弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种在位于腔上的压电膜不易产生裂纹的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，设置有压电膜(2)，在压电膜(2)上设置有IDT电极(10)，IDT电极(10)具有第1汇流条(5)以及第2汇流条(6)、至少一根第1电极指(3)、和至少一根第2电极指(4)，在将第1电极指(3)、第2电极指(4)在弹性波传播方向上重叠的区域设为交叉区域的情况下，在像下述的那样定义的点A2、点B2、点C2以及点D2处，在xa＜25μm、ya＜25μm、xb＜25μm、yb＜25μm、xc＜25μm、yc＜25μm、xd＜25μm、yd＜25μm时，点A2、B2、C2、D2全部处于腔的外侧。外侧。外侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置


[0001]本专利技术涉及具有压电膜位于腔上的构造的弹性波装置。

技术介绍

[0002]以往，已知具有压电膜位于腔上的构造的弹性波装置。这样的弹性波装置的一个例子记载于下述的专利文献1。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：美国专利第10491192号

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在具有压电膜位于腔上的构造的弹性波装置中，存在在制造工序中或者使用中在位于腔上的压电膜产生裂纹的担忧。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种在位于腔上的压电膜不易产生裂纹的弹性波装置。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]本专利技术是一种弹性波装置，具备：支承基板，具有凹部；压电膜，设置为覆盖所述支承基板的所述凹部，与所述凹部一起构成腔；以及功能电极，设置在所述压电膜上，所述功能电极具有：第1汇流条以及第2汇流条；至少一根第1电极指，一端与所述第1汇流条连接；以及至少一根第2电极指，一端与所述第2汇流条连接，在将所述第1电极指、所述第2电极指在弹性波传播方向上重叠的区域设为交叉区域的情况下，在像下述那样定义的点A2、点B2、点C2以及点D2处，在
[0011]xa＞25μm、ya＞25μm；
[0012]xb＞25μm、yb＞25μm；
[0013]xc＞25μm、yc＞25μm；
[0014]xd＞25μm、yd＞25μm时，
[0015]点A2、B2、C2、D2全部处于腔的外侧。
[0016]点A2：以点A1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xa并在y方向上移动了ya的点；
[0017]点B2：以点B1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xb并在y方向上移动了yb的点；
[0018]点C2：以点C1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xc并在y方向上移动了yc的点；
[0019]点D2：以点D1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xd并在y方向上移动了yd的点。
[0020]另外，点A1、B1、C1、D1如下。
[0021]点A1：弹性波传播方向一端侧的最外电极的外缘和第1汇流条的交点；
[0022]点B1：弹性波传播方向另一端侧的最外电极的外缘的延长线和第1汇流条的交点；
[0023]点C1：弹性波传播方向一端侧的最外电极的外缘的延长线和第2汇流条的交点；
[0024]点D1：弹性波传播方向另一端侧的最外电极的外缘和第2汇流条的交点。
[0025]此外，本专利技术也可以是如下的弹性波装置，即，具备：支承基板，具有凹部；压电膜，设置为覆盖所述支承基板的所述凹部，构成了包括所述凹部的腔；以及功能电极，设置在所述压电膜上，所述功能电极具有：第1汇流条以及第2汇流条；至少一根第1电极指，一端与所述第1汇流条连接；以及至少一根第2电极指，一端与所述第2汇流条连接，在将所述第1电极指、所述第2电极指在弹性波传播方向上重叠的区域设为交叉区域的情况下，在像下述那样定义的点A2、点B2、点C2以及点D2处，在
[0026]xa＜2μm、ya＜2μm；
[0027]xb＜2μm、yb＜2μm；
[0028]xc＜2μm、yc＜2μm；
[0029]xd＜2μm、yd＜2μm时，
[0030]点A2、B2、C2、D2全部处于腔的内侧。
[0031]点A2：以点A1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xa并在y方向上移动了ya的点；
[0032]点B2：以点B1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xb并在y方向上移动了yb的点；
[0033]点C2：以点C1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xc并在y方向上移动了yc的点；
[0034]点D2：以点D1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xd并在y方向上移动了yd的点。
[0035]另外，点A1、B1、C1、D1如下。
[0036]点A1：弹性波传播方向一端侧的最外电极的外缘和第1汇流条的交点；
[0037]点B1：弹性波传播方向另一端侧的最外电极的外缘的延长线和第1汇流条的交点；
[0038]点C1：弹性波传播方向一端侧的最外电极的外缘的延长线和第2汇流条的交点；
[0039]点D1：弹性波传播方向另一端侧的最外电极的外缘和第2汇流条的交点。
[0040]专利技术效果
[0041]根据本专利技术，能够提供一种在位于腔上的压电膜中不易产生裂纹的弹性波装置。
附图说明
[0042]图1的(a)是示出本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的外观的简图式立体图，图1的(b)是示出压电膜上的电极构造的俯视图。
[0043]图2是沿着图1的(a)中的A
‑
A线的部分的剖视图。
[0044]图3的(a)用于说明在以往的弹性波装置的压电膜传播的拉姆波的示意性主视剖视图，图3的(b)是用于说明本专利技术的第1实施方式的弹性波装置中的厚度剪切模式的振动的示意性主视剖视图。
[0045]图4是用于说明本专利技术的弹性波装置中的厚度剪切模式的体波的振幅方向的图。
[0046]图5是示出本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的谐振特性的图。
[0047]图6是示出本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置中的d/2p和作为弹性波装置的谐振器的相对带宽的关系的图。
[0048]图7是示出本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的第1变形例的俯视图。
[0049]图8是用于说明本专利技术的弹性波装置的第3构造例的部分切除立体图。
[0050]图9是示出本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的电极和位于下方的腔的关系的示意性俯视图。
[0051]图10是用于说明本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置中的点A2、点B2、点C2以及点D2的定义的俯视图。
[0052]图11是示出图10所示的参数x或y和Q值的关系的图。
[0053]图12是用于说明本专利技术的第2实施方式涉及的弹性波装置中的、电极指的倾斜侧面和压电膜的主面所成的角度的部分切除剖视图。
[0054]图13的(a)～图13的(c)分别是用于说明第2实施方式的弹性波装置的制造工序的部分切除主视剖视图。
[0055]图14是用于说明本专利技术的第2实施方式涉及的弹性波装置的第1变形例的部分切除主视剖视图。
[0056]图15是用于说明本专利技术的第2实施方式涉及的弹性波装置的第2变形例的部分切除主视剖视图。
[0057]图16的(a)～图16的(c)是用于说明形成图14所示的第1电极指的工序的部分切除主视剖视图。
具体实施方式
[0058]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明，由此明确本专利技术。
[0059]另外，需要指出，在本说明书记载的各实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：支承基板，具有凹部；压电膜，设置为覆盖所述支承基板的所述凹部，与所述凹部一起构成腔；以及功能电极，设置在所述压电膜上，所述功能电极具有：第1汇流条以及第2汇流条；至少一根第1电极指，一端与所述第1汇流条连接；以及至少一根第2电极指，一端与所述第2汇流条连接，在将所述第1电极指、所述第2电极指在弹性波传播方向上重叠的区域设为交叉区域的情况下，在像下述那样定义的点A2、点B2、点C2以及点D2处，在xa＞25μm、ya＞25μm；xb＞25μm、yb＞25μm；xc＞25μm、yc＞25μm；xd＞25μm、yd＞25μm时，点A2、B2、C2、D2全部处于腔的外侧，点A2：以点A1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xa并在y方向上移动了ya的点；点B2：以点B1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xb并在y方向上移动了yb的点；点C2：以点C1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xc并在y方向上移动了yc的点；点D2：以点D1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xd并在y方向上移动了yd的点，另外，点A1、B1、C1、D1如下，点A1：弹性波传播方向一端侧的最外电极的外缘和第1汇流条的交点；点B1：弹性波传播方向另一端侧的最外电极的外缘的延长线和第1汇流条的交点；点C1：弹性波传播方向一端侧的最外电极的外缘的延长线和第2汇流条的交点；点D1：弹性波传播方向另一端侧的最外电极的外缘和第2汇流条的交点。2.一种弹性波装置，具备：支承基板，具有凹部；压电膜，设置为覆盖所述支承基板的所述凹部，构成了包括所述凹部的腔；以及功能电极，设置在所述压电膜上，所述功能电极具有：第1汇流条以及第2汇流条；至少一根第1电极指，一端与所述第1汇流条连接；以及至少一根第2电极指，一端与所述第2汇流条连接，在将所述第1电极指、所述第2电极指在弹性波传播方向上重叠的区域设为交叉区域的情况下，在像下述那样定义的点A2、点B2、点C2以及点D2处，在xa＜2μm、ya＜2μm；
xb＜2μm、yb＜2μm；xc＜2μm、yc＜2μm；xd＜2μm、yd＜2μm时，点A2、B2、C2、D2全部处于腔的内侧，点A2：以点A1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xa并在y方向上移动了ya的点；点B2：以点B1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xb并在y方向上移动了yb的点；点C2：以点C1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xc并在y方向上移动了yc的点；点D2：以点D1为起点，向比交叉区域靠外侧在x方向上移动了xd并在y方向上移动了yd的点，另外，点A1、B1、C1、D1如下，点A1：弹性波传播方向一端侧的最外电极的外缘和第1汇流条的交点；点B1：弹性波传播方向另一端侧的最外电极的外缘的延长线和第1汇流条的交点；点C1：弹性波传播方向一端侧的最外电极的外缘的延长线和第2汇流条的交点；点D1：弹性波传播方向另一端侧的最外电极的外缘和第2汇流条的交点。3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述压电膜的厚度处于500nm
±
300nm的范围。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，构成为能够利用厚度剪切模式的体波。5.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述压电膜包含铌酸锂以及钽酸锂中的一者，在将所述压电膜的厚度设为d并将相邻的第1电极指、第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：木村哲也，野竹直弘，石井优太，井上和则，大内峰文，永友翔，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：