一种晶圆流片及其制造方法技术

本发明专利技术公开了一种晶圆流片及其制造方法，涉及到晶圆流片加工技术领域，包括制造设备、第二皮带轮、第二伺服电机和驱动电机，所述制造设备的底端固定连接有固定柱，所述固定柱的一侧固定连接有加固杆，所述固定柱的另一侧固定连接有横杆，所述制造设备上开设有集料口，所述集料口的底端固定安装有限位板，所述限位板上插设有收集盒。本发明专利技术结构合理，实现了通过夹持组件对单晶硅锭的位置进行初步固定，然后再通过限位组件对单晶硅锭的位置进行定位，限位组件可以根据不同尺寸的单晶硅锭进行调整，最后通过切割组件对其进行单晶切割工作。最后通过切割组件对其进行单晶切割工作。最后通过切割组件对其进行单晶切割工作。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆流片及其制造方法


[0001]本专利技术涉及晶圆流片加工
，特别涉及一种晶圆流片及其制造方法。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆,芯片指内含集成电路的硅片,体积很小,常常是计算机或其他电子设备的一部分，流片:英文TapeOut,像流水线一样通过一系列工艺步骤制造芯片，芯片成功流片:像流水线一样通过一系列工艺步骤制造芯片成功,没有出错。在集成电路设计领域,“流片”指的是“试生产”,就是说设计完电路以后,先生产几片...什么是流片，像流水线一样通过一系列工艺进行加工制成。
[0003]现有的单晶硅锭在进行切割呈片状处理的时候，大多数都是采用人工手持单晶硅锭，通过切割装置进行切割，但是在切割的过程中由于工人无法很好控制切割过程中产生的震动进行控制，从而导致单晶硅锭切割面不平整，因此，本申请提供了一种晶圆流片及其制造方法来满足需求。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种晶圆流片及其制造方法，实现了通过夹持组件对单晶硅锭的位置进行初步固定，然后再通过限位组件对单晶硅锭的位置进行定位，限位组件可以根据不同尺寸的单晶硅锭进行调整，最后通过切割组件对其进行单晶切割工作。
[0005]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种晶圆流片制造装置，包括制造设备、第二皮带轮、第二伺服电机和驱动电机，所述制造设备的底端固定连接有固定柱，所述固定柱的一侧固定连接有加固杆，所述固定柱的另一侧固定连接有横杆，所述制造设备上开设有集料口，所述集料口的底端固定安装有限位板，所述限位板上插设有收集盒，所述收集盒的一侧固定连接有把手，所述制造设备上固定安装有控制台；还包括夹持组件、限位组件和切割组件，所述夹持组件用于对晶圆流片的原料进行固定，所述限位组件用于配合限位组件进行使用，所述切割组件用于对晶圆流片的原料进行切割。
[0006]优选的，所述夹持组件包括固定安装所述制造设备上的加工台，所述加工台上固定安装有集料板，所述集料板的顶端开设有滑槽，所述集料板上开设有导轨，所述加工台上固定安装有一对轴杆座，一对所述轴杆座上转动连接有转杆，所述转杆上固定安装有齿盘，所述转杆的一端固定安装有第一皮带轮，所述第一皮带轮上套设有传动带，所述传动带的底端套设在第二皮带轮上，所述第二皮带轮固定安装在第一伺服电机上，所述第一伺服电机固定安装在所述制造设备上。
[0007]优选的，所述滑槽的内部滑动连接有滑板，所述滑板固定安装在齿条上，所述齿条的一端固定连接在圆环上，所述圆环上螺纹连接有第一螺栓，所述第一螺栓的底端转动连接有夹板，所述圆环上固定安装有置物板，所述置物板的底端固定安装有滑块，所述滑块滑动连接在所述导轨内。
[0008]优选的，所述齿盘设置有两组，所述齿盘与齿条相互啮合。
[0009]优选的，所述限位组件包括固定安装在所述集料板顶端的固定座，所述固定座上螺纹连接有第二螺栓，所述第二螺栓的顶端延伸至所述固定座外，所述固定座的内部固定连接有一对滑杆，所述滑杆上滑动连接有移动块，所述移动块的一侧转动连接有转轴，所述转轴上固定安装有滚筒。
[0010]优选的，一对所述滑杆上套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与所述固定座的内壁和所述移动块的顶端固定连接。
[0011]优选的，所述切割组件包括所述制造设备上的控制箱，所述控制箱的内部开设有空腔，所述控制箱的内部转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端延伸至所述控制箱外，所述螺纹杆的一端与第二伺服电机的输出端固定连接，所述第二伺服电机固定安装在所述制造设备上，所述螺纹杆上套设有套块，所述套块固定安装在安装座上，所述安装座贴合在所述控制箱的顶端，所述安装座上固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有切割片。
[0012]优选的，所述套块的内部设置有内螺纹，所述套块与所述螺纹杆组成螺旋转动式结构。
[0013]优选的，所述切割片位于所述集料板的一侧，所述切割片位于所述集料口的上端。
[0014]本专利技术还提供了一种晶圆流片制造方法，包括如下步骤：
[0015]S1、将脱氧后的沙子进行加热处理，并且使其进行融化；
[0016]S2、通过加热过后沙子内的硅进行提炼出来，通过模具将单晶硅锭的形状呈圆柱状；
[0017]S3、然后将单晶硅锭放置在集料板的内部，通过圆环进行固定，在通过齿盘的转动使齿条进行移动，通过限位组件对其位置进行定位，然后通过切割组件将柱状的单晶硅锭进行切片处理。
[0018]综上，本专利技术的技术效果和优点：
[0019]1、本专利技术结构合理，当需要对单晶硅锭的位置进行固定的时候，将单晶硅锭放置在集料板上的圆环内，然后对圆环上的第一螺栓进行转动，通过第一螺栓的转动使夹板贴合在单晶硅锭的顶端，固定好单晶硅锭之后，在对控制台进行操作使得第一伺服电机进行运作，第一伺服电机的运作使第二皮带轮进行转动，第二皮带轮的转动通过传动带带动第一皮带轮进行转动，第一皮带轮固定安装在转杆上，且转杆上固定安装有齿盘，通过第一皮带轮的转动使齿盘带动滑板整体进行移动，从而便于对单晶硅锭进行移动；
[0020]2、本专利技术中，当单晶硅锭移动到固定座位置的时候，在固定座的内部固定连接有滑杆，且滑杆上滑动连接有移动块，在滑杆上套设有弹簧，通过弹簧的弹力使移动块上的滚筒进行下移，从而便于滚筒贴合在单晶硅锭上进行滚动，防止单晶硅锭在切割的过程中发生偏移的现象，当单晶硅锭尺寸过小的时候对固定座上的第二螺栓进行转动，通过第二螺栓的转动推动移动块进行移动，从而便于滚筒适用于不同尺寸的单晶硅锭；
[0021]3、本专利技术中，当对单晶硅锭进行切割工作的时候圆环上的单晶硅锭移动到切割片位置的时候，通过操作控制台使第二伺服电机进行运作，在第二伺服电机的输出端固定连接有螺纹杆，且螺纹杆转动插设在控制箱的内部，通过第二伺服电机的运作使螺纹杆进行转动，在螺纹杆上套设有套块，通过螺纹杆的转动使套块进行移动，套块的移动带动安装座
进行移动，从而便于驱动电机上的切割片对单晶硅锭进行来回切片工作，片状的晶圆流片会通过集料口掉落到收集盒的内部进行集中收集。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为制造设备侧视结构示意图；
[0024]图2为制造设备立体结构示意图；
[0025]图3为制造设备仰视立体结构示意图；
[0026]图4为制造设备俯视立体结构示意图；
[0027]图5为控制箱立体结构示意图；
[0028]图6为夹持组件立体结构示意图；
[0029]图7为限位组件立体结构示意图。
[0030]图中：1、制造设备；101、固定柱；102、加固杆；103本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆流片制造装置，包括制造设备(1)、第二皮带轮(209)、第二伺服电机(502)和驱动电机(505)，其特征在于，所述制造设备(1)的底端固定连接有固定柱(101)，所述固定柱(101)的一侧固定连接有加固杆(102)，所述固定柱(101)的另一侧固定连接有横杆(103)，所述制造设备(1)上开设有集料口(104)，所述集料口(104)的底端固定安装有限位板(105)，所述限位板(105)上插设有收集盒(106)，所述收集盒(106)的一侧固定连接有把手(107)，所述制造设备(1)上固定安装有控制台(108)；还包括夹持组件、限位组件和切割组件，所述夹持组件用于对晶圆流片的原料进行固定，所述限位组件用于配合限位组件进行使用，所述切割组件用于对晶圆流片的原料进行切割。2.根据权利要求1所述的一种晶圆流片制造装置，其特征在于：所述夹持组件包括固定安装所述制造设备(1)上的加工台(2)，所述加工台(2)上固定安装有集料板(201)，所述集料板(201)的顶端开设有滑槽(202)，所述集料板(201)上开设有导轨(203)，所述加工台(2)上固定安装有一对轴杆座(204)，一对所述轴杆座(204)上转动连接有转杆(205)，所述转杆(205)上固定安装有齿盘(206)，所述转杆(205)的一端固定安装有第一皮带轮(207)，所述第一皮带轮(207)上套设有传动带(208)，所述传动带(208)的底端套设在第二皮带轮(209)上，所述第二皮带轮(209)固定安装在第一伺服电机(210)上，所述第一伺服电机(210)固定安装在所述制造设备(1)上。3.根据权利要求2所述的一种晶圆流片制造装置，其特征在于：所述滑槽(202)的内部滑动连接有滑板(3)，所述滑板(3)固定安装在齿条(301)上，所述齿条(301)的一端固定连接在圆环(302)上，所述圆环(302)上螺纹连接有第一螺栓(303)，所述第一螺栓(303)的底端转动连接有夹板(304)，所述圆环(302)上固定安装有置物板(305)，所述置物板(305)的底端固定安装有滑块(306)，所述滑块(306)滑动连接在所述导轨(203)内。4.根据权利要求3所述的一种晶圆流片制造装置，其特征在于：所述齿盘(206)设置有两组，所述齿盘(206)与齿条(301)相互啮合。5.根据权利要求2所述的一种晶圆流片制造装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪晨冉，范静，王杰，张璇，吴迪，
申请(专利权)人：南京宁麒智能计算芯片研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：