晶圆传输装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶圆制造设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆传输装置。所述晶圆传输装置，包括：直线移动机构、旋转机构和机械手指机构；所述旋转机构包括旋转支撑座、旋转驱动组件和旋转连接件，所述旋转支撑座与所述直线移动机构连接，所述旋转驱动组件与所述旋转支撑座连接，所述旋转驱动组件与所述旋转连接件传动连接；所述机械手指机构包括底座和多个伸缩手指结构；所述伸缩手指结构包括机械手指和伸缩驱动组件，所述底座与所述旋转连接件连接，所述伸缩驱动组件与所述底座连接，多个所述伸缩驱动组件与多个所述机械手指一一对应传动连接；所述直线移动机构驱动所述旋转支撑座的运动方向，与所述伸缩驱动组件驱动所述机械手指运动的方向不同。动的方向不同。动的方向不同。

【技术实现步骤摘要】
晶圆传输装置


[0001]本专利技术涉及晶圆制造设备
，尤其是涉及一种晶圆传输装置。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆制造过程中，需要在多个腔室对晶圆进行处理，不同腔室进行不同的工艺，不同工艺需要采用不同药水，或者有腔室的工艺是在湿润条件下对晶圆进行加工，有腔室是对晶圆进行干燥，传统的晶圆传输装置存在的问题是，采用机械手指将晶圆送入不同腔室或者有不同腔室取出，容易导致多腔室之间产生交叉污染，晶圆的良率低。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种晶圆传输装置，以在一定程度上解决现有技术中存在的多腔室之间产生交叉污染，晶圆的良率低技术问题。
[0004]本专利技术提供了一种晶圆传输装置，包括：直线移动机构、旋转机构和机械手指机构；所述旋转机构包括旋转支撑座、旋转驱动组件和旋转连接件，所述旋转支撑座与所述直线移动机构连接，所述旋转驱动组件与所述旋转支撑座连接，所述旋转驱动组件与所述旋转连接件传动连接；所述机械手指机构包括底座和多个伸缩手指结构；所述伸缩手指结构包括机械手指和伸缩驱动组件，所述底座与所述旋转连接件连接，所述伸缩驱动组件与所述底座连接，多个所述伸缩驱动组件与多个所述机械手指一一对应传动连接；所述直线移动机构驱动所述旋转支撑座的运动方向，与所述伸缩驱动组件驱动所述机械手指运动的方向不同。
[0005]直线移动机构工作可以带动旋转支撑座沿第一方向往复直线运动，从而带动整个旋转支撑座相应运动，进而带动机械手指机构相应运动；旋转驱动组件工作可以带动旋转连接件转动，从而带动底座旋转，进而带动整个机械手指机构转动；多个伸缩驱动组件工作可以带动多个相应的机械手指沿第二方向直线往复运动，第一方向和第二方向不同(较佳的，第一方向和第二方向垂直)也即，在本实施例提供的晶圆传输装置可以同时实现机械手指在第一方向上移动、旋转角度以及在第二方向上移动，可以快速使得相应的机械手指到达目标腔室处，从而将晶圆送入该腔室或者由该腔室取出晶圆。多个伸缩驱动组件与多个机械手指一一对应连接，则每个机械手指均可以得到独立的伸缩驱动组件驱动，多个伸缩手指结构设置可以实现：多个机械手指可以对应多个腔室，避免同一个机械手指将晶圆在不同腔室之间传输，从而避免不同腔室之间的交叉污染，提高了晶圆的良率，也提高了晶圆的传输效率；或者，多个机械手指可以实现干湿分离，例如，有机械手指对应传输湿的晶圆，有机械手指对应传输干燥晶圆。
[0006]进一步地，所述直线移动机构包括移动驱动组件、相对间隔设置的导轨底板和拖链底板；所述拖链底板上设有拖链，所述导轨底板上设有导轨；所述旋转机构还包括连接在所述旋转支撑座的一侧的转接盒，所述转接盒与所述拖链连接，所述旋转支撑座通过支撑座滑块滑设在所述导轨上，所述移动驱动组件与所述滑块传动连接；在所述导轨的长度方
向上，所述导轨的两端均设有移动部限位件。
[0007]进一步地，所述旋转支撑座内形成有安装腔，所述旋转驱动组件安装在所述安装腔内；所述旋转连接件包括转动设置在所述安装腔内的旋转连接筒，所述旋转机构还包括转动设置在所述安装腔内的线管护套；所旋转连接筒的一端与所述底座连接，所述旋转连接筒的另一端与所述线管护套连接；所述旋转驱动组件与所述旋转连接筒传动连接。
[0008]进一步地，所述安装腔内固定有轴承座；所述旋转连接件还包括轴承、旋转套、轴承内圈压套和轴承外圈压套；所述轴承安装在所述轴承座内，所述旋转套套设在所述线管护套外，所述轴承套设在旋转套外；所述轴承内圈压套套设在所述线管护套的远离所述旋转连接筒的一端，所述旋转套的一端与所述轴承内圈压套连接，所述旋转套的另一端与所述旋转连接筒固定连接；所述轴承外圈压套套设在所述旋转套外，且与轴承座连接所述旋转驱动组件与所述轴承内圈压套传动连接。
[0009]进一步地，所述旋转机构还包括旋转部限位件；所述旋转部限位件与所述旋转连接筒连接，以限制所述旋转连接筒的旋转角度。
[0010]进一步地，所述伸缩驱动组件包括伸缩部电机、伸缩部主动轮、伸缩部同步带和伸缩部从动轮；所述伸缩部电机与所述伸缩部主动轮连接，所述伸缩部从动轮在所述底座的长度方向上与所述伸缩部主动轮间隔设置，所述伸缩部同步带连接在所述伸缩部主动轮和所述伸缩部从动轮之间；所述机械手指包括传输板、支板、伸缩部滑块和伸缩部滑轨；所述支板与所述传输板连接，所述伸缩部滑块与所述支板连接，所述伸缩部滑块滑设在所述伸缩部滑轨上；所述伸缩部滑块与所述伸缩部同步带连接。
[0011]进一步地，两个所述伸缩手指结构为一组，其中，一个所述伸缩手指结构为第一伸缩手指结构，另一个所述伸缩手指结构为第二伸缩手指结构；所述第二伸缩手指结构设置在所述第一伸缩手指结构的内侧，所述第二伸缩手指结构的所述传输板能够位于所述第一伸缩手指结构的所述传输板下方；
[0012]所述第二伸缩手指结构还包括中间板；在所述第二伸缩手指结构中，所述中间板的一端与所述支板连接，另一端分别与所述伸缩部滑块和所述伸缩部同步带连接；所述中间板与所述底座之间形成有间隔，所述第一伸缩结构的伸缩驱动同步带穿过所述间隔。
[0013]进一步地，所述机械手指还包括连接在所述传输板和所述支板之间的手指连接板，所述手指连接板分别与所述传输板和所述支板之间设有角度；在所述底座的厚度方向上，多个所述传输板能够重合。
[0014]进一步地，所述传输板的前端设有通孔，所述传输板通过压板与所述手指连接板连接，所述压板上设有气嘴；所述晶圆传输装置还包括均与所述旋转支撑座连接的真空部和反吹部；所述真空部和所述反吹部均与所述气嘴连通，所述气嘴通过连通管道与所述通孔连通。
[0015]进一步地，所述晶圆传输装置还包括导流管，所述导流管的一端与旋转支撑座连接；所述底座的上侧设有安装所述伸缩手指结构的上凹槽，所述上凹槽的上开口覆盖有导流板，所述导流板上设有导流孔；所述导流管通过导流连通管道与所述导流孔连通。
[0016]进一步地，所述晶圆传输装置还包括设置在底座上的扫描传感器，以对晶圆的数量和片层进行扫描。
[0017]应当理解，前述的一般描述和接下来的具体实施方式两者均是为了举例和说明的
目的并且未必限制本公开。并入并构成说明书的一部分的附图示出本公开的主题。同时，说明书和附图用来解释本公开的原理。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本专利技术实施例的晶圆传输装置的俯视图；
[0020]图2为图1所示的晶圆传输装置的第一视角的侧视图；
[0021]图3为图1所示的晶圆传输装置的第二视角的侧视图；
[0022]图4为图1所示的晶圆传输装置中旋转机构和机械手指机构的切面图；
[0023]图5为图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆传输装置，其特征在于，包括：直线移动机构(1)、旋转机构(2)和机械手指机构(3)；所述旋转机构(2)包括旋转支撑座、旋转驱动组件和旋转连接件，所述旋转支撑座与所述直线移动机构(1)连接，所述旋转驱动组件与所述旋转支撑座连接，所述旋转驱动组件与所述旋转连接件传动连接；所述机械手指机构(3)包括底座(301)和多个伸缩手指结构；所述伸缩手指结构包括机械手指和伸缩驱动组件，所述底座(301)与所述旋转连接件连接，所述伸缩驱动组件与所述底座(301)连接，多个所述伸缩驱动组件与多个所述机械手指一一对应传动连接；所述直线移动机构(1)驱动所述旋转支撑座的运动方向，与所述伸缩驱动组件驱动所述机械手指运动的方向不同。2.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述直线移动机构(1)包括移动驱动组件、相对间隔设置的导轨底板(101)和拖链底板(102)；所述拖链底板(102)上设有拖链(104)，所述导轨底板(101)上设有导轨(103)；所述旋转机构(2)还包括连接在所述旋转支撑座的一侧的转接盒(201)，所述转接盒(201)与所述拖链(104)连接，所述旋转支撑座通过支撑座滑块(202)滑设在所述导轨(103)上，所述移动驱动组件与所述滑块传动连接；在所述导轨(103)的长度方向上，所述导轨(103)的两端均设有移动部限位件。3.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述旋转支撑座内形成有安装腔(203)，所述旋转驱动组件安装在所述安装腔(203)内；所述旋转连接件包括转动设置在所述安装腔(203)内的旋转连接筒(204)，所述旋转机构(2)还包括转动设置在所述安装腔(203)内的线管护套(205)；所旋转连接筒(204)的一端与所述底座(301)连接，所述旋转连接筒(204)的另一端与所述线管护套(205)连接；所述旋转驱动组件与所述旋转连接筒(204)传动连接。4.根据权利要求3所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述安装腔(203)内固定有轴承座(209)；所述旋转连接件还包括轴承(211)、旋转套(212)、轴承内圈压套(213)和轴承外圈压套(214)；所述轴承(211)安装在所述轴承座(209)内，所述旋转套(212)套设在所述线管护套(205)外，所述轴承(211)套设在旋转套(212)外；所述轴承内圈压套(213)套设在所述线管护套(205)的远离所述旋转连接筒(204)的一端，所述旋转套(212)的一端与所述轴承内圈压套(213)连接，所述旋转套(212)的另一端与所述旋转连接筒(204)固定连接；所述轴承外圈压套(214)套设在所述旋转套(212)外，且与所述轴承座(209)连接；所述旋转驱动组件与所述轴承内圈压套(213)传动连接。5.根据权利要求4所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述旋转机构(2)还包括旋转部限位件；所述旋转部限位件与所述旋转连接筒(204)连接，以限制所述旋转连接筒(204)的旋转角度。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：边晓东，何川，高津平，郭育彭，王亮，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：