本发明专利技术公开了一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉，涉及到退火炉技术领域，包括设备箱，所述设备箱的底端固定连接有底座，所述底座的底端固定连接有支撑脚，所述设备箱的表面固定安装有控制面板，所述设备箱的表面固定安装有紧急开关，所述设备箱的顶端固定安装有加工台，所述加工台上固定安装有下箱体，所述下箱体的后侧铰接有合页，所述合页的另一侧铰接在上箱体上，所述上箱体上固定连接有把手。本发明专利技术结构合理，实现了通过送料组件上的载物台对硅晶元片进行放置，然后通过动力组件带动送料组件上的螺纹杆进行转动，通过螺纹杆的转动使载物台移动到退火炉本体的内部进行加工。载物台移动到退火炉本体的内部进行加工。载物台移动到退火炉本体的内部进行加工。
【技术实现步骤摘要】
一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉
[0001]本专利技术涉及退火炉
，特别涉及一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉。
技术介绍
[0002]退火炉使由专门为加热半导体晶片而设计的设备，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，退火炉的作用是将材料加热到一定程度然后通过逐步退火的形式来降低温度的热处理炉，将晶粒细化，改善组织来提高工件的机械的性能。
[0003]现有的退火炉在对硅晶元片进行加工的时候，大多数都是将硅晶元片固定在退火炉的内部，但是该方式在拿取或者放置的时候存在一些问题，由于退火炉内部的温度过高，容易对工人的手部在成烫伤，从而会影响到退火炉对硅晶元片的加工效率，因此，本申请提供了一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉来满足需求。
技术实现思路
[0004]本申请的目的在于提供一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉，实现了通过送料组件上的载物台对硅晶元片进行放置，然后通过动力组件带动送料组件上的螺纹杆进行转动，通过螺纹杆的转动使载物台移动到退火炉本体的内部进行加工。
[0005]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉，包括设备箱，所述设备箱的底端固定连接有底座，所述底座的底端固定连接有支撑脚，所述设备箱的表面固定安装有控制面板，所述设备箱的表面固定安装有紧急开关，所述设备箱的顶端固定安装有加工台，所述加工台上固定安装有下箱体，所述下箱体的后侧铰接有合页，所述合页的另一侧铰接在上箱体上，所述上箱体上固定连接有把手；所述上箱体的顶端固定安装有加热设备，所述上箱体的内部固定安装有加热管，所述加热设备与加热管相互连接，所述下箱体的内部设置有退火炉本体，所述退火炉本体的一侧设置有入料口；还包括紧固组件、送料组件和动力组件，所述紧固组件用于对下箱体与上箱体之间进行安装，所述送料组件用于将物料送入到退火炉本体的内部进行加工，所述动力组件用于配合所述送料组件进行使用。
[0006]优选的，所述紧固组件包括固定安装在所述上箱体上的卡扣，所述卡扣的底端插设在操作盒的内部，所述操作盒固定安装在所述下箱体的表面，所述操作盒的内部转动连接有转轴，所述转轴上固定安装有凸轮轴，所述转轴的一端延伸至所述操作盒外，所述转轴的一端固定安装有调节盘。
[0007]优选的，所述操作盒的内部固定连接有一对滑杆，一对所述滑杆的一端固定连接有限位片，一对滑杆上滑动套设有同一个移动板，所述移动板的一侧固定连接有卡块，所述移动板的另一侧固定连接有拉杆，所述拉杆的另一端延伸至所述操作盒外，所述拉杆的另一端固定安装有控制杆。
[0008]优选的，所述拉杆上套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与所述移动板的一侧与所述操作盒的内壁上固定连接。
[0009]优选的，所述凸轮轴上开设有卡槽，所述卡块的另一端插设在卡槽内。
[0010]优选的，所述送料组件包括固定安装在所述加工台上的一对导轨，一对所述导轨上滑动连接有滑块，所述加工台上固定安装有第一轴杆座，所述第一轴杆座上转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的另一端转动连接在所述加工台的内壁上，所述螺纹杆的另一端固定安装有第一皮带轮，所述螺纹杆上套设有套块，所述套块固定安装有固定板，所述固定板的底端与所述滑块的顶端固定连接，所述固定板上固定连接有一对支撑杆，所述支撑杆的顶端插设有插销，所述滑块通过螺栓进行固定，所述螺栓固定连接在臂杆上，所述臂杆上固定连接有圆盘，所述圆盘上固定连接有一对固定柱，一对固定柱固定连接在载物台上。
[0011]优选的，所述套块的内部设置有内螺纹，所述套块与所述螺纹杆组成螺旋转动式结构。
[0012]优选的，所述支撑杆与所述固定板之间固定连接有加固筋，所述加固筋上固定连接有横杆。
[0013]优选的，所述动力组件包括固定安装在所述设备箱内部的伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有输出杆，所述输出杆上套设有第二轴杆座，所述第二轴杆座固定安装在所述设备箱的内部，所述输出杆的另一端固定连接有第二皮带轮，所述第二皮带轮上套设有传动带，所述传动带的顶端套设在所述第一皮带轮上。
[0014]综上，本专利技术的技术效果和优点：
[0015]1、本专利技术结构合理，当需要对螺纹杆进行转动的时候，对设备箱表面的控制面板进行操作，通过控制面板的操作对伺服电机进行控制，使得伺服电机开始进行运作，伺服电机固定安装在设备箱的内部，在伺服电机的输出端固定连接有输出杆，通过伺服电机的转动使输出杆进行转动，在输出杆的另一端固定连接有第二皮带轮，通过输出杆的转动带动第二皮带轮进行转动，在第二皮带轮上套设有传动带，传动带的顶端套设在第一皮带轮上，第二皮带轮的转动通过传动带带动第一皮带轮进行转动，从而便于送料组件上一些列的部件进行工作；
[0016]2、本专利技术中，当需要对硅晶圆片进行退火处理的时候，将硅晶圆片放置在载物台上，然后通过动力单元使螺纹杆进行转动，在螺纹杆上螺纹连接有套块，且套块固定安装在固定板上，在固定板的底端还固定连接有滑块，且滑块滑动连接在导轨上，通过螺纹杆的转动使套块进行移动，通过套块的移动带动固定板进行移动，固定板的移动使支撑杆上的插销进行移动，在插销上固定安装有臂杆，且臂杆上固定安装有圆盘,圆盘上固定连接有固定柱，且固定柱上固定安装有载物台，通过插销的移动使载物台通过入料口移动到退火炉本体的内部进行加工处理；
[0017]3、本专利技术中，当需要对上箱体进行打开的时候，首先对拉杆上的控制杆进行拉动，通过操作盒拉动使拉杆带动移动板进行移动，移动板滑动连接在滑杆上，在滑杆的一端固定连接有限位片，防止移动板整体脱离处于滑杆外，通过移动板的另一侧固定连接有卡块，卡块通过弹簧的弹力卡设在凸轮轴的卡槽内，通过移动板的移动使卡块脱离出凸轮轴上的卡槽，然后对操作盒上的调节盘进行转动，通过调节盘的转动带动转轴进行转动，在转轴上固定安装有凸轮轴，凸轮轴卡设在卡扣上的凹槽，通过转轴的转动使凸轮轴脱离出卡扣上的凹槽，然后对上箱体上的把手进行拉动，从而便于对上箱体进行打开。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为设备箱立体结构示意图；
[0020]图2为设备箱仰视立体结构示意图；
[0021]图3为设备箱正视立体结构示意图；
[0022]图4为下箱体内部立体结构示意图；
[0023]图5为设备箱局部剖面立体结构示意图；
[0024]图6为送料组件立体结构示意图；
[0025]图7为操作盒内部立体结构示意图。
[0026]图中：1、设备箱；101、底座；102、支撑脚；103、控制面板；104、紧急开关；105、加工台；106、下箱体；107、合页；108、上箱体；109、把手；110、加热设备；112、加热管；本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉，包括设备箱(1)，其特征在于，所述设备箱(1)的底端固定连接有底座(101)，所述底座(101)的底端固定连接有支撑脚(102)，所述设备箱(1)的表面固定安装有控制面板(103)，所述设备箱(1)的表面固定安装有紧急开关(104)，所述设备箱(1)的顶端固定安装有加工台(105)，所述加工台(105)上固定安装有下箱体(106)，所述下箱体(106)的后侧铰接有合页(107)，所述合页(107)的另一侧铰接在上箱体(108)上，所述上箱体(108)上固定连接有把手(109)；所述上箱体(108)的顶端固定安装有加热设备(110)，所述上箱体(108)的内部固定安装有加热管(112)，所述加热设备(110)与加热管(112)相互连接，所述下箱体(106)的内部设置有退火炉本体(113)，所述退火炉本体(113)的一侧设置有入料口(114)；还包括紧固组件、送料组件和动力组件，所述紧固组件用于对下箱体(106)与上箱体(108)之间进行安装，所述送料组件用于将物料送入到退火炉本体(113)的内部进行加工，所述动力组件用于配合所述送料组件进行使用。2.根据权利要求1所述的一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉，其特征在于：所述紧固组件包括固定安装在所述上箱体(108)上的卡扣(2)，所述卡扣(2)的底端插设在操作盒(201)的内部，所述操作盒(201)固定安装在所述下箱体(106)的表面，所述操作盒(201)的内部转动连接有转轴(202)，所述转轴(202)上固定安装有凸轮轴(203)，所述转轴(202)的一端延伸至所述操作盒(201)外，所述转轴(202)的一端固定安装有调节盘(204)。3.根据权利要求2所述的一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉，其特征在于：所述操作盒(201)的内部固定连接有一对滑杆(205)，一对所述滑杆(205)的一端固定连接有限位片(206)，一对滑杆(205)上滑动套设有同一个移动板(207)，所述移动板(207)的一侧固定连接有卡块(208)，所述移动板(207)的另一侧固定连接有拉杆(209)，所述拉杆(209)的另一端延伸至所述操作盒(201)外，所述拉杆(209)的另一端固定安装有控制杆(210)。4.根据权利要求3所述的一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉，其特征在于：所述拉杆(209)上套设有弹簧(212)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：张璇，王杰，汪晨冉，范静，高越雯，
申请(专利权)人：南京宁麒智能计算芯片研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。