本申请公开了一种真空腔室中机械手的安装装置，包括：真空腔室，其顶端设置有第一开口，底端设置有第二开口；机械手，位于所述真空腔室内部，包括安装板；辅助组件，包括至少两个液压油缸，所述液压油缸竖直安装在所述安装板的底部，所述液压油缸连接至同一个控制油路，所述控制油路能够驱动所述液压油缸同步升降；其中，所述安装板的面积大于所述第二开口的面积。本实用新型专利技术提供的一种真空腔室中机械手的安装装置，能够精准控制机械手中安装板的下降高度，确保安装板与腔室底部始终平行，提高了真空腔室中机械手的安装效率，避免真空腔室底部在安装过程中被损坏。部在安装过程中被损坏。部在安装过程中被损坏。
【技术实现步骤摘要】
一种真空腔室中机械手的安装装置
[0001]本技术属于机械手安装领域，具体属于一种真空腔室中机械手的安装装置。
技术介绍
[0002]在半导体生产领域中，经常需要将机械手安装在真空腔室中，以实现其在真空环境下的操作。在安装机械手之前，通常在真空腔室的顶端和底端分别设置第一开口和第二开口，再采用龙门吊将机械手经过第一开口吊入真空腔体内，通过人为牵引配合使得机械手安装在第二开口处，实现机械手定位安装。
[0003]如附图1
‑
2所示，为了确保真空腔室的密封性，通常会在第二开口与机械手之间设置O型密封圈。在安装机械手过程中，由于腔室体积有限，观察视线受限，在接近真空腔室底端的开口处时，机械手容易发生偏差，产生磕碰；同时，龙门吊采用柔性绳索捆绑，机械手重心无法精准捕捉，因此机械手与绳索的接触面可能会处于倾斜状态，此种情况下如果配合调整不当，很容易造成机械手单边过早接触O型密封圈，对O型密封造成局部过压，破坏真空腔室的密封性。
技术实现思路
[0004]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本技术的目的在于提供一种真空腔室中机械手的安装装置，能够精准控制机械手中安装板的下降高度，确保安装板与腔室底部始终平行，提高了真空腔室中机械手的安装效率，避免真空腔室底部在安装过程中被损坏。
[0005]为了实现上述目的，本技术提出了如下技术方案：一种真空腔室中机械手的安装装置，包括：
[0006]真空腔室，其顶端设置有第一开口，底端设置有第二开口；
[0007]机械手，位于所述真空腔室内部，包括安装板；
[0008]辅助组件，包括至少两个液压油缸，所述液压油缸竖直安装在所述安装板的底部，所述液压油缸连接至同一个控制油路，所述控制油路能够驱动所述液压油缸同步升降；其中，所述安装板的面积大于所述第二开口的面积。
[0009]进一步的，还包括龙门吊，位于所述真空腔室的上方，连接所述安装板的顶部。
[0010]进一步的，所述龙门吊穿过第一开口连接所述安装板的顶端，且能够带动所述安装板进行升降。
[0011]进一步的，所述龙门吊通过三角吊具连接所述安装板的顶端。
[0012]进一步的，所述第二开口和安装板均为圆形结构，所述液压油缸均匀分布在圆形的安装板底部。
[0013]进一步的，所述液压油缸为三个，相邻的液压油缸之间间隔120
°
。
[0014]进一步的，所述安装板和第二开口之间设置有O型密封圈。
[0015]进一步的，所述机械手包括工作组件和固定组件，所述工作组件位于所述安装板
上方，所述固定组件位于所述安装板下方。
[0016]进一步的，还包括用于密封第一开口的密封盖板。
[0017]本技术提供的上述技术方案与现有技术相比，具有如下优点：本申请通过同一个控制油路控制不同液压油缸同步下降，同时多个液压油缸连接至机械手中安装板的不同位置，进而确保安装板在下降过程中始终与真空腔室底板平行，确保安装板与真空腔室底板中第二开口面接触，避免真空腔室底板局部受力被损坏；通过该安装装置，可以提高真空腔室中机械手的安装效率，还能保护真空腔室的密封性不被破坏，进一步扩展了真空腔室的应用范围。
附图说明
[0018]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]附图中：
[0021]附图1为现有技术中机械手的安装装置示意图；
[0022]附图2为现有技术中机械手对O型密封圈的局部过压示意图；
[0023]附图3为本申请中机械手的安装装置示意图；
[0024]附图4为图3中安装装置的A向视图；
[0025]附图标号：1、真空腔室；11、第一开口；12、第二开口；13、密封盖板；14、O型密封圈；2、机械手；21、安装板；3、液压油缸；4、龙门吊；41、三角吊具。
具体实施方式
[0026]为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。以下描述中，需要理解的是，“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“头”、“尾”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系、以特定的方位构造和操作，仅是为了便于描述本技术方案，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。当一个元件被称为在另一元件“上”或“下”时，该元件能够“直接地”或“间接地”位于另一元件之上，或者也可能存在一个或更多个居间元件。术语“第一”、“第二”、“第三”等仅是为了便于描述本技术方案，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本技术实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本技术。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本技术的描述。
[0029]请参阅附图3
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4，一种真空腔室中机械手的安装装置，包括：真空腔室1，其顶端设置有第一开口11，底端设置有第二开口12；机械手2，安装在真空腔室1内部；辅助组件，包括至少两个液压油缸3，液压油缸3竖直安装在安装板21的底部，液压油缸3连接至同一个控制油路，控制油路能够驱动液压油缸3同步升降；其中，安装板21的面积大于第二开口12的面积。
[0030]如附图1
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2所示，当机械手2安装过程采用吊具自上而下进行安装时，需要依靠龙门吊4以及三角吊具41连接机械手2，当机械手2的安装板21靠近真空腔室1底部时，尤其是在视野受限的情况下，无法确保安装板21与真空腔室1底面平行，也就无法确保安装板21能够与真空腔室1底部的O型密封圈14均匀接触，这就导致O型密封圈14本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，包括：真空腔室，其顶端设置有第一开口，底端设置有第二开口；机械手，位于所述真空腔室内部，包括安装板；辅助组件，包括至少两个液压油缸，所述液压油缸竖直安装在所述安装板的底部，所述液压油缸连接至同一个控制油路，所述控制油路能够驱动所述液压油缸同步升降；其中，所述安装板的面积大于所述第二开口的面积。2.根据权利要求1所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，还包括龙门吊，位于所述真空腔室的上方，连接所述安装板的顶部。3.根据权利要求2所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述龙门吊穿过第一开口连接所述安装板的顶端，且能够带动所述安装板进行升降。4.根据权利要求2所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述龙门吊通过三角吊具...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘锐，冯琳，高飞翔，田君一，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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