一种可调式化学气象沉淀设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调式化学气象沉淀设备，包括连接板、手轮螺纹杆和移动减震装置，所述连接板一侧开设有配套槽，且连接板一侧贯穿开设有螺纹孔，所述连接板另一侧与机体固定连接，所述手轮螺纹杆贯穿螺纹孔固定有抵块，所述抵块一侧镶嵌固定有橡胶垫，该可调式化学气象沉淀设备设置有手轮螺纹杆，通过手动旋转手轮螺纹杆带动抵块运动，并且通过抵块与连接板相对运动过程中从而改变整体连接板与地面之间的高度距离，这样不仅方便整体设备移动于相应位置进行稳定放置安装处理还方便不同操作者对整体设备操作高度进行调节处理，从而使整体适应不同操作者进行操作。而使整体适应不同操作者进行操作。而使整体适应不同操作者进行操作。

【技术实现步骤摘要】
一种可调式化学气象沉淀设备


[0001]本技术涉及化学气象沉淀设备
，具体为一种可调式化学气象沉淀设备。

技术介绍

[0002]化学气相沉积(CVD)技术是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术，在典型的CVD工艺过程中，把一种或多种蒸汽源原子或分子引入腔室中，在外部能量作用下发生化学反应并在衬底表面形成需要的薄膜，由于CVD技术具有成膜范围广、重现性好等优点，被广泛用于多种不同形态的成膜，先后完成了PECVD、APCVD、LPCVD、ALD等设备的开发，致力于为集成电路、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏等领域提供各种类型的CVD设备，而现有的化学气象沉淀设备底部虽然安装有活动轮，但是活动轮与设备底部直安装连接处理，从而导致活动轮运动过程中产生的震动直接传递于设备内部零件上，同时导致设备内部零件容易出现共振的情况。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种可调式化学气象沉淀设备，以解决上述
技术介绍
中提出通过现有的化学气象沉淀设备底部虽然安装有活动轮，但是活动轮与设备底部直安装连接处理，从而导致活动轮运动过程中产生的震动直接传递于设备内部零件上，同时导致设备内部零件容易出现共振的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可调式化学气象沉淀设备，包括连接板、手轮螺纹杆和移动减震装置，所述连接板一侧开设有配套槽，且连接板一侧贯穿开设有螺纹孔，所述连接板另一侧与机体固定连接，所述手轮螺纹杆贯穿螺纹孔固定有抵块，所述抵块一侧镶嵌固定有橡胶垫；
[0005]通过采用上述技术方案，设有橡胶垫，通过橡胶垫从而增加与地面之间的摩擦力，同时避免抵块与地面接触过程中存在的摩擦力较低，依次容易导致整体设备受力进行移动处理情况；
[0006]用于机体移动减震的所述移动减震装置与连接板底部相连接。
[0007]优选的，所述移动减震装置包括有滑板、连接杆、缓冲弹簧、滑筒、安装板、单孔连接件、蜂巢轮、T形杆、凹块和配套块，所述滑板一侧与连接杆一端固定连接，且滑板另一侧与缓冲弹簧一端固定连接，所述缓冲弹簧另一端与滑筒固定连接，所述安装板贯穿开设有通孔，且安装板一侧与连接杆另一端固定连接，所述单孔连接件一端通过轴承连接杆与蜂巢轮转动连接，且单孔连接件另一端与安装板另一侧固定连接，所述T形杆一端贯穿通孔与凹块一侧固定连接，所述滑筒与凹块一侧固定连接，所述凹块另一侧固定有配套块，且凹块通过配套块安装于连接板底部。
[0008]通过采用上述技术方案，设有蜂巢轮，通过蜂巢轮用蜂巢结构这样不仅起到减震作用，而且蜂巢轮有很高的承重能力和抵御能力，从而延长蜂巢轮的使用寿命的情况。
[0009]优选的，所述配套槽与配套块之间的连接缝隙范围为0.5
‑
1cm。
[0010]通过采用上述技术方案，设有配套槽，通过配套槽从而起到配套连接的效果，并且通过配套槽从而方便配套块的快速安装和拆卸处理。
[0011]优选的，所述螺纹孔、手轮螺纹杆和抵块构成旋转调节机构，且旋转调节机构旋转角度范围为0
‑
360
°
。
[0012]通过采用上述技术方案，设有抵块，通过抵块起到固定支撑和限位运动的效果。
[0013]优选的，所述滑板、连接杆、缓冲弹簧、滑筒、安装板、单孔连接件和蜂巢轮构成压缩缓冲机构，且压缩缓冲机构压缩距离范围为0
‑
5cm。
[0014]通过采用上述技术方案，设有安装板，通过安装板不仅起到双向连接的效果，并且通过安装板起到贯穿连接的效果。
[0015]优选的，所述凹块与配套块连接形状呈凸块形。
[0016]通过采用上述技术方案，设有凹块，通过凹块不仅起到固定连接和安装连接的效果，并且通过凹块从而方便将相应零件安装于凹块凹槽内部，同时避免零件直接与连接板进行固定连接处理的效果。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该可调式化学气象沉淀设备，
[0018](1)设置有移动减震装置，通过手动推动机体运动过程中带动连接板运动，并且通过连接板带动凹块运动，同时通过凹块带动蜂巢轮运动，依次通过蜂巢轮运动过程中带动安装板上下运动，安装板上下运动过程中带动连接杆同向运动，并且通过连接板运动过程中带动滑行于滑筒内部上下运动从而挤压缓冲弹簧，同时通过缓冲弹簧进行压缩和缓冲恢复过程中进行缓冲减震处理，从而避免现有的化学气象沉淀设备底部虽然安装有活动轮，但是活动轮与设备底部直安装连接处理，从而导致活动轮运动过程中产生的震动直接传递于设备内部零件上，同时导致设备内部零件容易出现共振的情况，通过移动减震装置中的缓冲弹簧和蜂巢轮同向运动过程中从而对整体设备起到双重缓冲保护的效果；
[0019](2)设置有连接板，通过连接板不仅方便机体的安装固定处理，并且通过连接板从而方便将与机体工作过程中需要的设备一同放置于连接板上进行移动输送处理，从而避免整体设备移动过程中还需要手动将连接设备与机体进行拆卸分离输送处理，这样不仅麻烦还降低整体工作效率的情况；
[0020](3)设置有手轮螺纹杆，通过手动旋转手轮螺纹杆带动抵块运动，并且通过抵块与连接板相对运动过程中从而改变整体连接板与地面之间的高度距离，这样不仅方便整体设备移动于相应位置进行稳定放置安装处理还方便不同操作者对整体设备操作高度进行调节处理，从而使整体适应不同操作者进行操作。
附图说明
[0021]图1为本技术正视剖面结构示意图；
[0022]图2为本技术连接板俯视结构示意图；
[0023]图3为本技术移动减震装置结构示意图。
[0024]图中：1、连接板，2、配套槽，3、螺纹孔，4、机体，5、手轮螺纹杆，6、抵块，7、移动减震装置，701、滑板，702、连接杆，703、缓冲弹簧，704、滑筒，705、安装板，706、单孔连接件，707、蜂巢轮，708、T形杆，709、凹块，710、配套块。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种可调式化学气象沉淀设备，如图2所示，连接板1一侧开设有配套槽2，配套槽2与配套块710之间的连接缝隙范围为0.5
‑
1cm，如果配套槽2与配套块710之间的连接缝隙范过大虽然可以方便快速的将配套槽2与配套块710进行连接安装处理，从而导致配套槽2与配套块710之间存在的连接缝隙较大，同时导致配套块710于配套槽2内部处于晃动的情况，依次导致连接板1受力运动过程中配套槽2无法带动配套块7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调式化学气象沉淀设备，包括连接板(1)、手轮螺纹杆(5)和移动减震装置(7)，其特征在于：所述连接板(1)一侧开设有配套槽(2)，且连接板(1)一侧贯穿开设有螺纹孔(3)，所述连接板(1)另一侧与机体(4)固定连接，所述手轮螺纹杆(5)贯穿螺纹孔(3)固定有抵块(6)，所述抵块(6)一侧镶嵌固定有橡胶垫；用于机体(4)移动减震的所述移动减震装置(7)与连接板(1)底部相连接。2.根据权利要求1所述的一种可调式化学气象沉淀设备，其特征在于：所述移动减震装置(7)包括有滑板(701)、连接杆(702)、缓冲弹簧(703)、滑筒(704)、安装板(705)、单孔连接件(706)、蜂巢轮(707)、T形杆(708)、凹块(709)和配套块(710)，所述滑板(701)一侧与连接杆(702)一端固定连接，且滑板(701)另一侧与缓冲弹簧(703)一端固定连接，所述缓冲弹簧(703)另一端与滑筒(704)固定连接，所述安装板(705)贯穿开设有通孔，且安装板(705)一侧与连接杆(702)另一端固定连接，所述单孔连接件(706)一端通过轴承连接杆与蜂巢轮(707)转动连接，且单孔连接件(706)另一端与安装板(705)...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵一凡，傅仁宏，徐梦晨，
申请(专利权)人：江苏应材微机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：