一种防震型晶圆研磨机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防震型晶圆研磨机，包括研磨机主体，所述研磨机主体的下端四角均固定连接有防震结构，所述研磨机主体的前端上部和后端上部均开有倾斜槽，两个所述倾斜槽相连通，所述研磨机主体的上端中部固定连接有吸盘，所述吸盘位于两个倾斜槽内，所述研磨机主体的上端左部和上端右部共同高度连接有凹型架，所述凹型架的上端中部固定连接有伸缩器，所述伸缩器的输出端贯穿凹型架并固定连接有研磨结构。本实用新型专利技术所述的一种防震型晶圆研磨机，通过设置防震结构和研磨结构，减少晃动的幅度，避免研磨机减震移动时出现磨损，避免研磨机在调节研磨高度时出现倾斜或偏移的现象，使研磨机自动清洁效果较好，避免废料清理时堵塞或藏垢。时堵塞或藏垢。时堵塞或藏垢。

【技术实现步骤摘要】
一种防震型晶圆研磨机


[0001]本技术涉及研磨机
，特别涉及一种防震型晶圆研磨机。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，在晶圆加工时需要对晶圆表面进行研磨，通常使用研磨机对晶圆进行研磨。
[0003]现有的晶圆研磨机具有以下不足：1、现有的晶圆研磨机震动时，晃动幅度过大，导致晶圆研磨机的稳定性较弱，且在震动时，当研磨机晃动到最大值时容易对研磨机造成磨损，缩短晶圆研磨机的使用寿命；2、现有的晶圆研磨机使用时，研磨机在调节研磨高度时，缺少较好的限位结构，在调节研磨高度时容易出现倾斜或偏移的现象，影响研磨机的精准度，研磨后的废料清理时，容易堵塞或藏垢，故此，我们提出一种新型的防震型晶圆研磨机。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种防震型晶圆研磨机，可以有效解决
技术介绍
中晃动幅度过大，导致晶圆研磨机的稳定性较弱，且在震动时，当研磨机晃动到最大值时容易对研磨机造成磨损，调节研磨高度时容易出现倾斜或偏移的现象，影响研磨机的精准度，研磨后的废料清理时，容易堵塞或藏垢的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种防震型晶圆研磨机，包括研磨机主体，所述研磨机主体的下端四角均固定连接有防震结构，所述研磨机主体的前端上部和后端上部均开有倾斜槽，两个所述倾斜槽相连通，所述研磨机主体的上端中部固定连接有吸盘，所述吸盘位于两个倾斜槽内，所述研磨机主体的上端左部和上端右部共同高度连接有凹型架，所述凹型架的上端中部固定连接有伸缩器，所述伸缩器的输出端贯穿凹型架并固定连接有研磨结构，所述研磨结构的位置与吸盘的位置相对应，所述研磨机主体的右端前部固定连接有操控开关。
[0007]优选的，所述防震结构包括T型板，所述T型板的外表面上部固定连接有支撑板，所述T型板的左端和右端分别固定连接有硅胶垫和一组阻尼弹簧，所述阻尼弹簧远离T型板的一端固定连接有支架，所述支架的上端开有T型槽，在研磨机振动时，通过阻尼弹簧的伸缩，T型板位于T型槽内平衡移动，活动轮位于支架内的滑轨内移动，使晶圆研磨机减少晃动的幅度，防震效果较好。
[0008]优选的，所述T型板和支撑板的上端均与研磨机主体固定连接，所述T型板、硅胶垫和阻尼弹簧均位于T型槽内，且T型板的下端活动连接有一组活动轮，所述活动轮与支架活动连接，在防震时不影响晶圆研磨的正常工作，在研磨机主体减震时，T型板位于T型槽内移动到阻尼弹簧另一端的最大值时，硅胶垫接触支架，避免研磨机减震移动时出现磨损，提高研磨机减震的防护性能，延长晶圆研磨机的使用寿命。
[0009]优选的，所述凹型架的内表面左部和内表面右部分别开有一号限位槽和二号限位
槽，所述一号限位槽和二号限位槽的形状不同，使研磨机在调整研磨高度时的限位性和防偏性较好。
[0010]优选的，所述研磨结构包括固定杆，所述固定杆的外表面左部和外表面右部分别固定连接有一号限位板和二号限位板，所述固定杆的下端固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有连接板，所述连接板的下端固定连接有研磨板和清洁刷，在研磨机对晶圆板研磨时，在调节研磨高度的过程中，通过伸缩器控制固定杆伸缩时，带动一号限位板和二号限位板分别位于一号限位槽和二号限位槽内移动，一号限位板和二号限位板的形状不同，增加研磨机在调节研磨高度时的稳定性和防偏性。
[0011]优选的，所述固定杆的上端与伸缩器的输出端活动连接，所述一号限位板和二号限位板分别位于一号限位槽和二号限位槽内，避免研磨机在调节研磨高度时出现倾斜或偏移的现象，提高研磨机的精准度，且一号限位板和二号限位板的形状不同，所述研磨板位于吸盘的上方，清洁刷的下端面低于研磨板的下端面，研磨板的位置与吸盘的位置相对应，在晶圆研磨机在对晶圆板研磨时，电机控制连接板旋转，带动研磨板对晶圆板研磨，清洁刷跟随旋转使研磨后的粉末推动到倾斜槽排出研磨机，使研磨机自动清洁效果较好，避免废料清理时堵塞或藏垢，减少人工操作强度。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0013]1、本技术中，通过设置防震结构，并在防震结构上的T型板上连接支撑板和硅胶垫，在T型板上连接活动轮和阻尼弹簧，阻尼弹簧能够快速使研磨机震后趋于稳定，在研磨机振动时，通过阻尼弹簧的伸缩，T型板位于T型槽内平衡移动，活动轮位于支架内的滑轨内移动，使晶圆研磨机减少晃动的幅度，防震效果较好，且在防震时不影响晶圆研磨的正常工作，在研磨机主体减震时，T型板位于T型槽内移动到阻尼弹簧另一端的最大值时，硅胶垫接触支架，避免研磨机减震移动时出现磨损，提高研磨机减震的防护性能，延长晶圆研磨机的使用寿命；
[0014]2、本技术中，通过设置研磨结构，并在研磨结构上的固定杆上连接一号限位板和二号限位板，在研磨机对晶圆板研磨时，在调节研磨高度的过程中，通过伸缩器控制固定杆伸缩时，带动一号限位板和二号限位板分别位于一号限位槽和二号限位槽内移动，一号限位板和二号限位板的形状不同，增加研磨机在调节研磨高度时的稳定性和防偏性，避免研磨机在调节研磨高度时出现倾斜或偏移的现象，提高研磨机的精准度，在固定杆上通过电机连接连接板，并在连接板上设置研磨板和清洁刷，清洁刷的下端面低于研磨板的下端面，研磨板的位置与吸盘的位置相对应，在晶圆研磨机在对晶圆板研磨时，电机控制连接板旋转，带动研磨板对晶圆板研磨，清洁刷跟随旋转使研磨后的粉末推动到倾斜槽排出研磨机，使研磨机自动清洁效果较好，避免废料清理时堵塞或藏垢，减少人工操作强度。
附图说明
[0015]图1为本技术一种防震型晶圆研磨机的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术一种防震型晶圆研磨机的防震结构的结构示意图；
[0017]图3为本技术一种防震型晶圆研磨机的凹型架的结构示意图；
[0018]图4为本技术一种防震型晶圆研磨机的研磨结构的结构示意图。
[0019]图中：1、研磨机主体；2、防震结构；3、倾斜槽；4、吸盘；5、凹型架；6、伸缩器；7、研磨
结构；8、操控开关；21、T型板；22、支撑板；23、硅胶垫；24、活动轮；25、阻尼弹簧；26、支架；27、T型槽；51、一号限位槽；52、二号限位槽；71、固定杆；72、一号限位板；73、二号限位板；74、电机；75、连接板；76、研磨板；77、清洁刷。
具体实施方式
[0020]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防震型晶圆研磨机，包括研磨机主体(1)，其特征在于：所述研磨机主体(1)的下端四角均固定连接有防震结构(2)，所述研磨机主体(1)的前端上部和后端上部均开有倾斜槽(3)，两个所述倾斜槽(3)相连通，所述研磨机主体(1)的上端中部固定连接有吸盘(4)，所述吸盘(4)位于两个倾斜槽(3)内，所述研磨机主体(1)的上端左部和上端右部共同高度连接有凹型架(5)，所述凹型架(5)的上端中部固定连接有伸缩器(6)，所述伸缩器(6)的输出端贯穿凹型架(5)并固定连接有研磨结构(7)，所述研磨结构(7)的位置与吸盘(4)的位置相对应，所述研磨机主体(1)的右端前部固定连接有操控开关(8)。2.根据权利要求1所述的一种防震型晶圆研磨机，其特征在于：所述防震结构(2)包括T型板(21)，所述T型板(21)的外表面上部固定连接有支撑板(22)，所述T型板(21)的左端和右端分别固定连接有硅胶垫(23)和一组阻尼弹簧(25)，所述阻尼弹簧(25)远离T型板(21)的一端固定连接有支架(26)，所述支架(26)的上端开有T型槽(27)。3.根据权利要求2所述的一种防震型晶圆研磨机，其特征在于：所述T型板(21)和支撑板(22)的上端均与研磨机主体(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘家铭，吴灿煌，赵凯，苏华庭，
申请(专利权)人：合肥芯测半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：