具有安全互锁系统的接口模块、存储介质以及安全验证方法技术方案

接口模块的例子包括具有风扇和过滤器的风机过滤器单元；围绕与过滤器相邻的空间的壳体，壳体包括门；围绕与所述风扇相邻的空间的上壳体；设置在上壳体中的第一端口；与FFU内部空间连通的第二端口，FFU内部空间是风机过滤器单元中的风扇和过滤器之间的空间；以及连接到第一端口和第二端口以检测上壳体内部和FFU内部空间之间的压差的差压计。内部空间之间的压差的差压计。内部空间之间的压差的差压计。

【技术实现步骤摘要】
具有安全互锁系统的接口模块、存储介质以及安全验证方法


[0001]所描述的示例涉及具有风机过滤器单元的接口模块、存储介质以及安全验证方法。

技术介绍

[0002]接口模块包括用于传输基板的基板传输装置。用N2气体填充接口模块的内部以降低氧(O2和H2O)浓度避免或抑制在要传输的基板上形成自然氧化膜。根据示例，当氧浓度为100ppm或更低时，可以抑制在基板上形成自然氧化膜。上述接口模块称为N2
‑
设备前端模块(N2
‑
EFEM)。
[0003]在接口模块的维护工作中，需要有人进入接口模块。但是，进入充满N2气体的接口模块是非常危险的。在人员进入接口模块之前，接口模块内的N2气体被替换为清洁干燥空气(CDA)。
[0004]例如，可以使用多个氧浓度计来确认接口模块内的N2气体已经被CDA替换。然而，在接口模块的每个位置提供氧浓度计用于安全验证使得接口模块非常昂贵。此外，它需要复杂的联锁电路。

技术实现思路

[0005]本文描述的一些示例可以解决上述问题。这里描述的一些示例可以提供适于降低成本的接口模块、存储介质和安全验证方法。
[0006]在一些示例中，接口模块包括具有风扇和过滤器的风机过滤器单元；围绕与过滤器相邻的空间的壳体，壳体包括门；围绕与所述风扇相邻的空间的上壳体；设置在上壳体中的第一端口；与FFU内部空间连通的第二端口，FFU内部空间是风机过滤器单元中的风扇和过滤器之间的空间；以及连接到第一端口和第二端口以检测上壳体内部和FFU内部空间之间的压差的差压计。
附图说明
[0007]图1是接口模块的示意图；
[0008]图2示出了气流；
[0009]图3示出了第一端口和第二端口的示例；
[0010]图4示出了第一端口和第二端口的另一示例；
[0011]图5示出了根据一个示例的半导体制造设备；
[0012]图6是安全验证方法的流程图；
[0013]图7示出了安全PLC的示例性功能框图；
[0014]图8A示出了专用硬件；以及
[0015]图8B示出了CPU和存储器。
具体实施方式
[0016]将参照附图描述根据一些示例的具有风机过滤器单元的接口模块、存储介质和安全验证方法。相同或对应的部件将被分配相同的附图标记并且可以省略重复的描述。
[0017]实施例
[0018]图1是根据一个示例的接口模块的示意图。接口模块可以提供为N2
‑
EFEM。接口模块包括壳体10。在一个示例中，机械臂12设置在壳体10中用于传输基板。根据另一示例，在壳体10中提供一个或多个传输机构。在一个示例中，基板是处理之前或之后的晶片。用于测量壳体10中的压力的壳体压力传感器13连接到壳体10。根据一个示例，壳体压力传感器13是用于测量壳体10的内部压力和外部压力之间的压差的差压计(differential pressure gauge)。
[0019]接口模块包括至少一个风机过滤器单元(FFU)25。虽然在图1中示出了两个FFU 25，但是FFU 25的数量可以是一个或三个以上。根据一个示例，FFU 25包括FFU壳体22、风扇24和过滤器20。FFU 25中风扇24和过滤器20之间的空间是FFU内部空间22s。与过滤器20相邻的空间被壳体10包围。根据一个示例，壳体10具有支撑FFU 25的支撑板。通过过滤器20的气体通过设置在支撑板中的多个孔，并提供到壳体10中。
[0020]与风扇24相邻的空间被上壳体26包围。根据图5的一个示例，上壳体26设置在FFU 25上方。提供在上壳体26中的气体通过风扇24的旋转被引入FFU内部空间22s且被过滤器20过滤。第一端口26a设置在上壳体26中。根据一个示例，第一端口26a是允许上壳体26内部的压力感测的压力采样端口。换句话说，第一端口26a是风扇24的入口的压力采样端口。第一端口26a例如是设置与上壳体26内部连通的孔的金属管。类似地，第一端口26b位于左侧的上壳体26中。
[0021]此外，FFU 25设置有第二端口22a。根据一个示例，第二端口22a是允许FFU内部空间22s的压力感测的压力采样端口。换言之，第二端口22a是风扇24的出口的压力采样端口。第二端口22a例如是设置与FFU壳体22内部连通的孔的金属管。类似地，左侧所示的FFU 25设置有第二端口22b。
[0022]图1的接口模块图1包括差压计35。差压计35被配置为检测上壳体26内的压力与FFU内部空间22s的压力之间的压力差。根据一个示例，差压计35经由管34a连接到第一端口26a并且经由管34b连接到第二端口22a。通过该结构，上壳体26内的压力和FFU内部空间22s的压力反映在差压计35中。因此，差压计35能够检测上壳体26内的压力与FFU内部空间22s的压力之间的压力差。
[0023]图1的接口模块图1还包括差压计37，以检测左侧的上壳体26内的压力与左侧的FFU内部空间22s的压力之间的压力差。根据一个示例，差压计37经由管36a连接到第一端口26b并且经由管36b连接到第二端口22b。通过该结构，左侧的上壳体26内的压力和左侧的FFU内部空间22s的压力反映在差压计37中。因此，差压计37能够检测左侧的上壳体26内的压力和左侧的FFU内部空间22s的压力之间的压力差。
[0024]如果风扇24旋转，上壳体26内部的压力将小于FFU内部空间22s的压力。另一方面，如果风扇24不旋转，则上部壳体26内部的压力基本上等于FFU内部空间22s的压力。因此，可以通过监测压差来确定风扇24是否正在旋转。
[0025]根据一个示例，循环导管30连接到上壳体26和壳体10。循环导管30的一部分延伸
到壳体10的内部，并被称为内部导管30a。在内部导管30a中钻出孔，以允许循环导管30与壳体10的内部连通。根据一个示例，氧气传感器31、32和H2O传感器33附接到循环管道30，以检测O2浓度和H2O浓度。在该示例中，冷却台14被提供用于在壳体10中临时存储晶片。冷却台14连接到壳体10的内部，并且还连接到循环导管30。
[0026]随着FFU 25的风扇24旋转，上壳体26中的气体被排放到壳体10的内部。根据一个示例，气体从氮气源40或CDA源50提供给上壳体26。
[0027]氮气源40和上壳体26通过氮气供应管48连接。电磁阀(SV)42连接到氮气供应管48。SV 42根据指令打开和关闭氮气供应管48。限位开关44连接到SV 42上，以监控SV 42的操作。具体地，限位开关44基于检测输入信号和实际位置的功能来检测SV 42的输入信号和SV 42的阀的实际位置之间的差异。在另一个例子中，SV 42和限位开关44可以由其他构造代替。
[0028]CDA源50和上壳体26通过CDA供应管51连接。阀54和流量计52连接到CDA供应管51。提供阀54用于打开和关闭CDA供应管51。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种接口模块，包括:风机过滤器单元，具有风扇和过滤器；壳体，围绕邻近所述过滤器的空间，且该壳体包括门；上壳体，围绕邻近所述风扇的空间；第一端口，设置在所述上壳体中；第二端口，与FFU内部空间连通，该FFU内部空间是所述风机过滤器单元中的所述风扇和所述过滤器之间的空间；以及差压计，连接到所述第一端口和所述第二端口，以检测所述上壳体的内部和所述FFU内部空间之间的压差。2.根据权利要求1所述的接口模块，其中所述风机过滤器单元包括用于检测所述风扇的故障的报警设备。3.根据权利要求2所述的接口模块，包括:氮气源；氮气供应管，将所述氮气源连接到所述上壳体；电磁阀，附接到所述氮气供应管；限位开关，安装到所述电磁阀；清洁干燥空气源；清洁干燥空气供应管，将所述清洁干燥空气源连接到所述上壳体；阀，附接到所述清洁干燥空气供应管；以及流量计，安装到所述清洁干燥空气供应管。4.根据权利要求3所述的接口模块，包括:壳体压力传感器，构造为测量所述壳体中的压力；排气管，附接到所述壳体；以及排气压力传感器，构造为测量所述排气管中的压力。5.根据权利要求4所述的接口模块，包括安全PLC，所述安全PLC包括处理器和存储器，被配置成使处理器执行存储在存储器中的程序，或者包括专用电路，以通过共同监控所述报警装置的输出和由所述差压计检测的压力来证实所述风扇正在旋转。6.根据权利要求4所述的接口模块，包括安全PLC，所述安全PLC包括处理器和存储器，被配置成使处理器执行存储在存储器中的程序，或者包括专用电路，以在预定气体置换操作已经持续预定持续时间时释放用于打开所述门的互锁。7.根据权利要求4所述的接口模块，包括安全PLC，该安全PLC具有:处理器和存储器，被配置为使所述处理器执行存储在所述存储器中的程序，或者专用电路；连接到所述电磁阀的SV端子；连接到所述限位开关的LS端子；连接到所述流量计的FM端子；连接到所述壳体压力传感器的HP端子；连接到所述排气压力传感器的EP端子；连接到所述报警设备的AL端子；以及
连接到所述差压计的DP端子。8.根据权利要求5所述的接口模块，包括具有设置面板的操作盒，其中所述安全PLC和所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：中野雅史，小林涉，
申请(专利权)人：ASMIP私人控股有限公司，
类型：发明
国别省市：