱，同时承载箱内放置有玻璃托盘。
[0016]通过采用上述技术方案，利用钩杆可将玻璃托盘伸入到玻璃管道内以及将玻璃托盘从玻璃管道内钩拉出来。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该便于控制温度的化学气相沉积装置，
[0018](1)将该装置放置在所需地点之后可手动上下拧动垫块，方便调节四个垫块之间的高度差，使该装置摆放起来更加平稳；
[0019](2)打开机盖之后可将玻璃管道放置在化学气相沉积装置主体上，关上机盖并拆下出气塞之后可将盛放铜箔的玻璃托盘放入玻璃管道内，随后可利用钩杆将玻璃托盘伸入到玻璃管道内，固定好出气塞之后可利用真空泵抽走玻璃管道内的气体，向玻璃管道内通入氩气之后可利用弧形电热板对玻璃管道进行加热处理，通过操作控制面板可控制好加热温度。
附图说明
[0020]图1为本技术正视剖面结构示意图；
[0021]图2为本技术正视结构示意图；
[0022]图3为本技术左视剖面结构示意图。
[0023]图中：1、化学气相沉积装置主体，2、垫块，3、控制面板，4、机盖，5、轴杆，6、第一螺栓，7、弧形电热板，8、玻璃管道，9、卡环，10、抽气玻璃管道，11、真空泵，12、进气塞，13、第二螺栓，14、出气塞，15、钩杆，16、承载箱，17、玻璃托盘。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种便于控制温度的化学气相沉积装置，根据图1和图2所示，化学气相沉积装置主体1的前端面固定有控制面板3，且化学气相沉积装置主体1的顶部转动连接有机盖4，同时机盖4通过第一螺栓6固定在化学气相沉积装置主体1上，化学气相沉积装置主体1的底部螺纹连接有垫块2，且垫块2设置有四个，同时四个垫块2关于化学气相沉积装置主体1的竖直中轴线对称设置，在使用该装置之前可手动上下拧动垫块2，方便调节四个垫块2之间的高度差，使该装置能够平稳的放置在所需地点，机盖4通过轴杆5转动连接在化学气相沉积装置主体1的顶部，拧松第一螺栓6之后可在轴杆5
的作用下转动并打开机盖4上，安放好玻璃管道8之后可关上机盖4并利用第一螺栓6固定好机盖4，方便限位住玻璃管道8。
[0026]根据图1、图2和图3所示，玻璃管道8贯穿两个弧形电热板7之间，且两个弧形电热板7分别固定在化学气相沉积装置主体1的顶部和机盖4的底部，玻璃管道8的外侧固定有卡环9，且卡环9卡合连接在化学气相沉积装置主体1与机盖4之间，安放好玻璃管道8并关上机盖4之后，卡环9卡合连接在化学气相沉积装置主体1与机盖4之间，方便起到加强稳定的作用，玻璃管道8一端的底部固定有抽气玻璃管道10，且抽气玻璃管道10的底部通过螺母固定有真空泵11，同时真空泵11固定在化学气相沉积装置主体1的一侧，玻璃管道8的一端通过第二螺栓13固定有进气塞12，且玻璃管道8的另一端通过管箍固定有出气塞14，钩杆15卡放在机盖4顶部的一侧，且机盖4顶部的中间处固定有承载箱16，同时承载箱16内放置有玻璃托盘17，将盛有材料的玻璃托盘17放到玻璃管道8内后可利用钩杆15将玻璃托盘17推动伸入到玻璃管道8内，工作结束之后可利用钩杆15将玻璃托盘17从玻璃管道8内钩拉出来。
[0027]工作原理：在使用该便于控制温度的化学气相沉积装置时，首先将该装置放置在所需地点，再手动上下拧动垫块2，以此调节四个垫块2之间的高度差，使该装置放置平稳，接通至本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种便于控制温度的化学气相沉积装置，包括化学气相沉积装置主体(1)、玻璃管道(8)和钩杆(15)，其特征在于：所述化学气相沉积装置主体(1)的前端面固定有控制面板(3)，且化学气相沉积装置主体(1)的顶部转动连接有机盖(4)，同时机盖(4)通过第一螺栓(6)固定在化学气相沉积装置主体(1)上；所述玻璃管道(8)贯穿两个弧形电热板(7)之间，且两个弧形电热板(7)分别固定在化学气相沉积装置主体(1)的顶部和机盖(4)的底部，所述玻璃管道(8)一端的底部固定有抽气玻璃管道(10)，且抽气玻璃管道(10)的底部通过螺母固定有真空泵(11)，同时真空泵(11)固定在化学气相沉积装置主体(1)的一侧，所述玻璃管道(8)的一端通过第二螺栓(13)固定有进气塞(12)，且玻璃管道(8)的另一端通过管箍固定有出气塞(14)。2.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：李波，王军，徐梦晨，
申请(专利权)人：江苏应材微机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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