一种硅材料管状零件的夹持机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种硅材料管状零件的夹持机构，包括支杆和两个固定夹，所述支杆沿竖直方向设置，所述支杆在高度方向上设置有多个沿厚度方向贯穿的连接孔，所述固定夹包括连接杆和夹持件，所述连接杆的一端插入所述连接孔与所述支杆可拆卸连接，另一端与所述夹持件连接，所述夹持件适于夹紧硅管。本实用新型专利技术的夹持机构通过支管和固定夹配合，可以将硅管固定并保持在竖直状态，两个固定夹分别夹住硅管的上部和下部，夹持可靠，支杆上设置多个连接孔，相应的固定夹安装高度可调，夹持机构可以与不同长度的硅管适配。与不同长度的硅管适配。与不同长度的硅管适配。

【技术实现步骤摘要】
一种硅材料管状零件的夹持机构


[0001]本技术涉及夹持装置
，具体而言，涉及一种硅材料管状零件的夹持机构。

技术介绍

[0002]硅材料是半导体设备常用的零部件，其中扩散设备会用到许多硅材料管状零件，行业内一般称为硅管。硅管内部不干净就会影响半导体材料的性能，因此需要定期清洗。
[0003]现有技术一般采用酸液浸泡的方式进行清洗，为了使清洗更加充分，会在清洗槽中进行酸液震荡、鼓泡或对流，但这种清洗模式对结构简单的零件较为适用，对于管状零件的清洗效果不佳。为了达到理想的清洗效果，可将硅管竖直放置，将清洗液采用下进上出的方式在硅管内部循环，但在清洗过程中硅管肯定会发生倾斜、移动，因此如何将硅管进行竖直定位，保证清洗顺利进行是亟需解决的问题。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的问题是如何使硅管竖直定位，便于实现清洗液下进上出的清洗方式。
[0005]为解决上述问题，本技术提供一种硅材料管状零件的夹持机构，包括支杆和两个固定夹，所述支杆沿竖直方向设置，所述支杆在高度方向上设置有多个沿厚度方向贯穿的连接孔，所述固定夹包括连接杆和夹持件，所述连接杆的一端插入所述连接孔与所述支杆可拆卸连接，另一端与所述夹持件连接，所述夹持件适于夹紧硅管。
[0006]相对于现有技术，本技术的夹持机构通过支管和固定夹配合，可以将硅管固定并保持在竖直状态，两个固定夹分别夹住硅管的上部和下部，夹持可靠，支杆上设置多个连接孔，相应的固定夹安装高度可调，夹持机构可以与不同长度的硅管适配。
[0007]进一步地，所述夹持件包括第一夹持板和第二夹持板，所述第一夹持板与所述连接杆连接，所述第一夹持板和所述第二夹持板通过螺杆连接，使所述硅管夹持在所述第一夹持板和所述第二夹持板之间。两块夹持板结构可以适配于不同管径的硅管，两块夹持板通过螺杆连接夹紧效果好。
[0008]进一步地，所述第一夹持板与所述第二夹持板相对的两个壁面上设有弧形槽。弧形槽可以与硅管表面贴合，提高夹持板与硅管的接触面积，避免局部受力，且便于硅管定位，避免出现倾斜。
[0009]进一步地，所述第一夹持板和所述第二夹持板的材质为聚四氟乙烯。聚四氟乙烯材料耐用性好，且不会损坏硅管表面。
[0010]进一步地，所述连接孔的内壁上设有内螺纹，所述连接杆与所述支杆连接的一端的外壁上设有外螺纹，所述连接杆与所述连接孔螺纹连接。连接杆连接孔装配方便，连接可靠。
[0011]进一步地，所述连接杆上外螺纹的延伸长度为5～20cm。在螺纹延伸长度范围内，
连接杆相对于支杆的伸出长度可以进行调节，便于将硅管定位在合适位置。
[0012]进一步地，所述连接孔的数量为10～20个，相邻所述连接孔等距设置。设置多个连接孔，可以夹持不同长度的硅管。
[0013]进一步地，相邻所述连接孔之间的距离为5～20cm。由此两个固定夹之间的距离可以进行小幅调整。
[0014]进一步地，所述支杆顶部设有管托槽，所述管托槽适于承托清洗液的回液管。设置管托槽便于清洗液的回液管的上部进行定位。
[0015]进一步地，所述支杆下部设有穿管孔，所述穿管孔位于最下侧的所述连接孔的下方，所述穿管孔适于供所述回液管穿设。设置穿管孔对回液管的下部起到支撑定位作用，避免回液管晃动。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例中夹持机构的结构图一；
[0017]图2为本技术实施例中夹持机构的结构图二；
[0018]图3为本技术实施例中固定夹的结构图；
[0019]图4为本技术实施例中连接杆与第一夹持板的结构图；
[0020]图5为本技术实施例中夹持机构的使用状态图。
[0021]附图标记说明：
[0022]1‑
支杆，11
‑
连接孔，12
‑
管托槽，13
‑
穿管孔，2
‑
固定夹，21
‑
连接杆，22
‑
第一夹持板，23
‑
第二夹持板，24
‑
螺杆，25
‑
弧形槽，3
‑
回液管，4
‑
进液管，5
‑
硅管。
具体实施方式
[0023]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0024]应注意到：相似的标记和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。本技术的实施例的附图中设置有坐标系XYZ，其中X轴的正向代表前方，X轴的反向代表后方，Y轴的正向代表左方，Y轴的反向代表右方，Z轴的正向代表上方，Z轴的反向代表下方。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况
理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0028]结合图1至图5所示，本技术的实施例提供一种硅材料管状零件的夹持机构，用于硅管5清洗时对其进行夹持定位。结合图1所示，夹持机构包括支杆1和两个固定夹2，支杆1沿竖直方向(Z轴方向)设置，支杆1在高度方向上设置有多个沿厚度方向(Y轴方向)贯穿的连接孔11，固定夹2包括连接杆21和夹持件，连接杆21的一端插入连接孔11与支杆1可拆卸连接，另一端与夹持件连接，夹持件用于夹紧硅管5。该夹持机构两个固定夹2设置在竖直的支杆1上，可以夹持住硅管5的上部和下部，将硅管5固定并保持在竖直状态，从而实现清洗液下进上出的清洗方式。
[0029]结合图1和图2所示，连接孔11的内壁上设有内螺纹，结合图3和图4所示，连接杆21与支杆1连接的一端的外壁上设有外螺纹，连接杆21与连接孔1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅材料管状零件的夹持机构，其特征在于，包括支杆(1)和两个固定夹(2)，所述支杆(1)沿竖直方向设置，所述支杆(1)在高度方向上设置有多个沿厚度方向贯穿的连接孔(11)，所述固定夹(2)包括连接杆(21)和夹持件，所述连接杆(21)的一端插入所述连接孔(11)与所述支杆(1)可拆卸连接，另一端与所述夹持件连接，所述夹持件适于夹紧硅管(5)。2.根据权利要求1所述的硅材料管状零件的夹持机构，其特征在于，所述夹持件包括第一夹持板(22)和第二夹持板(23)，所述第一夹持板(22)与所述连接杆(21)连接，所述第一夹持板(22)和所述第二夹持板(23)通过螺杆(24)连接，使所述硅管(5)夹持在所述第一夹持板(22)和所述第二夹持板(23)之间。3.根据权利要求2所述的硅材料管状零件的夹持机构，其特征在于，所述第一夹持板(22)与所述第二夹持板(23)相对的两个壁面上设有弧形槽(25)。4.根据权利要求2所述的硅材料管状零件的夹持机构，其特征在于，所述第一夹持板(22)和所述第二夹持板(23)的材质为聚四氟乙烯。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：范荣，李士昌，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：