一种便于控制温度的化学气相沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种便于控制温度的化学气相沉积装置，包括化学气相沉积装置主体、玻璃管道和钩杆，所述玻璃管道贯穿两个弧形电热板之间，所述玻璃管道一端的底部固定有抽气玻璃管道，所述玻璃管道的一端通过第二螺栓固定有进气塞，且玻璃管道的另一端通过管箍固定有出气塞。该便于控制温度的化学气相沉积装置，打开机盖之后可将玻璃管道放置在化学气相沉积装置主体上，关上机盖并拆下出气塞之后可将盛放铜箔的玻璃托盘放入玻璃管道内，随后可利用钩杆将玻璃托盘伸入到玻璃管道内，固定好出气塞之后可利用真空泵抽走玻璃管道内的气体，向玻璃管道内通入氩气之后可利用弧形电热板对玻璃管道进行加热处理，通过操作控制面板可控制好加热温度。可控制好加热温度。可控制好加热温度。

【技术实现步骤摘要】
一种便于控制温度的化学气相沉积装置


[0001]本技术涉及化学气相沉积装置相关
，具体为一种便于控制温度的化学气相沉积装置。

技术介绍

[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，为了在铜箔的表面生成石墨烯，则需要使用到化学气相沉积装置。
[0003]现有的化学气相沉积装置在使用之前不便调整好其稳定性，且不便精准的控制加热温度，内部组件的稳定性不够，针对上述问题，需要对现有的设备进行改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种便于控制温度的化学气相沉积装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的化学气相沉积装置在使用之前不便调整好其稳定性，且不便精准的控制加热温度，内部组件的稳定性不够的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于控制温度的化学气相沉积装置，包括化学气相沉积装置主体、玻璃管道和钩杆，
[0006]所述化学气相沉积装置主体的前端面固定有控制面板，且化学气相沉积装置主本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于控制温度的化学气相沉积装置，包括化学气相沉积装置主体(1)、玻璃管道(8)和钩杆(15)，其特征在于：所述化学气相沉积装置主体(1)的前端面固定有控制面板(3)，且化学气相沉积装置主体(1)的顶部转动连接有机盖(4)，同时机盖(4)通过第一螺栓(6)固定在化学气相沉积装置主体(1)上；所述玻璃管道(8)贯穿两个弧形电热板(7)之间，且两个弧形电热板(7)分别固定在化学气相沉积装置主体(1)的顶部和机盖(4)的底部，所述玻璃管道(8)一端的底部固定有抽气玻璃管道(10)，且抽气玻璃管道(10)的底部通过螺母固定有真空泵(11)，同时真空泵(11)固定在化学气相沉积装置主体(1)的一侧，所述玻璃管道(8)的一端通过第二螺栓(13)固定有进气塞(12)，且玻璃管道(8)的另一端通过管箍固定有出气塞(14)。2.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：李波，王军，徐梦晨，
申请(专利权)人：江苏应材微机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：