江苏应材微机电科技有限公司专利技术

江苏应材微机电科技有限公司共有24项专利

  • 本发明提供了一种机电设备运输台,涉及机电设备运输技术领域,包括支架和运输机构,所述运输机构包括:支撑板、固定块、滑轮、固定框、驱动组件、固定架、固定板、限位组件、调节组件和连接组件;所述支撑板位于所述支架内侧为水平状,通过驱动组件可实现...
  • 本发明提供了一种机电物料提升机,涉及物料输送技术领域,包括安装座,所述安装座的底部设有移动轮机构,安装座上设有输送壳机构,输送壳机构上设有输送机构和收集壳,安装座和输送壳机构之间设有驱动杆机构,安装座上设有放置箱机构,放置箱机构上设有振...
  • 本发明适用于机电设备输送技术领域,提供了一种机电设备移动架,包括移动架,所述移动架的底部安装有滚轮,还包括:升降板
  • 本发明公开了一种半导体加工设备及其加工工艺,属于半导体加工设备技术领域,其包括加工机构、传递机构和防尘机构,加工机构包括后端板,后端板的前端中心位置装有主支撑架,主支撑架的前端装有限位架,限位架的外表面设置有调节架,通过电机的运作带动偏...
  • 本实用新型公开了一种具有空气净化功能的涂胶显影机,包括箱体和底座,所述箱体一侧设置有玻璃窗,所述涂料室底部设置有第一电机,所述箱体内侧壁上设置有第一支架,所述箱体一侧设置有进风风扇和出风风扇,所述箱体另一侧设置有第一电动升缩杆,所述底座...
  • 本实用新型公开了一种便于控制温度的化学气相沉积装置,包括化学气相沉积装置主体、玻璃管道和钩杆,所述玻璃管道贯穿两个弧形电热板之间,所述玻璃管道一端的底部固定有抽气玻璃管道,所述玻璃管道的一端通过第二螺栓固定有进气塞,且玻璃管道的另一端通...
  • 本实用新型公开了一种便于清理的化学气象沉积设备,包括反应箱、箱盖和排气管,所述反应箱内部安装有电离箱,且电离箱的上端一侧安装有卡座,同时电离箱底部中间安装有供应管,所述箱盖通过螺钉与反应箱上端连接,所述排气管安装在反应箱一侧上端,且排气...
  • 本实用新型公开了一种芯片加工用化学气象沉积装置,包括气象沉积装置主体和放料口,所述气象沉积装置主体内设置有设备座,且设备座的顶部设置有加热座,所述加热座内设置有加热组件,且加热组件的顶部连接有固定导热板,所述气象沉积装置主体的一侧连接有...
  • 本实用新型公开了一种可调式化学气象沉淀设备,包括连接板、手轮螺纹杆和移动减震装置,所述连接板一侧开设有配套槽,且连接板一侧贯穿开设有螺纹孔,所述连接板另一侧与机体固定连接,所述手轮螺纹杆贯穿螺纹孔固定有抵块,所述抵块一侧镶嵌固定有橡胶垫...
  • 本发明公开了一种成品半导体测定装置及其测定方法,属于半导体测定装置技术领域,其包括测定机构、校准机构、传送机构和存放机构,测定机构包括下框架,下框架的后端转动连接有上框架和一号电动伸缩杆,通过二号电动伸缩杆的收缩,带动折角架进而带动空心...
  • 本实用新型公开了一种具有冷却功能的等离子刻蚀机,包括刻蚀机本体、过滤座和冷却机构,所述刻蚀机本体内部中间安装有隔板,且隔板下端中间设置有电机,同时电机的输出端贯穿隔板与转盘底部连接,所述刻蚀机本体内部底端安装有射频电源器,所述连接管上端...
  • 本发明公开了一种半导体材料预处理设备,属于预处理设备技术领域,其包括过筛机构、处理机构和循环结构,过筛机构包括支撑台,支撑台的上表面装有收集框和支撑架,通过一号电机的正反向运作,带动滚筒旋转,进而带动履带运作,使得过筛筒沿轴承的转动轨迹...
  • 本实用新型公开了一种具有废水循环使用功能的涂胶显影机,包括机体、收集箱、第一抽水泵、输送管、支管、进水管、第二抽水泵和过滤装置,所述机体下方安装有活动轮,所述收集箱一侧镶嵌固定有双向管道连接头,所述第一抽水泵一端安装有连接管,所述连接管...
  • 本实用新型公开了一种方便清洁的涂胶显影机,包括显影机本体、第二吸风机、第二过滤板和连通管,所述显影机本体的内部上方设置有顶腔,且顶腔的底部设置有格栅,所述显影机本体的侧上方设置有处理箱,且处理箱的外侧安装有第一吸风机,所述处理箱的内部安...
  • 本实用新型公开了一种半导体芯片生产用加热均匀的等离子刻蚀机,包括底座、输送机构、废气处理组件和控制箱,所述底座上侧固定有第一清洁组件和刻蚀加工箱,且第一清洁组件位于刻蚀加工箱一侧,同时第一清洁组件内部上侧固定有位置调节机构,所述位置调节...
  • 本实用新型公开了一种方便收集反应物的芯片加工用等离子刻蚀机,包括箱体和第一液压缸,所述箱体的内部设置有底座,且底座内设置有真空泵,同时真空泵与第一进气管道连接,所述底座顶部设置有加工槽,且加工槽内设置有加工台,所述第一液压缸的一端与箱体...
  • 本实用新型公开了一种半导体芯片生产用等离子刻蚀机,包括底座、马达、吸尘器和开口启闭控制机构,所述底座下端面的两侧对称固定有垫块,所述气泵的一侧通过连接管道与吹风通道相连接,所述支架的两侧内壁上对称固定有固定架,且固定架之间转动连接有滚筒...
  • 本实用新型公开了一种便于控温的涂胶显影机,包括基座、加工仓、控制面板和安装转盘,所述基座包括内腔、转轴、第一锥齿、第二锥齿和驱动电机,所述基座的内部开设有内腔,所述基座内纵向贯穿安装有转轴,所述转轴底部安装有第一锥齿,所述内腔内安装有驱...
  • 本实用新型公开了一种半导体芯片加工用涂胶显影机台,包括底座和第二支架,所述第一支架顶部的一侧通过电动伸缩杆与第一电动伸缩柱相连接,所述第二支架固定在底座上,所述第二支架的顶部转动连接有转架,所述底座上端面的另一侧设置有第二传送带装置。该...
  • 本实用新型公开了一种半导体芯片用可去除异味的涂胶显影机,包括机身、电动滑轨和涂胶机构,所述机身一侧设有控制面板,且机身上方设有工作台,所述电动滑轨设置在工作台上方,且电动滑轨与滑块滑动连接,同时滑块上方设有芯片放置平台,所述涂胶机构设置...