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本实用新型公开了一种便于控制温度的化学气相沉积装置，包括化学气相沉积装置主体、玻璃管道和钩杆，所述玻璃管道贯穿两个弧形电热板之间，所述玻璃管道一端的底部固定有抽气玻璃管道，所述玻璃管道的一端通过第二螺栓固定有进气塞，且玻璃管道的另一端通过管...
该专利属于江苏应材微机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏应材微机电科技有限公司授权不得商用。

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