一种探针卡固持器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种探针卡固持器，包括探针卡，所述探针卡上端前部和上端后部均开有滑槽，两个所述滑槽内均安装有测试装置，所述探针卡左端和右端均安装有固持装置，两个所述固持装置远离探针卡的一端均安装有U形固定板，两个所述U形固定板下端共同安装有安装装置，两个所述U形固定板上端前部均安装有T形卡块。本实用新型专利技术所述的一种探针卡固持器，通过固持装置上卡接的方式将探针卡进行固定，不仅使探针卡便于安装，而且探针卡取出也较为便捷，进而提高了探针卡的安装和拆卸效率，通过测试装置提高了装置的适用性，而且相较于设置多个探针卡来说，本方式不仅节省探针卡，而且也减少装置占据的体积，同时探针卡的调节也更为方便。为方便。为方便。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡固持器


[0001]本技术涉及夹持
，特别涉及一种探针卡固持器。

技术介绍

[0002]在半导体集成电路行业中，在全自动测试系统上进行晶圆的可靠性测试时通常会使用到探针卡来进行辅助测试，探针卡是将探针的一端固定在电路板上，然后再通过电路板与测试机台连接，探针的另一端则与晶圆上的每一块测试单元的探点接触，从而形成一个完整的测试系统。然而在使用探针卡进行辅助测试时，需要使用固持器对探针卡进行固定。
[0003]现有专利(申请号202110225030.2)公开了一种探针卡固持器，包括：底座、升降台、探针卡板、卡板切换结构和卡板连接结构，所述底座上滑动设置有升降台，升降台上设置有卡板切换结构，所述的探针卡板上设置有探针卡，且探针卡板通过卡板连接结构与检测电路连接，通过若干卡板架，形成一个探针卡库，通过升降台的上下移动，实现不同探针卡的选择，通过随升降台移动的卡板切换结构对探针卡板进行取放，取出的探针卡板随着升降台移动至底部后通过卡板连接结构，将探针卡与检测电路连接，由于通过探针卡库和升降台进行选择的方式，使固持器能够在多个探针卡之间进行切换，增加了在检测中固持器的适应性。
[0004]上述专利通过设置多个探针卡板以对不同的晶圆上的测试单元的探点接触，进而提高装置的适应性，但是设置多个探针卡板不仅较为浪费资源，而且在测试不同的单元时又要来回对探针卡板进行切换，较为不便，同时多个探针卡板同时进行夹持也提高了装置的体积，使探针卡板也更容易受到外部的剐蹭，造成损坏；另外当探针卡板出现损坏时，装置也不便进行快速拆卸更换。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种探针卡固持器，可以有效解决多个探针卡板不仅较为浪费资源，而且在测试不同的单元时又要来回对探针卡板进行切换，较为不便；探针卡板出现损坏时，装置也不便进行快速拆卸更换的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0007]一种探针卡固持器，包括探针卡，所述探针卡上端前部和上端后部均开有滑槽，两个所述滑槽内均安装有测试装置，所述探针卡左端和右端均安装有固持装置，两个所述固持装置远离探针卡的一端均安装有U形固定板，两个所述U形固定板下端共同安装有安装装置，两个所述U形固定板上端前部均安装有T形卡块。
[0008]优选的，所述固持装置包括支撑滑块，所述支撑滑块右端安装有两个夹板，两个所述夹板上端前部和上端后部共同安装有固定螺丝，所述U形固定板上内壁和下内壁上均安装有一组弹簧，两组所述弹簧对应的一端均安装有支板，所述U形固定板和支撑滑块上端前部均开有卡槽，所述支撑滑块通过支板安装在U形固定板上内壁和下内壁之间，所述探针卡
上端左部和上端右部均开有两个螺丝孔，所述支撑滑块通过固定螺丝安装在探针卡左端。将支撑滑块推入U形固定板内，而且U形固定板内的弹簧带动支板进行收缩，进而将支撑滑块进行夹紧，待支撑滑块完全推入U形固定板内后，将T形卡块通过卡槽推入支撑滑块内，进一步对支撑滑块进行固定，通过卡接的方式，使探针卡便于安装或者拆卸。
[0009]优选的，所述测试装置包括连接架，所述连接架设置有五个，五个所述连接架右端均开有连接槽，五个所述连接架上端前部均安装有一组探针，五个所述连接架均通过连接槽安装在滑槽内。连接架通过滑槽可在探针卡进行左右滑动，连接架进而带动其上的探针根据需要调节其位置，而且连接架设置有多个，进而提高了装置的适用性。
[0010]优选的，所述安装装置包括一号安装板和二号安装板，所述一号安装板和二号安装板上端前部和上端后部均安装有安装螺丝，所述一号安装板和二号安装板分别安装在两个U形固定板下端。
[0011]优选的，所述T形卡块下端穿过卡槽位于支撑滑块内。
[0012]优选的，所述支撑滑块形状呈H形，所述固定螺丝与螺丝孔位置上下对应。
[0013]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0014]1、探针卡通过其上的螺丝孔固定在固持装置上的两个夹板之间，此时将支撑滑块推入U形固定板内，而且U形固定板内的弹簧带动支板进行收缩，进而将支撑滑块进行夹紧，待支撑滑块完全推入U形固定板内后，将T形卡块通过卡槽推入支撑滑块内，进一步对支撑滑块进行固定，通过卡接的方式，不仅使探针卡便于安装，而且当探针卡需要拆卸时，首先将T形卡块拉出，再将支撑滑块拉出即可将探针卡取出，进而提高了探针卡的安装和拆卸效率。
[0015]2、当探针卡需要对不同的晶圆上的测试单元的探点接触进行测试时，通过测试装置上的连接架通过滑槽可在探针卡进行左右滑动，连接架进而带动其上的探针根据需要调节其位置，而且连接架设置有多个，进而提高了装置的适用性，而且相较于设置多个探针卡来说，本方式不仅节省探针卡，而且也减少装置占据的体积，同时探针卡的调节也更为便捷。
附图说明
[0016]图1为本技术一种探针卡固持器的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术一种探针卡固持器的固持装置的整体结构示意图；
[0018]图3为本技术一种探针卡固持器的测试装置的整体结构示意图；
[0019]图4为本技术一种探针卡固持器的安装装置的整体结构示意图。
[0020]图中：1、探针卡；2、固持装置；3、测试装置；4、安装装置；5、滑槽；6、U形固定板；7、T形卡块；20、支撑滑块；21、夹板；22、固定螺丝；23、弹簧；24、支板；25、卡槽；26、螺丝孔；30、连接架；31、连接槽；32、探针；40、一号安装板；41、二号安装板；42、安装螺丝。
具体实施方式
[0021]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后
端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]如图1
‑
4所示，一种探针卡固持器，包括探针卡1，探针卡1上端前部和上端后部均开有滑槽5，两个滑槽5内均安装有测试装置3，探针卡1左端和右端均安装有固持装置2，两个固持装置2远离探针卡1的一端均安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡固持器，包括探针卡(1)，其特征在于：所述探针卡(1)上端前部和上端后部均开有滑槽(5)，两个所述滑槽(5)内均安装有测试装置(3)，所述探针卡(1)左端和右端均安装有固持装置(2)，两个所述固持装置(2)远离探针卡(1)的一端均安装有U形固定板(6)，两个所述U形固定板(6)下端共同安装有安装装置(4)，两个所述U形固定板(6)上端前部均安装有T形卡块(7)。2.根据权利要求1所述的一种探针卡固持器，其特征在于：所述固持装置(2)包括支撑滑块(20)，所述支撑滑块(20)右端安装有两个夹板(21)，两个所述夹板(21)上端前部和上端后部共同安装有固定螺丝(22)，所述U形固定板(6)上内壁和下内壁上均安装有一组弹簧(23)，两组所述弹簧(23)对应的一端均安装有支板(24)，所述U形固定板(6)和支撑滑块(20)上端前部均开有卡槽(25)，所述支撑滑块(20)通过支板(24)安装在U形固定板(6)上内壁和下内壁之间，所述探针卡(1)上端左部和上端右部均开有两个螺丝孔(26...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘家铭，吴灿煌，张孝仁，苏涛，苏华庭，
申请(专利权)人：合肥芯测半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：