【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及弹性波装置以及弹性波装置的制造方法。
技术介绍
1、在专利文献1记载了弹性波装置。
2、在先技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、专利文献1所示的弹性波装置有时在内部设置空间部。在该情况下，压电层有可能由于空间部和空间部的外部的气压差而破损。
3、本公开用于解决上述的问题，其目的在于，抑制压电层的破损。
4、用于解决问题的技术方案
5、一个方式涉及的弹性波装置具备：弹性波元件；以及封装件，容纳所述弹性波元件，所述弹性波元件具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，层叠于所述支承构件，具有第1主面和在所述第1方向上与所述第1主面相反侧的第2主面；以及功能电极，设置在所述压电层的所述第1主面以及所述第2主面中的至少一者，在所述支承构件中，在所述压电层侧并且在所述第1方向上俯视时至少一部分与所述功能电极重叠的位置具有第1空间部，在所述封装件中，在所述第1空间部的外部具有第2空间部，在所述压电层具有与所述第1空间部以及所述第2空间部连通的贯通孔，所述第1空间部、所述第2空间部、以及所述封装件的外部通过至少一个路径相连。
6、另一个方式涉及的弹性波装置具备：弹性波元件；以及封装件，容纳所述弹性波元件，所述弹性波元件具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，层叠于所述支承
7、另一个方式涉及的弹性波装置具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，层叠于所述支承构件，具有第1主面和在所述第1方向上与所述第1主面相反侧的第2主面；功能电极，设置在所述压电层的所述第1主面以及所述第2主面中的至少一者；支承框，设置在所述压电层的所述第1方向上；以及盖部，设置在所述支承框的所述第1方向上，在所述支承构件中，在所述压电层侧并且在所述第1方向上俯视时至少一部分与所述功能电极重叠的位置具有第1空间部，在所述支承框具有第2空间部，在所述压电层具有将所述第1空间部和所述第2空间部连通的贯通孔，所述第1空间部、所述第2空间部、以及盖体的外侧通过至少一个路径相连。
8、另一个方式涉及的弹性波装置具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，层叠于所述支承构件，具有第1主面和在所述第1方向上与所述第1主面相反侧的第2主面；功能电极，设置在所述压电层的所述第1主面以及所述第2主面中的至少一者；支承框，设置在所述压电层的所述第1方向上；以及盖部，设置在所述支承框的所述第1方向上，在所述支承构件中，在所述压电层侧并且在所述第1方向上俯视时至少一部分与所述功能电极重叠的位置具有第1空间部，在所述支承框具有第2空间部，在所述压电层具有将所述第1空间部和所述第2空间部连通的贯通孔，所述第1空间部、所述第2空间部、以及盖体的外侧的气压相同。
9、一个方式涉及的弹性波装置的制造方法具有：牺牲层形成工序，在具有在厚度方向上对置的一对主面的压电层的所述一对主面中的一个主面的一部分形成牺牲层；中间层形成工序，在所述压电层的所述一个主面以及所述牺牲层形成中间层；接合工序，将所述压电层经由所述中间层接合于支承基板；电极形成工序，在所述压电层的所述一对主面中的至少一个主面形成电极；贯通孔形成工序，在所述压电层形成贯通孔；以及牺牲层除去工序，将所述牺牲层除去。
10、另一个方式涉及的弹性波装置的制造方法具有：中间层形成工序，在支承基板上形成中间层；压电层形成工序，在所述中间层上形成压电层；电极形成工序，在所述压电层上形成电极；贯通孔形成工序，在所述压电层和所述中间层形成贯通孔；第1蚀刻形成工序，在所述支承基板的一部分形成空间部；以及第2蚀刻工序，对在所述空间部露出的所述中间层进行蚀刻。
11、专利技术效果
12、根据本公开，能够抑制压电层的破损。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：
2.一种弹性波装置，具备：
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
4.一种弹性波装置，具备：
5.一种弹性波装置，具备：
6.根据权利要求4或5所述的弹性波装置，其中，
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的弹性波装置，其中，
8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的弹性波装置，其中，
10.根据权利要求1至9中的任一项所述的弹性波装置，其中，
11.根据权利要求1至10中的任一项所述的弹性波装置，其中，
12.根据权利要求1至11中的任一项所述的弹性波装置，其中，
13.根据权利要求1至11中的任一项所述的弹性波装置，其中，
14.根据权利要求1至11中的任一项所述的弹性波装置，其中，
15.根据权利要求14所述的弹性波装置，其中，
16.根据权利要求1至11中的任一项所述的弹性波装置，其中，
17.根据权利要
18.一种弹性波装置的制造方法，具有：
19.一种弹性波装置的制造方法，具有：
20.根据权利要求18或19所述的弹性波装置的制造方法，其中，
21.根据权利要求20所述的弹性波装置的制造方法，其中，
22.根据权利要求18至21中的任一项所述的弹性波装置的制造方法，其中，
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种弹性波装置，具备：
2.一种弹性波装置，具备：
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
4.一种弹性波装置，具备：
5.一种弹性波装置，具备：
6.根据权利要求4或5所述的弹性波装置，其中，
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的弹性波装置，其中，
8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的弹性波装置，其中，
10.根据权利要求1至9中的任一项所述的弹性波装置，其中，
11.根据权利要求1至10中的任一项所述的弹性波装置，其中，
12.根据权利要求1至11中的任一项所述的弹性波装置，其中，
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