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本公开的实施例提供了一种晶圆传输系统电控系统，包括：第一、第二以及第三控制装置、干涉区域检测装置、以及门状态检测装置；其中，干涉区域检测装置检测机器人是否位于干涉区域内，并将第一信号输出至第一和第二控制装置；以及门状态检测装置检测晶圆加载器...
该专利属于上海广川科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。

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