【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体机器人，具体而言，涉及一种机器人执行器、夹持装置及其控制方法。
技术介绍
1、在半导体晶圆传输领域，机器人执行器(如末端执行器)通常使用气缸夹持、真空吸附、被动摩擦、伯努利等方式搬运晶圆。在高速搬运场合，气缸夹持的稳定性最高。而随着半导体工艺的发展，晶圆的厚度越来越薄。选择气缸夹持容易损坏晶圆。同时，气缸夹持的方式对晶圆夹持、过夹状态的判断比较困难，调试人员需要很长时间调整晶圆位置传感器。
技术实现思路
1、本申请的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种机器人执行器、夹持装置及其控制方法，进而避免晶圆损坏。
2、为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：
3、本申请实施例的一方面，提供一种夹持装置，用于机器人执行器，所述机器人执行器设置有固定件，所述夹持装置包括：
4、止档件，所述止档件与固定件配合以夹持位于所述止档件和固定件之间的晶圆；以及
5、动力组件，所述动力组件被控制以沿第一方向向所述止档件施加所调整的推力。
6、在本申请的一些实施例中，还包括位置信号确定组件，所述位置信号确定组件包括：
7、被测元件，固定连接于所述机器人执行器；
8、检测元件，连接于所述动力组件以随所述动力组件推动所述止档件而相对于所述被测元件移动，所述检测元件检测所述检测元件相对于所述被测元件移动的相对位移，以提供所述止档件的位置信号。
9、在本申请的一些实施例中，所述检测元件为非
10、在本申请的一些实施例中，所述检测元件通过固定板连接于所述动力组件。
11、在本申请的一些实施例中，所述止档件为档球，所述档球推动及夹持所述晶圆时，所述档球的圆弧面与所述晶圆接触。
12、根据本申请的又一方面，还提供一种机器人执行器，包括：
13、固定件以及如上所述的夹持装置。
14、在本申请的一些实施例中，还包括：
15、手臂组件，所述手臂组件包括手臂部以及容置部，所述容置部具有中空腔体；
16、其中，所述夹持装置的动力组件包括定子和动子，所述定子连接于所述手臂部，所述动子位于所述中空腔体。
17、在本申请的一些实施例中，还包括：
18、手指组件，所述手指组件包括第一端以及第二端，所述手指组件的第一端连接于所述手臂部，所述手指组件的第二端沿远离所述手臂部的方向延伸，
19、其中，所述固定件设置于所述手指组件的第二端。
20、根据本申请的又一方面，还提供一种夹持装置的控制方法，应用于如上所述的夹持装置，所述夹持装置的控制方法包括：
21、响应于接收到夹持信号，控制所述动力组件推动所述止档件沿第一方向移动至预夹紧位置；
22、响应于所述止档件位于预夹紧位置，控制所述动力组件向所述止档件提供恒定的推力，以夹持位于所述止档件和固定件之间的晶圆。
23、在本申请的一些实施例中，还包括：
24、响应于上电信号，控制所述动力组件推动所述止档件至初始夹持位置。
25、本申请的有益效果包括：
26、本申请提供的夹持装置包括止档件以及动力组件，止档件与固定件配合以夹持位于所述止档件和固定件之间的晶圆，动力组件被控制以沿第一方向向所述止档件施加所调整的推力，由此，可以在夹持晶圆时，向止档件施加恒定的推力，从而避免晶圆在夹持和搬运过程中损坏。同时，本申请提供的夹持装置结构简单、体积较小，适用于半导体晶圆传输领域。
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1.一种夹持装置，其特征在于，用于机器人执行器，所述机器人执行器设置有固定件，所述夹持装置包括：
2.如权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，还包括位置信号确定组件，所述位置信号确定组件包括：
3.如权利要求2所述的夹持装置，其特征在于，所述检测元件为非接触式磁场扫描件，所述被测元件为磁栅尺。
4.如权利要求2所述的夹持装置，其特征在于，所述检测元件通过固定板连接于所述动力组件。
5.如权利要求1至4任一项所述的夹持装置，其特征在于，所述止档件为档球，所述档球推动及夹持所述晶圆时，所述档球的圆弧面与所述晶圆接触。
6.一种机器人执行器，其特征在于，包括：
7.如权利要求6所述的机器人执行器，其特征在于，还包括：
8.如权利要求7所述的机器人执行器，其特征在于，还包括：
9.一种夹持装置的控制方法，其特征在于，应用于如权利要求1至5任一项所述的夹持装置，所述夹持装置的控制方法包括：
10.如权利要求9所述的夹持装置的控制方法，其特征在于，还包括：
【技术特征摘要】
1.一种夹持装置，其特征在于，用于机器人执行器，所述机器人执行器设置有固定件，所述夹持装置包括：
2.如权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，还包括位置信号确定组件，所述位置信号确定组件包括：
3.如权利要求2所述的夹持装置，其特征在于，所述检测元件为非接触式磁场扫描件，所述被测元件为磁栅尺。
4.如权利要求2所述的夹持装置，其特征在于，所述检测元件通过固定板连接于所述动力组件。
5.如权利要求1至4任一项所述的夹持装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：苗义，王晨旭，朱骏驰，张文磊，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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