【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例属于半导体加工制造领域，具体地，涉及一种适用于紧凑集成式晶圆传输系统的电控系统。
技术介绍
1、在晶圆工厂和半导体工厂中会需要在生产过程中采用晶圆传输系统将晶圆从一个工位移动至另一工位，以等待或者进行工艺处理。
2、在现在的晶圆传输系统中，对各个部件都有着严格的尺寸限制，以保证机器人旋转时的运动半径，保证各个工位取放片工作时不会干涉碰撞，造成机器人手指和晶圆的损坏。在现有的晶圆传输系统中，针对晶圆加载器的“开门到位”信号和机器人的“缩手”信号做互锁，也就是说，如果晶圆加载器开门不到位的情况下，则不会向机器人发出动作指令，在机器人锁手的情况下，才会向晶圆加载器发出关门指令，并不需要额外关注晶圆加载器开始开门的动作或者开始关门的动作，以及开关门动作进行中的状态。
3、图1示出了现有技术中机器人和晶圆加载器之间互锁的流程图。如图1所示，在收到取/放晶圆片指令之后，首先判断晶圆加载器是否开门到位，如果开门不到位，则发送开门指令，使晶圆加载器开门，直至晶圆加载器开门到位，之后，机器人进入晶圆加载器取/放晶圆片，之后，机器人缩手，从晶圆加载器移出，然后晶圆加载器关门。
4、在这种流程中，并未考虑晶圆加载器开关门是否会受到机器人所在位置的影响。在机器人所在位置会影响到晶圆加载器的开关门动作时，采用上述流程会对机器人造成伤害。
5、在现有的紧凑式布局晶圆传输系统中，如图2所示，由于晶圆加载器在开门的时候，门首先会向机器人方向平移一段距离d(从门的关闭位置到平移结束位置的区域，即距离d
技术实现思路
1、针对上述技术问题，本公开的至少一个实施例提供了一种晶圆传输系统，在电控系统中增加安全互锁限制，以保证机器人在干涉区域时晶圆加载器禁止开门，以及在晶圆加载器开门动作结束前，禁止机器人途径干涉区域。
2、本公开的至少一个实施例提供了一种适用于晶圆传输系统的电控系统，包括：第一控制装置、第二控制装置、第三控制装置、干涉区域检测装置、以及门状态检测装置；其中，
3、所述干涉区域检测装置构造为检测机器人是否位于干涉区域内，并将表示机器人不位于干涉区域的检测结果的第一信号分别输出至第一控制装置和第二控制装置；
4、所述门状态检测装置构造为检测晶圆加载器的门是否处于开门或者关门过程中，并将表示晶圆加载器的门不处于开门/关门过程的第二信号分别输出至第一控制装置和第三控制装置；
5、第二控制装置构造为控制晶圆加载器的门的运动；以及
6、第三控制装置构造为控制机器人的运动；
7、其中，所述电控系统工作在自动控制模式或者人工控制模式，在自动控制模式下，第一控制装置根据第一信号和第二信号指示第二控制装置和第三控制装置进行动作，在人工控制模式下，第一信号用作第二控制装置的使能信号，第二信号用作第三控制装置的使能信号。
8、在本公开的一个实施例中，干涉区域检测装置包括第一光发射器和第一光接收器，第一光发射器和第一光接收器分别位于干涉区域的上下两侧，第一光发射器配置为向第一光接收器发射第一光线，所述第一光线沿着干涉区域邻近机器人一侧的边缘传播，其中，所述第一光线覆盖干涉区域的邻近机器人一侧的边缘，或者所述第一光线覆盖机器人的最大活动范围与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘重叠的区域。
9、在本公开的一个实施例中，第一光发射器构造为线光源，所述线光源的长度与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘的长度相同或者与机器人的最大活动范围与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘重叠的区域的长度相同。
10、在本公开的一个实施例中，第一光发射器构造为点光源线性阵列，第一光接收器构造为光接收单元线性阵列，所述点光源线性阵列发射的光沿着干涉区域邻近所述机器人的侧面传播，所述光接收单元线性阵列中的光接收单元设置为一一对应地接收所述点光源线性阵列中的点光源发射的光，所述点光源线性阵列的长度与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘的长度相同或者与机器人的最大活动范围与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘重叠的区域的长度相同。
11、在本公开的一个实施例中，所述干涉区域检测装置为常闭输出模式，在第一光接收器接收到第一光发射器发射的第一光线时输出第一信号，在第一光接收器接收不到第一光发射器发射的第一光线时不输出第一信号。
12、在本公开的一个实施例中，所述干涉区域检测装置通过第一继电器将第一信号分别输出至第一控制装置和第二控制装置。
13、在本公开的一个实施例中，所述门状态检测装置包括第二光发射器和第二光接收器，第二光发射器构造为向第二光接收器发射第二光线，第二光发射器和第二光接收器的位置设置为第二光线在晶圆加载器的门关闭时沿着晶圆加载器的门的下沿传播，在晶圆加载器的门完全打开时沿着晶圆加载器的门的上沿传播，且在晶圆加载器的门在开启或者关闭过程中被晶圆加载器的门阻挡。
14、在本公开的一个实施例中，所述门状态检测装置为常闭输出模式，在第二光接收器接收到第二光线时输出第二信号，在第二光接收器接收不到第二管线时不输出第二信号。
15、在本公开的一个实施例中，所述门状态检测装置通过第二继电器将第二信号输出至第一控制装置和第三控制装置。
16、在本公开的一个实施例中，在自动控制模式下，第一控制装置被配置为执行以下步骤：
17、s01，读取第一信号；
18、s02，确定是否存在第一信号，在不存在第一信号的情况下跳转至s03，在存在第一信号的情况下跳转至s04；
19、s03，向第三控制装置发送第一指令，指示第三控制装置根据第一指令控制机器人离开干涉区域，并跳转至s01；
20、s04，向第二控制装置发送第二指令，指示第二控制装置根据第二指令打开晶圆加载器的门；
21、s05，读取第二信号；
22、s06，确定是否存在第二信号，在存在第二信号的情况下跳转至s07，在不存在第二信号的情况下跳转至s04；
23、s07，向第三控制装置发送第三指令，指示第三控制装置根据第三指令控制机器人进入晶圆加载器取/放晶圆片；以及
24、s08，向第三控制装置发送第四指令，指示第三控制装置根据第四指令控制机器人退出晶圆加载器。
25、在本公开的一个实施例中，在自动控制模式下，第一控制装置还被配置为执行以下步骤：
26、s09，读取第一信号；
27、s10，确定是否存在第一信号，在不存在第一信号的情况下跳转至s11，在存在第一信号的情况下跳转至s12；
28本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种适用于晶圆传输系统的电控系统，包括：第一控制装置、第二控制装置、第三控制装置、干涉区域检测装置、以及门状态检测装置；其中，
2.根据权利要求1所述的电控系统，其中，干涉区域检测装置包括第一光发射器和第一光接收器，第一光发射器和第一光接收器分别位于干涉区域的上下两侧，第一光发射器配置为向第一光接收器发射第一光线，所述第一光线沿着干涉区域邻近机器人一侧的边缘传播，其中，所述第一光线覆盖干涉区域的邻近机器人一侧的边缘，或者所述第一光线覆盖机器人的最大活动范围与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘重叠的区域。
3.根据权利要求2或3所述的电控系统，其中，第一光发射器构造为线光源，所述线光源的长度与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘的长度相同或者与机器人的最大活动范围与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘重叠的区域的长度相同。
4.根据权利要求2或3所述的电控系统，其中，第一光发射器构造为点光源线性阵列，第一光接收器构造为光接收单元线性阵列，所述点光源线性阵列发射的光沿着干涉区域邻近所述机器人的侧面传播，所述光接收单元线性阵列中的光接收单元设置为一一对应地接收所
5.根据权利要求2或3所述的电控系统，其中，所述干涉区域检测装置为常闭输出模式，在第一光接收器接收到第一光发射器发射的第一光线时输出第一信号，在第一光接收器接收不到第一光发射器发射的第一光线时不输出第一信号。
6.根据权利要求1所述的电控系统，其中，所述干涉区域检测装置通过第一继电器将第一信号分别输出至第一控制装置和第二控制装置。
7.根据权利要求1所述的电控系统，其中，所述门状态检测装置包括第二光发射器和第二光接收器，第二光发射器构造为向第二光接收器发射第二光线，第二光发射器和第二光接收器的位置设置为第二光线在晶圆加载器的门关闭时沿着晶圆加载器的门的下沿传播，在晶圆加载器的门完全打开时沿着晶圆加载器的门的上沿传播，且在晶圆加载器的门在开启或者关闭过程中被晶圆加载器的门阻挡。
8.根据权利要求7所述的电控系统，其中，所述门状态检测装置为常闭输出模式，在第二光接收器接收到第二光线时输出第二信号，在第二光接收器接收不到第二管线时不输出第二信号。
9.根据权利要求1所述的电控系统，其中，所述门状态检测装置通过第二继电器将第二信号输出至第一控制装置和第三控制装置。
10.根据权利要求1所述的电控系统，其中，在自动控制模式下，第一控制装置被配置为执行以下步骤：
11.根据权利要求10所述的电控系统，其中，在自动控制模式下，第一控制装置还被配置为执行以下步骤：
12.一种晶圆传输系统，包括权利要求1至11中任何一项所述的电控系统。
...【技术特征摘要】
1.一种适用于晶圆传输系统的电控系统，包括：第一控制装置、第二控制装置、第三控制装置、干涉区域检测装置、以及门状态检测装置；其中，
2.根据权利要求1所述的电控系统，其中，干涉区域检测装置包括第一光发射器和第一光接收器，第一光发射器和第一光接收器分别位于干涉区域的上下两侧，第一光发射器配置为向第一光接收器发射第一光线，所述第一光线沿着干涉区域邻近机器人一侧的边缘传播，其中，所述第一光线覆盖干涉区域的邻近机器人一侧的边缘，或者所述第一光线覆盖机器人的最大活动范围与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘重叠的区域。
3.根据权利要求2或3所述的电控系统，其中，第一光发射器构造为线光源，所述线光源的长度与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘的长度相同或者与机器人的最大活动范围与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘重叠的区域的长度相同。
4.根据权利要求2或3所述的电控系统，其中，第一光发射器构造为点光源线性阵列，第一光接收器构造为光接收单元线性阵列，所述点光源线性阵列发射的光沿着干涉区域邻近所述机器人的侧面传播，所述光接收单元线性阵列中的光接收单元设置为一一对应地接收所述点光源线性阵列中的点光源发射的光，所述点光源线性阵列的长度与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘的长度相同或者与机器人的最大活动范围与干涉区域的邻近机器人一侧的边缘重叠的区域的长度相同。
5.根据权利要求2或3所述的电控系统，其中，所述干涉区域检测装置为...
【专利技术属性】
技术研发人员：李莹莹，董怀宝，董阳，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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